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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 6-8寸
温度范围： 室温~1250℃
最高升温速率： ≤30℃/s（载盘）
退火温度均匀性： ±3摄氏度≤600℃
其它参数
全自动双腔快速退火炉RTP-DTS-8，晶圆快速退火炉
产品特点：兼容6-8英寸WAFER；全自动双腔设计，产能提升；
最高温度可达1250℃；超高温场均匀性；
稳定的温度重现性；满足SIC量产化制程需求。
行业应用：
其他快速热处理工艺；砷化镓工艺；
氧化物、氮化物生长；欧姆接触快速合金；
硅化物合金退火；氧化回流
技术参数 | |
| 最大产品尺寸 | 6-8寸 |
| Cassette or smlf | 2个 |
| 温度范围 | 室温~1250℃ |
| 最高升温速度 | ≤30℃/s（载盘） |
| 温度均匀度 | ±3℃≤600℃ ±0.5%＞600℃ |
| 温度控制重复性 | ±1℃ |
| 腔体数量 | 双腔 |
用户单位
采购时间
采购数量
清华大学
2024/09/19
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晟鼎退火炉RTP-DTS-8的工作原理介绍
退火炉RTP-DTS-8的使用方法?
晟鼎RTP-DTS-8多少钱一台?
退火炉RTP-DTS-8可以检测什么？
退火炉RTP-DTS-8使用的注意事项？
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晟鼎RTP-DTS-8有现货吗？
企业名称
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
914419005974907182
成立日期
2012-06-18
注册资本
人民币叁仟伍佰伍拾万元
经营范围
一般项目:仪器仪表制造:仪器仪表销售;实验分析仪器制造:工业自动控制系统装置制造;工业自动控制系统装置销售;仪器仪表修理，智能仪器仪表销售;绘图、计算及测量仪器制造:绘图、计算及测量仪器销售;电工仪器仪表制造:其他通用仪器制造:电子测量仪器制造;教学专用仪器销售:电子测量仪器销售:光学仪器制造;光学仪器销售;教学专用仪器制造，专用仪器制造:计量技术服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;工业控制计算机及系统制造;电子专用材料研发:光学玻璃制造;五金产品制造:金属制品销售;金属表面处理及热处理加工;新材料技术研发:机械设备租赁;租赁服务(不含许可类租赁服务);工业控制计算机及系统销售,智能控制系统集成;电子专用材料制造，变压器、整流器和电感器制造;半导体器件专用设备制造:半导体器件专用设备销售;货物进出口;技术进出口，(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)年度报告，逾期将受到信用惩戒和处罚。示系统，或“东莞市场监管"微信公众号。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址
广东省东莞市虎门镇怀雅路235号
客服电话
公司名称： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址： 广东省东莞市虎门镇怀雅路235号 联系人： 黄女士 邮编： 523857 联系电话： 400-892-5667
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