仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 13.56MHz
功率: 75W
设备尺寸: 取决于电镜腔室容积
样品腔容积: 取决于电镜腔室容积
样品腔材质: 电镜腔室,金属
工作气体: 1路可选3路气体混合器
控制方式: 全自动
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EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪
(电镜真空腔室等离子清洁仪;远程等离子清洁仪)
美国PIE出品的EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪,广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统,可同时清洁真空腔室和样品!
污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响
润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物,或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上,而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。
电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率,降低SEM图像对比度和分辨率,造成错误的表面分析结果,沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中,样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。
远程等离子清洁的原理
远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。
技术特点:
快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵
低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专用多级气体过滤技术,SEMI-KLEEN能够满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求
可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用
拥有等离子强度传感器可实时监测等离子状态,用户对等离子状态一目了然
基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器,无需手动调节针阀
直观的触摸屏操作,可定义60条清洗程序方案
拥有智能安全操作模式和专家控制模式;SmartScheduleTM定时装置,通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统
低电磁干扰设计,安静的待机模式
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 安装时免费培训操作和维护方法
免费仪器保养: 不定期上门回访服务
保内维修承诺: 免费更换零部件,免人工服务费
报修承诺: 24小时内电话指导排除故障,如需要将在3-5个工作日内上门维修
美国PIE等离子清洗仪
型号:SEMI-KLEEN 面议Tergeo系列刻蚀灰化仪_等离子体表面处理仪
型号:Tergeo 面议多功能TEM样品杆清洁仪等离子体表面处理仪
型号:Tergeo EM 面议电镜附件及外设TEM cube样品杆清洁储存站
型号:TEM cube 面议Made in UK, 英国EM Resist Ltd出品的光刻胶(1%-17% PMMA、SML系列电子束曝光阻剂),PMMA是常用的普通正阻剂;SML系列阻剂是高分辨率高深宽比的正阻剂。高档的SML正阻剂特点:无需邻近效应校正,低加速电压下也能使用,可提高EBL设备能力并制作出传统PMMA做不出来的新颖微纳器件,特别适合科研应用;有SML50、SML100、SML300、SML600、SML1000、SML2000等系列型号(数字表示光刻胶涂布厚度)。(www.tansi.com.cn).
PIE(派)表面处理仪EM-KLEEN的工作原理介绍
表面处理仪EM-KLEEN的使用方法?
PIE(派)EM-KLEEN多少钱一台?
表面处理仪EM-KLEEN可以检测什么?
表面处理仪EM-KLEEN使用的注意事项?
PIE(派)EM-KLEEN的说明书有吗?
PIE(派)表面处理仪EM-KLEEN的操作规程有吗?
PIE(派)表面处理仪EM-KLEEN报价含票含运吗?
PIE(派)EM-KLEEN有现货吗?
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