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核心参数
靶头： 测试对象半导体wafer
标签：
k空间镀膜机
k空间kSA BandiT
进口镀膜机
产品介绍
简介
kSA BandiT 实时温度测试仪是一种非接触、实时测量半导体衬底表面真实温度的系统，适用于MBE、MOCVD等多种沉积设备。通过测量半导体材料吸收边随温度的变化，实现精确的温度监测。该系统具备高精度（温度分辨率0.1摄氏度，重复性0.2摄氏度）和稳定性（±0.2摄氏度），并能进行多晶片2D温度Mapping监测。此外，它还能分析沉积速率、薄膜厚度及表面粗糙度，并具备黑体辐射监测技术。其应用广泛，包括半导体生长过程中的温度实时检测。
其它参数
温度范围：室温~750摄氏度（可达1300摄氏度）
温度重复性：0.2摄氏度
温度分辨率：0.1摄氏度
稳定性：+/-0.2摄氏度
温度Mapping：支持
kSA BandiT 实时温度测试仪是一种非接触、实时测量半导体衬底表面真实温度的测试系统，采用半导体材料吸收边随温度的变化，实时测量晶片/衬底的温度；并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上，实现晶片的温度实时检测。
新款的kSA BandiT 实时温度测试仪多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而实现了MBE外延薄膜生长过程中多衬底温度实时Mapping检测。
kSA BandiT 实时温度测试仪系统能在外延薄膜生长过程提供衬底/晶片实时的二维温度信息。对Wafer（及薄膜）表面温度实时、非接触、非入侵、直接的检测；采用温度和半导体材料对光的吸收边（谱带能量）相关性原理，即材料的本征特性，使得测量结果更准；可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上，进行实时温度检测。
技术参数：
温度范围：室温~750摄氏度（可达1300摄氏度）；
温度重复性：0.2摄氏度；
温度分辨率：0.1摄氏度；
稳定性：+/-0.2摄氏度；
主要特点：
*实时、非接触、非入侵、直接的Wafer温度监测；
*多基片/晶片表面2D温度Mapping监测；
*真实的Wafer表面或薄膜温度监测；
*整合了黑体辐射监测技术；
*沉积速率和薄膜厚度分析；
*表面粗糙度分析功能；
*测量激光波长范围可选（例如：可见光波段、近红外波段等）
*避免了发射率变化对测量的影响；
*无需沉积设备Viewport特殊涂层；
应用实例：
问商家
kSA BandiT 实时温度测试仪多少钱一台？
有k空间kSA BandiT说明书吗？
未知地区有经销商吗？
k空间镀膜机可以应用在哪些领域？
kSA BandiT 实时温度测试仪是国产还是进口的？
介绍下k空间kSA BandiT的工作原理
未知地区的销售电话是多少？
有kSA BandiT 实时温度测试仪的详细技术参数吗？
售后服务
产品货期：
90天
整机质保期：
1年
培训服务：
安装调试现场免费培训
安装调试时间：
到货后5天内
电话支持响应时间：
2小时内
是否提供维保合同：
是
维修响应时间：
1天内
节假日是否提供上门服务：
是
核心零部件货期：
7天
核心零部支持时间：
1年
是否支持上门巡检：
是
是否提供预防性维护计划：
是
是否提供期间核查方案：
是
是否提供免费应用支持：
是
是否提供付费应用支持：
是
是否提供线上售后平台：
是
维修付款方式：
先付款后维修
基本维修资料公开：
维修图纸；技术参数；故障代码；维修手册
无理由退换货：
不支持
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产品小贴士
k空间kSA BandiT 实时温度测试仪由巨力科技有限公司提供，产地为美国，属于进口镀膜机，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于能源、电子/电气等领域，k空间kSA BandiT 实时温度测试仪凭借其创新性与实用性，在镀膜机用户中获得广泛关注。
根据巨力科技官方产品资料显示：k空间kSA BandiT 实时温度测试仪的靶头为测试对象半导体wafer，k空间kSA BandiT 实时温度测试仪的价格为¥10万 - 30万，具体型号是kSA BandiT，品牌为k空间。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
|
KSA RateRat 薄膜生长速率测试仪
|
k空间 |
KSA RateRat |
进口 |
¥10万 - 30万 |
客户服务热线：400-616-7676,1937（售前/售后支持）
官方链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH101431/C57577.htm
来源：巨力科技有限公司
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