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核心参数
仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 4-12英寸
温度范围： 室温~1250摄氏度
最高升温速率： ≤25℃/s（Sic载盘）
退火温度均匀性： <500℃温度均匀性:±5℃，>500'C时温度均匀性:±1%
半自动快速退火炉RTP-SA-12
RTP-SA-12半自动快速退火炉红外卤素灯管加热，灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，可测最大样品尺寸为12寸。
产品特点：
①红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；
②灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，保证良好的重现性与温度均匀性；
③采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在WAFER表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性；
④大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理；
⑤标配两组工艺气体，最多可扩展至6组工艺气体；
⑥可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸（300*300mm）；
⑦采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。
产品应用范围：
其他快速热处理工艺 砷化镓工艺
氧化物、氮化物生长 欧姆接触快速合金
硅化物合金退火 氧化回流
| 技术参数 | |
| 最大产品尺寸 | 4-12英寸晶圆或者最大支持300*300mm产品，兼容12寸及以下晶圆 |
| 温度范围 | 室温~1250℃ |
| 最高升温速度 | ≤25℃/s（Sic载盘） |
| 温度均匀度 | ＜500℃温度均匀性：±5℃，＞500℃时温度均匀性：±1% |
| 温度控制重复性 | ±1℃ |
| 温控方式 | 快速PID温控 |
晟鼎退火炉RTP-SA-12的工作原理介绍
退火炉RTP-SA-12的使用方法?
晟鼎RTP-SA-12多少钱一台?
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企业名称
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
914419005974907182
成立日期
2012-06-18
注册资本
人民币叁仟伍佰伍拾万元
经营范围
一般项目:仪器仪表制造:仪器仪表销售;实验分析仪器制造:工业自动控制系统装置制造;工业自动控制系统装置销售;仪器仪表修理，智能仪器仪表销售;绘图、计算及测量仪器制造:绘图、计算及测量仪器销售;电工仪器仪表制造:其他通用仪器制造:电子测量仪器制造;教学专用仪器销售:电子测量仪器销售:光学仪器制造;光学仪器销售;教学专用仪器制造，专用仪器制造:计量技术服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;工业控制计算机及系统制造;电子专用材料研发:光学玻璃制造;五金产品制造:金属制品销售;金属表面处理及热处理加工;新材料技术研发:机械设备租赁;租赁服务(不含许可类租赁服务);工业控制计算机及系统销售,智能控制系统集成;电子专用材料制造，变压器、整流器和电感器制造;半导体器件专用设备制造:半导体器件专用设备销售;货物进出口;技术进出口，(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)年度报告，逾期将受到信用惩戒和处罚。示系统，或“东莞市场监管"微信公众号。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址
广东省东莞市虎门镇怀雅路235号
客服电话
公司名称： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址： 广东省东莞市虎门镇怀雅路235号 联系人： 黄女士 邮编： 523857 联系电话： 400-892-5667
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