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椭偏仪简介及利用椭偏仪测量薄膜的优点和特点

简介: 椭偏仪可测的材料包括:半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质…  利用椭偏仪测量薄膜的优点和特点 (1)测量的对象广泛,可以测量透明膜,无膜固体样品,多层膜,吸收膜和众多性能不同、厚度不同、吸收程度不同的薄膜,甚至是强吸收的薄膜. (2)被测量的薄膜大小尺寸可以很小,只要1mm即可测量,小于光斑的大小.( 3)方式灵活,既可以测量反射膜,也可以测量透射膜 4).... 5)...
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