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Diener FEMTO 等离子清洗机

  • 型号 FEMTO
  • 产地 德国
  • 样本 暂无
  • 品牌Diener

核心参数

  • 设备尺寸95*280
  • 控制方式全自动
  • 功率0~1000W(多种选择)
  • 工作气体2路
  • 样品腔材质石英玻璃
  • 样品腔容积6L
  • 射频频率13.56MHz
  • 仪器种类 进口等离子清洗器

上海尔迪仪器科技有限公司 查看联系方式

  • 营业执照已审核
  • 品牌性质经销商
  • 白金会员第8年
  • 信用积分1657
  • 反馈速度8-10小时
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产品介绍

德国Diener electronic成立于1993年,是世界低温等离子工业的领导者,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。
用途:
Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。
Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点:
可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

 

            Femto A

               Femto C

             Femto D

 

          Femto B

 

                Femto E

应用:
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

 

应用领域:

REM, TEM考古汽车制造业橡胶制造业
微机械制造传感器检测灭菌纺织业
医疗器械制造业塑料制造业研发部门电子半导体行业


 规格、参数:

系列

Femto

控制系统

半自动型

PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

1.9~6L

真空腔室

圆形不锈钢件,配有盖子
(大约 Φ 100 mm, 278 mm 或者长 600 mm

矩形不锈钢件,配有铰链的门
(约宽 103 x 285 x 103)

配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门
(大约Φ  95 mm, 280 mm 或者长 600 mm

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约 Φ 95 mm, 280 mm 或者长 600 mm

配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门
(大约Φ  95 mm,长 280 mm 或者长 600 mm

电极

单层或多层

RIE

样品支架

(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W0 - 1000 W

13.56 MHz;功率 0 - 50 W0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

电源

供电电源: 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

 

Diener FEMTO 等离子清洗机信息由上海尔迪仪器科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于Diener FEMTO 等离子清洗机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:对于医疗器械类产品,请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况。

解决方案

  • 石化 |
  • 电子

相关资料

典型用户

用户单位 采购时间 采购数量
  • GE医疗 2016-12-12 6
  • 博奥生物集团有限公司 2016-12-19 1
  • 南京工业大学 2016-02-01 1
  • 哈尔滨理工大学 中地共建应用科学学院 2016-12-19 1
  • 北京大学深圳研究生院 2016-12-19 1
  • 中国科学院化学所 2016-12-19 1
  • 华东理工大学 2016-12-19 1
  • 沈阳农业大学 2016-12-19 1
  • 四川大学化工学院 2016-12-19 2
  • 郑州航天电子技术有限公司 2015-09-15 2
  • 西北工业大学材料学院 2015-11-17 1
  • 中国科学院长春应用化学研究所 2015-11-18 1
  • 北京理工大学光电学院 2015-11-10 1
  • 四川大学电子信息学院 2015-06-09 1

上海尔迪仪器科技有限公司

仪信通白金会员8年

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