超高分辨双束扫描电镜

一、项目基本情况1.项目编号：[350001]CCZB[GK]2023010项目名称：超高分辨冷场发射扫描电镜等仪器设备采购方式：公开招标预算金额：7,225,000.00元采购包1(超高分辨冷场发射扫描电镜):采购包预算金额：3,500,000.00元采购包最高限价： 3,500,000.00元投标保证金： 70,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业1-1A02109900-其他仪器仪表超高分辨冷场发射扫描电镜1(套)是详见招标文件3,500,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包2(旋转流变仪):采购包预算金额：900,000.00元采购包最高限价： 900,000.00元投标保证金： 18,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业2-1A02109900-其他仪器仪表旋转流变仪1(套)是详见招标文件900,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包3(扫描探针显微镜):采购包预算金额：1,205,000.00元采购包最高限价： 1,205,000.00元投标保证金： 24,100.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业3-1A02109900-其他仪器仪表扫描探针显微镜1(套)是详见招标文件1,205,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包4(凝胶渗透色谱):采购包预算金额：420,000.00元采购包最高限价： 420,000.00元投标保证金： 8,400.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业4-1A02109900-其他仪器仪表凝胶渗透色谱1(套)是详见招标文件420,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包5(广角动静态光散射系统):采购包预算金额：1,200,000.00元采购包最高限价： 1,200,000.00元投标保证金： 24,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业5-1A02109900-其他仪器仪表广角动静态光散射系统1(套)是详见招标文件1,200,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。2.项目编号：OITC-G230311159项目名称：中国科学院金属研究所多场原位测试用扫描电镜采购项目预算金额：550.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：550.0000000 万元（人民币）采购需求： 包号设备名称数量简要用途交货期预算交货地点是否允许采购进口产品1多场原位测试用扫描电镜1套高分辨率成像观察，快速获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，原位测试下进行高分辨观察样品。搭载X射线能谱仪附件，可同时对样品表面微观区域内的元素成分进行定性和定量分析；搭载高速高灵敏高分辨EBSD附件，能够对晶体材料进行空间分辨率亚微米级的电子背散射衍射，能够给出结晶学数据。合同生效后9个月550万元中国科学院金属研究所是 投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得转包、分包，评标、授标以包为单位。合同履行期限：合同生效后9个月内交货。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件1.时间： 2023-06-27 至 2023-07-04 ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外）地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。方式：在线获取售价：免费2.时间：2023年06月29日 至 2023年07月06日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：登录“东方招标”平台http://www.oitccas.com注册并购买。方式：1）登陆“东方招标”平台（http://http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成供应商注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的供应商无需重新注册。磋商文件售价：每包人民币600元。如决定购买磋商文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。（一）采购人信息名称：福建师范大学地址：福建省福州市闽侯县上街镇乌龙江大道18号福建师范大学旗山校区联系方式：郑老师136968399892.采购代理机构信息（如有）名称：福建省承诚招标代理有限公司地址：福州市鼓楼区梁厝路2号华雄大厦3号楼17层联系方式：李杰0591-87554016/87554653/邮箱：fjscczb@163.com3.项目联系方式项目联系人：李杰电话：0591-87554016网址： zfcg.czt.fujian.gov.cn开户名：福建省承诚招标代理有限公司（二）1.采购人信息地址：沈阳市沈河区文化路72号　　　　　　　　联系方式：佟老师；024-23971066　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　联系方式：王军、郭宇涵、李雯；010-68290508；010-68290599；010-68290530 　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：佟老师电　话：　　024-23971066

随着纳米材料在各个工业领域的应用，推动了超高分辨率的扫描电镜的发展，但这些材料导电性不佳，因此，对低电压下仍具有高分辨率的扫描电镜提出迫切需求。 低电压扫描电镜的主要特点之一是能直接对不导电样品进行观察，同时保持高的分辨率。但是其面临的问题是束流电压降低，信号量会显著下降，同时低电压下扫描电镜像差导致分辨率降低。随着扫描电镜技术的蓬勃发展，这些问题目前都得已大大改善。 为了弥补低电压下信噪比低的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜配备了YAG材质背散射探测器（T1）（图1）。YAG（Y3Al5O12:Ce3+）是一种具有高发光效率的闪烁体材料，用掺铈的YAG材料制成的背散射探测器，发光效率更高，亮度更高，更耐离子和电子的轰击，因此几乎不存在随使用时间的累积而导致发光效率下降的问题。Apreo 2系列电镜的T1背散射探测器置于镜筒内靠近极靴下部，这样不仅可以获取大量的信号，而且不会有误操作导致的撞毁风险。同时T1接收的是背散射电子，因此，可以大大改善导电性不佳的样品带来的荷电问题。 图1 Apreo 2 扫描电镜的T1探测器位置示意图 为了减小低电压下像差增加的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜发展出了样品台减速模式（图2），以减小透镜色差和提高低电压图像分辨率。减速模式中引入的“着陆电压”的概念，即实际到达样品表面的电压，其计算非常简单，入射电压减去减速电压即为着陆电压。例如，电子束初始加速电压5kV，在样品台上加4kV的减速电压，在样品表面的着陆电压为1kV，采用减速模式后入射到样品上的电压是1kV，在样品内的电子束扩展范围和对样品荷电的减缓同初始加速电压为1kV的情形一致，但其电子束的亮度接近加速电压为5kV的状态。因此，采用减速模式，一方面保持了高加速电压下的亮度和足够的信噪比，以及高分辨率，同时又真正实现了样品表面荷电的有效缓解。减速模式下，还有一个优点，使电子束与样品相互作用产生的信号电子在减速电压的作用下加速，这些信号电子在被探测器探测到时能量更高，从而提高了二次电子或者背散射电子收集效率，增加了信噪比。图2 样品台减速模式工作原理示意图 在实际应用中，我们会将样品台减速模式和T1探测器联合使用，以获取高分辨图像。比如，锂电池隔膜是一种PP或者PE材质的高分子薄膜，其导电性极差，常规的电镜无法解决荷电问题，而使用T1探测器不仅可以解决荷电问题，而且搭配减速模式仪器使用还可以获取高信噪比图像（图3）。稀土氧化物Y2O3粉体是制造微波用磁性材料及军事通讯工程用的重要材料，综合导电性较差，高加速电压容易使表面积累荷电，而且会掩盖颗粒表面细节，因此，我们采用低加速电压搭配减速模式进行高分辨成像（图4）。 图3 锂电池隔膜（加速电压：500V，放大倍数：30000，探测器：T1，减速电压：1kV） 图4 Y2O3粉末颗粒（加速电压：500V，放大倍数：100000，探测器：T1）

10月26日，2023年全国电子显微学学术年会在东莞市召开。国仪量子在会议期间重磅发布自主研制的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500、超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X，开启了国产高端电镜发展的全新时代。发布会现场，国仪量子应用工程师详细介绍了两款全新电镜的研发历程与技术细节，并现场演示了双束电镜的测样过程，点燃了与会嘉宾对国产高端电镜的热情。与用户共创！开启国产电镜全新时代多年来，国仪量子的工程师持续深入现场，走到用户身边，挖掘其对性能、操作等多维度需求，并将这些反馈落实到产品规划中。张泽院士（右三）、陈江华教授（左四）、马德生老师（左二）与国仪量子副总裁张伟（右二）、副总裁曹峰（左三）等人合影此前，国产电镜技术一直局限在显微成像层面，难以满足更高层次的微纳表征、测量加工制造等综合性需求。国仪量子抓住用户痛点，基于深厚的技术积累与出色的产品工程化能力，研发了自主可控的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500。这标志着国产电镜正式迈入了微纳加工的全新时代。针对有着更小观测尺度、更高分辨率观测需求的科研用户，国仪量子推出了敢为人先、极具挑战意识的，超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。进一步夯实了国产高端电镜发展的基础。聚焦离子束电子束双束显微镜DB500优雅精“制”DB500DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强，为您打造全能纳米分析和加工中心。离子镜筒"承影"分辨率：3 nm@30 kV探针电流：1 pA~50 nA加速电压范围：500 V~30 kV使用寿命：≥1000小时长时间稳定性：72小时不间断工作纳米机械手仓内安装方式三轴全压电驱动步进精度≤10nm最大移动速度2mm/s集成式控制方式离子束-电子束协同气体注入器单气体注入多种气源可选伸缩距离≥35 mm重复定位精度≤10 um加热温度控制精度≤0.1℃加热温度范围：室温~90℃集成式控制方式产品优势DB50001高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品02“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样03样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位04自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X超高分辨 挑战极限SEM5000XSEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。产品优势SEM5000X01超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景03高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响04最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求本届会议期间，来自全国的近2000位显微学人齐聚一堂，以振兴电子显微学事业发展为己任，瞄准国家重大需求和国际前沿科学问题，不断为我国卡脖子难题的攻克贡献中国电子显微学者不可或缺的重要力量。国仪量子秉承”为国造仪“的初心，基于市场与用户需求，坚持自主创新与科研攻关，为国产高端科学仪器发展和国家科技自立自强不懈努力。