kSA BandiT 实时温度测试仪
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kSA BandiT 实时温度测试仪

¥10万 - 30万

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kSA BandiT

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美洲

  • 银牌
  • 第18年
  • 授权经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 进口

kSA BandiT 是一种非接触、实时测量半导体衬底表面真实温度的测试系统,采用半导体材料吸收边随温度的变化,实时测量晶片/衬底的温度;并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上,实现晶片的温度实时检测。


新款的kSA BandiT多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而实现了MBE外延薄膜生长过程中多衬底温度实时Mapping检测。


该系统能在外延薄膜生长过程提供衬底/晶片实时的二维温度信息。对Wafer(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵、直接的检测;采用温度和半导体材料对光的吸收边(谱带能量)相关性原理,即材料的本征特性,使得测量结果更准;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。


技术参数:

      温度范围:室温~750摄氏度(可达1300摄氏度);

      温度重复性:0.2摄氏度; 

      温度分辨率:0.1摄氏度;

      稳定性:+/-0.2摄氏度;


主要特点:

      *实时、非接触、非入侵、直接的Wafer温度监测;

      *多基片/晶片表面2D温度Mapping监测;

      *真实的Wafer表面或薄膜温度监测;

      *整合了黑体辐射监测技术;

      *沉积速率和薄膜厚度分析;

      *表面粗糙度分析功能;

      *测量激光波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)

      *避免了发射率变化对测量的影响;

      *无需沉积设备Viewport特殊涂层;


应用实例:


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 3人次技术培训。

免费仪器保养: 3个月1次

保内维修承诺: 免费更好失效硬件,提供免费的技术支持和服务。

报修承诺: 24小时到达客户现场。

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