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核心参数
产地类别： 进口
仪器种类： FIB-SEM
(电子光学系统）发射源： Cold cathode FE source
（电子光学系统）分辨率： 1.5nm@1kv，0.7nm@15kv
（电子光学系统）探针电流： 10nA
（电子光学系统）视野范围： -
（离子光学系统）发射源： Ga Liquid Metal lon Source
（离子光学系统）分辨率： 4nm@30kv
（离子光学系统）探针电流： 100nA
（离子光学系统）视野范围： 0.5μm*0.5μm~Φ2mm
高性能与高灵活性兼备
“Ethos”采用日立高新的核心技术--全球领先的高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜，不但可以在低加速电压下实现高分辨观察，还可以在FIB加工时实现实时观察。
SEM镜筒内标配3个探测器，可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像；可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物，对其观察以及加工分析。
另外，全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口，可安装EDS*1和EBSD*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台，可全面加工并观察最大直径为150mm的样品。
因此，它不仅可以用于半导体器件的检测，而且还可以用于从生物到钢铁磁性材料等各种样品的综合分析。
*1
Energy Dispersive x-ray Spectrometer（能谱仪（EDS））
*2
Electron Backscatter Diffraction（电子背散射衍射（EBSD））
核心理念
1. 搭载两种透镜模式的高性能SEM镜筒
HR模式下可实现高分辨观察（半内透镜）
FF模式下可实现高精度加工终点检测（Timesharing Mode）
2. 高通量加工
可通过高电流密度FIB实现快速加工（最大束流100nA）
用户可根据自身需求设定加工步骤
3. Micro Sampling System*3
运用ACE技术（加工位置调整）抑制Curtaining效应
控制离子束的入射角度，制备厚度均匀的薄膜样品
4. 实现低损伤加工的Triple Beam System*3
采用低加速（Ar/Xe）离子束，实现低损伤加工
去除镓污染
5. 样品仓与样品台适用于各种样品分析
多接口样品仓（大小接口）
超大防振样品台（150 mm□）
*3
选配
日立聚焦离子束NX5000的工作原理介绍
聚焦离子束NX5000的使用方法?
日立NX5000多少钱一台?
聚焦离子束NX5000可以检测什么？
聚焦离子束NX5000使用的注意事项？
日立NX5000的说明书有吗？
日立聚焦离子束NX5000的操作规程有吗？
日立聚焦离子束NX5000报价含票含运吗？
日立NX5000有现货吗？
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日立电镜在锂电池行业的应用
通过“观察”“测量”“分析”技术、日立高新在各个产业领域实现了改革创新。在锂离子电池市场，作为厂家日立高新可为用户提供超高性能电子显微镜和各种分析装置等检测设备与测量仪器。
能源/新能源
2021/11/23
企业名称
日立科学仪器(北京)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(台港澳法人独资)
信用代码
91110105MA01F0W46B
成立日期
2018-10-10
注册资本
人民币元1000万元
经营范围
批发机械设备、仪器仪表、电子产品、1类医疗器械;维修机械设备、仪器仪表、电子产品、I类医疗器械;技术咨询;租赁建筑工程机械与设备、仪器仪表;货物进出口、技术进出口、代理进出口(涉及配额许可证管理，专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);企业管理咨询;经济贸易咨询。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
日立科学仪器（北京）有限公司
公司地址
北京市朝阳区酒仙桥路10号恒通国际商务园中央大厦B22座102室
客服电话
公司名称： 日立科学仪器（北京）有限公司
公司地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号恒通国际商务园中央大厦B22座102室 联系人： 孙淼 邮编： 100015 联系电话： 400-803-2799
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