核心参数
产地类别: 国产
靶材材质: Au/Pt/Ag
靶材尺寸: 直径50mm
控制方式: 电控
样品仓尺寸: 直径160mm,高120mm。可定制
样品台尺寸: 直径50-70mm
溅射气体: 氩气、氮气、 空气
其它参数
离子溅射仪喷金仪镀膜仪SD-900实验室仪器SEM镀膜博远微纳VPI离子溅射仪外观亮丽,做工精致,旋钮式定时器档位清晰,手感舒适;特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大气;前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体;调节溅射电流大小,成膜速度快,质量好;功能控制和定时皆由CPU调度,使用范围广。
工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体,获得最佳镀膜效果。
离子溅射仪喷金仪镀膜仪SD-900实验室仪器SEM镀膜博远微纳VPI是一款最常用的离子溅射仪,是一切溅射仪的基础。是以金属靶材和样品台分别作为阴阳两极,在真空状态下产生辉光放电,使金原子与残存的气体不断碰撞而沉积成薄膜。可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材。
具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控,数码计时等优点。
配有高位定性飞越真空泵
参数:
主机规格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(标配)也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。
样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)
样品台尺寸:可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定制样品台
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表:1Pa
离子电流表:50mA
定时器:0-999S
微型真空气阀:可连接φ3mm软管
可通入气体: 多种
最高电压: -1600 DCV
机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)
输入电压:220V(可做110V),50HZ
特点:
1、简单、经济、可靠、外观精美。
2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。
3、SETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。
4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。
5、同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、铱、银、钯等),以达到更细颗粒的涂层。
6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。
需要镀膜的样品
1、电子束敏感的样品:
主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;
2、非导电的样品:
由于样品不导电,其表 面带有“电子陷阱”, 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应,可在样 品表面镀一层金属导电 层,镀层作为一个导电 通道,将充电电子从材 料表面转移走,消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时,溅射材料增加信 噪比,从而获得更好的成像质量。
3、新材料:非导电材料和半导体材料
通过国际CE认证。
用户单位
采购时间
采购数量
厦门大学
2017/03/28
1
西安科技大学
2017/08/01
1
上海主流
2018/07/12
2
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石油/化工
2018/08/29
企业名称
北京博远微纳科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110115003759627
成立日期
2015-02-02
注册资本
50
经营范围
技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;经济贸易咨询;计算机维修;软件开发;基础软件服务;应用软件服务;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、日用品、文化用品;货物进出口。企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。
北京博远微纳科技有限公司
公司地址
北京市昌平区百沙路新飞达电子科技工业发展中心主楼408
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