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NA-EDS-Extreme-半导体

2018/01/08 16:50

阅读:304

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2018/01/08
检测样品:
其他
检测项目:
结构
浏览次数:
304
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参考标准:

方案摘要:

Introduction Application Note As semiconductor devices continue to decrease in size to improve performance and take advantage of advances in fabrication techniques, there is a need to analyse both their structure and chemistry at ever increasing resolution. Typically this requires the use of TEM for metrology and failure analysis. Using ultrahigh resolution FEG-SEM, low kV imaging and the new X-Max® Extreme EDS detector we demonstrate the ability to retain some of this high resolution analysis in the SEM. This allows for better targeting of resources and increased throughput of analysis.

产品配置单:

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型号: Azteclive

产地: 英国

品牌: 牛津仪器

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牛津仪器X-MaxTEM大面积硅漂移探测器

型号: Ultim Max TLE

产地: 英国

品牌: 牛津仪器

¥50万 - 60万

参考报价

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方案详情:

Introduction

Application Note

As semiconductor devices continue to decrease in size to improve performance and take advantage of

advances in fabrication techniques, there is a need to analyse both their structure and chemistry at ever

increasing resolution. Typically this requires the use of TEM for metrology and failure analysis. Using ultrahigh

resolution FEG-SEM, low kV imaging and the new X-Max® Extreme EDS detector we demonstrate

the ability to retain some of this high resolution analysis in the SEM. This allows for better targeting of

resources and increased throughput of analysis.


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