英国Quorum K1050X射频等离子刻蚀清洗系统
英国Quorum K1050X射频等离子刻蚀清洗系统

¥30万 - 50万

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Quorum

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K1050X

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欧洲

  • 银牌
  • 第18年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

仪器简介:现已停产
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时,可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀。
应用:
● 石棉试样制备
● 有机材料微观灰化
● SEM&TEM中有机样品刻蚀
● 去除光刻胶及电子元件中的包胶
● 塑料品的表面处理
● SEM/TEM中的样品夹清洗
● 煤的灰化

主要特点:
特点:
● 固态射频发生器及调谐电路
● 全自动控制
● 抽屉式结构
● 两种处理气体
● 紧凑的台式系统
优点:
● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注:我们建议使用No. 2泵,它具有“专用的油”。                    

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 安装时免费培训操作和维护方法

免费仪器保养: 不定期上门回访服务

保内维修承诺: 免费更换零部件,免人工服务费

报修承诺: 24小时内电话指导排除故障,如需要将在3-5个工作日内上门维修

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