仪器种类： 进口等离子清洗器
射频频率： 射频RF13.56Mhz
功率： 0-200W
设备尺寸： W350×D400×H500mm
样品腔容积： φ100×L160mm
样品腔材质： 高硼硅玻璃
工作气体： 1路
控制方式： 半自动控制
Microwave Plasma： 微波等离子体
underfill plasma： 欠填充等离子体
wafer plasma： 晶片等离子体
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等离子清洗机日本YAMATO等离子清洗机PR200产品介绍：
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗过程中无废液产生，安全环保。
●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，保证等离子体能够均匀产生。
等离子清洗机日本YAMATO等离子清洗机PR200规格：
型号 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||||
性能 | 发生器功率： | 0-200W | 0-300W | ||
发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | ||||
发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching) | 手动匹配（manul）
| |||
构成 | 腔体材质： | 高硼硅玻璃 | |||
腔体内尺寸： | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反应气体： | 一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||||
控制方式： | 半自动控制 | ||||
真空度显示： | 数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |||
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||||
门： | 铰链门 | ||||
外形尺寸： | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速： | 4m3/hour | ||||
电源规格： | AC220V 10A | ||||
重量： | 约25kg | 约34kg | |||
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 | ||||
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 日本kashiyama | 2023-10-18 |
| 德祥科技-Think-lab | 2023-08-13 |
| 德国海道尔夫(Heidolph)公司 | 2023-07-13 |
| 美国orion | 2023-06-22 |
| 永诺生物 | 2023-06-22 |
| 中科都菱 | 2023-02-23 |
| 中科院金属研究所 | 2019-01-03 |
| 南京大学物理学院 | 2018-12-21 |
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
电话支持响应时间: 24小时内
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
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