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半自动快速退火炉RTP-快速热工艺设备RTP-SA-12

品牌: 晟鼎
产地: 广东
型号: RTP-SA-12
报价: 面议
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核心参数

仪器种类: 普通真空快速退火炉

产地类别: 国产

样品尺寸: 4-12英寸

温度范围: 室温~1250摄氏度

最高升温速率: ≤25℃/s(Sic载盘)

退火温度均匀性: <500℃温度均匀性:±5℃,>500'C时温度均匀性:±1%

产品介绍

半自动快速退火炉RTP-SA-12

RTP-SA-12半自动快速退火炉红外卤素灯管加热,灯管功率PID控温,可精准控制温度升温,可测最大样品尺寸为12寸。


产品特点:

①红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;

②灯管功率PID控温,可精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性;

③采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在WAFER表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好的温度均匀性;

④大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理;

⑤标配两组工艺气体,最多可扩展至6组工艺气体;

⑥可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸(300*300mm);

⑦采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,全方位保障仪器使用安全。


产品应用范围:

其他快速热处理工艺                              砷化镓工艺

氧化物、氮化物生长                              欧姆接触快速合金

硅化物合金退火                                     氧化回流


技术参数
最大产品尺寸4-12英寸晶圆或者最大支持300*300mm产品,兼容12寸及以下晶圆
温度范围室温~1250℃
最高升温速度≤25℃/s(Sic载盘)
温度均匀度<500℃温度均匀性:±5℃,>500℃时温度均匀性:±1%
温度控制重复性

±1℃

温控方式快速PID温控





售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 可享受3次免费电话培训
免费仪器保养: 1年一次
保内维修承诺: 免费更换小型配件,免费测试样品
报修承诺: 全国24小时内电话响应
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晟鼎退火炉RTP-SA-12的工作原理介绍

退火炉RTP-SA-12的使用方法?

晟鼎RTP-SA-12多少钱一台?

退火炉RTP-SA-12可以检测什么?

退火炉RTP-SA-12使用的注意事项?

晟鼎RTP-SA-12的说明书有吗?

晟鼎退火炉RTP-SA-12的操作规程有吗?

晟鼎退火炉RTP-SA-12报价含票含运吗?

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工商信息

企业名称

东莞市晟鼎精密仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

914419005974907182

成立日期

2012-06-18

注册资本

人民币叁仟伍佰伍拾万元

经营范围

一般项目:仪器仪表制造:仪器仪表销售;实验分析仪器制造:工业自动控制系统装置制造;工业自动控制系统装置销售;仪器仪表修理,智能仪器仪表销售;绘图、计算及测量仪器制造:绘图、计算及测量仪器销售;电工仪器仪表制造:其他通用仪器制造:电子测量仪器制造;教学专用仪器销售:电子测量仪器销售:光学仪器制造;光学仪器销售;教学专用仪器制造,专用仪器制造:计量技术服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;工业控制计算机及系统制造;电子专用材料研发:光学玻璃制造;五金产品制造:金属制品销售;金属表面处理及热处理加工;新材料技术研发:机械设备租赁;租赁服务(不含许可类租赁服务);工业控制计算机及系统销售,智能控制系统集成;电子专用材料制造,变压器、整流器和电感器制造;半导体器件专用设备制造:半导体器件专用设备销售;货物进出口;技术进出口,(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)年度报告,逾期将受到信用惩戒和处罚。示系统,或“东莞市场监管"微信公众号。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司为您提供晟鼎半自动快速退火炉RTP-快速热工艺设备RTP-SA-12,晟鼎RTP-SA-12产地为广东,属于国产退火炉,除了半自动快速退火炉RTP-快速热工艺设备RTP-SA-12的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多退火炉,Sindin客服电话400-892-5667,售前、售后均可联系。
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公司地址: 广东省东莞市虎门镇怀雅路235号 联系人: 黄女士 邮编: 523857 联系电话: 400-892-5667

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