仪器种类: 进口等离子清洗器
射频频率: 13.56MHz
功率: 0~1000W(多种选择)
设备尺寸: 95*280
样品腔容积: 6L
样品腔材质: 石英玻璃
工作气体: 2路
控制方式: 全自动
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德国Diener electronic成立于1993年,是世界低温等离子工业的领导者,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。
用途:
Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点:
可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
Femto A | Femto C | Femto D
|
Femto B
| Femto E |
应用:
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
应用领域:
REM, TEM | 考古 | 汽车制造业 | 橡胶制造业 |
微机械制造 | 传感器检测 | 灭菌 | 纺织业 |
医疗器械制造业 | 塑料制造业 | 研发部门 | 电子半导体行业 |
规格、参数:
系列 | Femto |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 1.9~6L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件,配有盖子 矩形不锈钢件,配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门 配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | (选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron(适用于腐蚀性气体版本) |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W;0 - 1000 W 13.56 MHz;功率 0 - 50 W;0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
电源 | 供电电源: 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位 |
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
GE医疗 | 2016-12-12 |
博奥生物集团有限公司 | 2016-12-19 |
南京工业大学 | 2016-02-01 |
哈尔滨理工大学 中地共建应用科学学院 | 2016-12-19 |
北京大学深圳研究生院 | 2016-12-19 |
中国科学院化学所 | 2016-12-19 |
华东理工大学 | 2016-12-19 |
沈阳农业大学 | 2016-12-19 |
四川大学化工学院 | 2016-12-19 |
郑州航天电子技术有限公司 | 2015-09-15 |
西北工业大学材料学院 | 2015-11-17 |
中国科学院长春应用化学研究所 | 2015-11-18 |
北京理工大学光电学院 | 2015-11-10 |
四川大学电子信息学院 | 2015-06-09 |
DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机
型号:ATTO 15万Diener PICO 等离子清洗机
型号:PICO 30万Diener PlasmaBeam 等离子表面处理装置
型号:Diener PlasmaBeam 11万Diener PLASMA 大气压等离子清洗机
型号:PLASMABEAM 12万等离子清洗机、等离子蚀刻机、手持式等离子等多种等离子设备在上海尔迪仪器科技有限公司有售。如有需要可联系我司。
几乎在所有的表面上都存在肉眼看不见的细微污垢,这严重损害了对表面的进一步处理,例如胶合、印刷、涂漆或涂装。金属、塑料或无机材料上的这些细微的杂质可以通过等离子体清洗去除,而无需使用额外的化学品。
低压等离子体提供了非常多的表面改性方法。对脏污组件进行精细清洗、对塑料件进行等离子活化、对 PTFE、硅进行蚀刻,以及对具有PTFE 类涂层的塑料件进行涂覆,这些是其部分应用用途。就此而言,低压等离子体可应用于各种不同的领域,在这些领域中对材料进行键合或者有针对性地改变表面特性对其来说非常重要。
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