速普仪器【SuPro】小型磁控溅射镀膜仪ISC-150
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¥8万

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ISC-150

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中国大陆

  • 金牌
  • 第7年
  • 生产商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 国产

  • 泵组: 真空旋片泵(选配无油干泵)
  • 真空泵抽速: ≥4 m3/h
  • 极限真空: ≤1 Pa
  • 工作气压: 4-10 Pa,恒压控制
  • 抽真空时间: ≤2 min
  • 真空规: 皮拉尼真空计
  • 样品腔室尺寸: φ150*120mm石英玻璃
  • 磁控溅射靶: 靶材尺寸φ50*0.2mm
  • 溅射电源: 恒功率磁控DC电源Max. 30w
  • 操作方式: 触摸屏控制,一键式操控
  • 旋转样品台(选配): 0-60 rpm,±40°偏转

高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强,通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源,确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM 扫描电镜样品的喷金用途。触摸屏控制,即插即用。(PS:机械油泵可升级为无油干泵,超净间内专用) 


选配旋转/偏转样品台模块,行星式公自转+偏转模式,实现3D样品或多空隙样品均匀喷镀导电层。

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相关方案

典型用户
用户单位 采购时间
清华大学 2020-12-31
复纳科技 2020-12-28
贺利氏集团公司 2020-12-16
天美高新 2020-12-09
云南中医药大学 2020-12-07
上海交通大学 2020-11-25
东华大学 2020-11-18
核科学研究院 2020-10-13
中国钢铁研究总院 2020-09-15
厦门宏发集团 2020-09-01
合肥工业大学 2020-07-22
辽宁奥集利科技有限公司 2020-06-30
北京科技大学 2020-06-18
售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 5人次以内培训

免费仪器保养: 6个月一次

保内维修承诺: 免费维修更换零件

报修承诺: 24小时到达现场并维修

  • ISC150离子溅射仪升级版本,采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境,保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂,光电薄膜制备,电极材料制备及其他金属镀膜用途。 150T版本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。

    5948MB 2019-08-06
  • 目前市面上主流喷金仪产品,采用高电压二极直流溅射方式沉积薄膜,这种设计优点是结构简单,但是缺点是容易造成能量集中,对于样品有明显的温升效应的。 我司ISC150喷金仪采用磁控溅射手段,通过磁控阴极+专用直流电源方式对样品喷金处理,有较低的离子轰击损伤和温升效应;另外,我们的特点还有操作简单,触控面板界面,一键式操作。

    6796MB 2018-12-05
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速普仪器镀膜机ISC-150的工作原理介绍

镀膜机ISC-150的使用方法?

速普仪器ISC-150多少钱一台?

镀膜机ISC-150可以检测什么?

镀膜机ISC-150使用的注意事项?

速普仪器ISC-150的说明书有吗?

速普仪器镀膜机ISC-150的操作规程有吗?

速普仪器镀膜机ISC-150报价含票含运吗?

速普仪器ISC-150有现货吗?

速普仪器【SuPro】小型磁控溅射镀膜仪ISC-150信息由深圳市速普仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于速普仪器【SuPro】小型磁控溅射镀膜仪ISC-150报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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