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新品 日本YAMATO等离子清洗机PR200

核心参数

  • 设备尺寸W350×D400×H500mm
  • 控制方式半自动控制
  • 功率0-200W
  • 工作气体1路
  • 样品腔材质高硼硅玻璃
  • 样品腔容积φ100×L160mm
  • 射频频率射频RF13.56Mhz
  • 仪器种类 进口等离子清洗器

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  • 营业执照已审核
  • 品牌性质经销商
  • 白金会员第1年
  • 信用积分514
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日本YAMATO等离子清洗机PR200 创新点 产品介绍 典型用户 用户评论

创新点

1、具备自动协调功能 2、尺寸设计紧凑,很小的位置也能安装 3、0~200W之间功率可调节

上市时间:2018年10月

产品介绍

操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。

● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

 

■ 安全性·保护

● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。


■ 产品优势 

●等离子清洗机清洗效果好,清洗过程中无废液产生,安全环保。

●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。

●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。

●高效的特制电极,保证等离子体能够均匀产生。


规格:

型号

PR200

PR301

方式

DP模式、圆柱形腔体

性能

发生器功率:

0-200W

0-300W

发生器频率:

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式:

自动匹配(Auto matching)

手动匹配(manul

 

构成

腔体材质:

高硼硅玻璃

腔体内尺寸:

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反应气体:

一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式:

半自动控制

真空度显示:

数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。

模拟式压力表

配管材质:

SUS不锈钢以及特氟龙

门:

                                            铰链门

外形尺寸:

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速:

4m3/hour

电源规格:

                                        AC220V  10A

重量:

  约25kg

   约34kg

附属品


真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。


典型用户

用户单位 采购时间 采购数量
  • 中科院金属研究所 2019-01-03 1
  • 南京大学物理学院 2018-12-21 1

浚和(上海)仪器有限公司

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