看了外延系统的用户又看了
CBr4是很好的III-V材料的p型掺杂源。在使用MBE技术生长p型掺杂外延材料中具有很多用途。
SVT公司CBr4模块适用于任何MBE,具有安全、操作简单等特点。CBr4通过一个压力控制系统被输送到腔室。此压力控制系统可以控制蒸汽压流量。气体控制面板可以精确控制CBr4气体的流量。
特点
● 适用于任何MBE
● 高性能的气体入射源
● 先进的气体操作系统
● 安全,操作简单
部件
气体入射源
● 带有加热器的入射源(长度可客户定制)
● 温度控制器(可放在电子控制柜中)
● 双接头气体管路
气体操作系统
● 外部手动可调阀门
● 热漏阀和控制器
● 冷阴极真空规以及控制器
可选
● 气动阀门
● 气动阀门控制器
● 气路烘烤装置
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