帕克原子力显微镜

Park NX10原子力显微镜奈米科技研究的理想选择创新研究的理想选择Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据，值得您信赖、使用和拥有。 无论是从样品设定还是到全扫描成像、测量与分析，Park NX10都可以在保证您专注于创新研究工作的同时提供高精度的数据。—————————————————————————————————————————————————创新研究的特征Park SmartScan 智能模式在SmartScan Auto专有的智能模式下，系统自动执行所需要的成像操作，同时智能选择高品质的图像质量和扫描速度。 这是通过Park的专有技术才得以实现的。 它不仅可以为您节省时间和金钱，还可以给您带来满意的研究结果。Park 消除串扰技术Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据，值得您信赖、使用和拥有。 它是一款非接触式原子力显微镜，在延长探针使用寿命的同时，还能良好地保护您的样品不受损坏。 可弯曲的独立XY扫描仪和Z扫描仪可带来较高精准度和分辨率。Park原子力显微镜模式Park原子力显微镜具有综合性的扫描模式，因此您可以准确有效地收集各种数据类型。 从使用非接触模式用来保持探针的尖锐度和样品的完整性到磁力显微镜， Park在原子力显微镜领域为您提供引领创新、精准的模式。Park NX10 扫描离子电导显微镜模块Park NX10扫描离子电导显微镜模块为广泛的应用，细胞生物学，分析化学，电生理学和神经科学提供纳米级成像。—————————————————————————————————————————————————Accurate AFM Solutions for General ResearchTall Sample 1.5 µ m step heightFlat Sample Atomic steps of sapphire wafer√ 扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌√ 台阶高度0.3 nm,扫描模式：非接触模式,Z轴位置传感器的形貌Hard Sample Tungsten filmSoft Sample Collagen fibril√ 扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌√ 扫描模式：非接触模式，Z轴位置传感器的形貌Accurate AFM Measurement with Low Noise Z DetectorPark NX10原子力显微镜的低噪声Z探测器√ NX系列核心技术√ 业界引领的低噪声√ 默认的形貌信号Z轴探测器是全新NX系列原子力显微镜的核心技术之一。 它是Park的创新型应变传感器。 凭借着0.2埃的低噪声一跃成为行业内噪声较低的Z轴探测器。 低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号，全新的NX系列原子力显微镜与前几代的原子力显微镜的差异可轻易被观察到。 如果Z轴探测器的噪声过高，用户无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶。 Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号，其噪声水平与Z轴电压形貌相同。———————————————————————————————————————————————————Park NX Series——Park NX Z轴探测器的噪声水平NX10所探测的蓝宝石晶片形貌——Park XE Series——Park XE Z轴探测器的噪声水平XE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a—————————————————————————————————————————————————Accurate AFM Scan by True Non-Contact&trade ModeTrue Non-Contact&trade ModeTapping Imaging√ 针尖磨损更低=高分率扫描更长久√ 无损式探针-样品接触=大限度减少样品受损程度√ 可满足各种条件下对各种样品进行非接触式扫描！针尖磨损更快=模糊，低分辨率扫描！破坏性的探针-样品接触=样品易受损！参数高依赖性—————————————————————————————————————————————————The Best User Convenience by Design专有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。 借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂，无需再进行繁杂的激光校准工作。—————————————————————————————————————————————————闪电般快速的自动近针自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。 通过监测悬臂接近表面的反应，Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。 高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。—————————————————————————————————————————————————快速精准的SLD光校准凭借我们领跑的预校准悬臂架，悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。 此外，自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。 由于SLD光垂直照在悬臂上，您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。 这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。 此时您只需要稍微调整信号，便可开始获取数据。—————————————————————————————————————————————————Park NX10 features扫描范围为50um x 50um 的2D扫描器XY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。 它可为进行精确的纳米级样品扫描，提供基本的面外高效正交运动和高响应能力。 Park NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。高速Z轴扫描器,扫描范围达15um借助高强度压电叠堆和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15 µ m扩展至30 µ m（可另选Z扫描头）。低噪声XYZ位置传感器行业前沿的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。 低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。驱动XY轴样品台XY轴样品台是驱动化的，以便于将样品导航并定位到扫描区域。 这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um（使用微步）。自动步进扫描借助驱动样品台，步进扫描可编程多区域成像，以下是它的工作流程：1) 扫描成像2) 抬起悬臂3) 移动驱动平台到设定位置4) 进针5) 重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求，从而很大程度上提高生产力。操作方便的样品台Park NX10的特有头部设计可使用户从侧面操作样品和探针，用户在样品台上可放置的样品体积 up tp 50mm× 50mm×20mm（长×宽×高）。滑动崁入SDL镜头的自主固定方式您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。 该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。 借助于相关性低的SLD，显微镜可精准成像并可准确测定力-距离曲线。结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜超长工作距离的定制物镜（工作距离50mm, 数值孔径0.21，分辨率1.0 μm ）带来高精镜头清晰度。 直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。 EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高。垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。 用户通过软件界面进行操控，由高精度步进电机带动，即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。高速24位数字控制器所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-Contact&trade 模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成像和精准电压电流测量的理想选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是高级研究员的理想选择。XY和Z轴检测器的24位信号分辨率&bull XY轴（50 μm）的分辨率为0.003 nm&bull Z轴（15 μm ）的分辨率为0.001 nm嵌入式数字信号处理功能&bull 三通道数码锁相放大器&bull 弹簧系数校准（热方法）&bull 数据Q控制集成式信号端口&bull 专用可编程信号输入/输出端口&bull 7个输入端口和3个输出端口—————————————————————————————————————————————————Park NX10技术参数扫描器Z扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)XY扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 50 µ m × 50 µ m(可选10 µ m × 10 µ m 或 100 µ m × 100 µ m)驱动台Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm (Motorized)样品架样品尺寸: 开放空间 up to 100 mm x 100 mm，厚度 up to 20 mm样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 480 × 360 µ m (带10倍物镜)CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器弹性系数校准(热方法，可选)数据Q控制 连接外部信号20个嵌入式输入/输出端口5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP,调制和交流偏压AFM模式(*可选项）标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜 (LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜 力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能静电力显微镜(EFM)动态接触式静电力显微镜(EFM-DC)压电力显微镜(PFM)高压压电力显微镜* 机械性能力调制显微镜(FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学特性*磁力显微镜(MFM)可调制磁力显微镜 电性能导电原子力显微镜(C-AFM)*IV谱线*扫描开尔文探针显微镜(KPFM)扫描电容显微镜(SCM)*扫描电阻显微镜(SSRM)*扫描隧道显微镜(STM)*光电流测绘 (PCM)* 化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜(EC-AFM)原子力显微镜选项温度控制温控台 1 -25 °C to +170 °C温控台 2 Ambient to +250 °C温控台 3 Ambient to +600 °C 液体池通用液体池有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池控温范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)电化学池开放式液体池液下探针柄专为在一般液体环境中成像而设计对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像 磁场发生器施加平行于样品表面的外部磁场可调磁场Range : -300 ~ 300 gauss由纯铁芯和两个电磁线圈组成

Park NX-TSH专为大型纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统———————————————————————————————————————————————————————随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。为OLED面板行业整片测量，超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。Park NX-TSH的全自动特点可灵活掌握自动，半自动和手动模式为每个自动化程序提供可编辑测量方法实时监控测量过程自动分析获取测量数据高精度，高效率自动换针器(ATX)ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。电离系统可提供更稳定的扫描环境Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个极其稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降至最低。—————————————————————————————————————————————————————————专为OLED面板行业整片测量，LCD测量提供的全自动探针扫描器解决方案专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。硅片直径的变化使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。—————————————————————————————————————————————————————————Park NX-TSH特点克服了样品大小和重量的限制。Park原子力显微镜公司新开发的探针扫描器结合了X、Y和Z扫描器，可以直接移动到所需测量的点。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向扫描探针头，X- Y方向可达到100µ m X 100 μm和Z方向可达到15 μm ，并有灵活的卡盘，以适应超过300毫米的超大超重样品，用于OLED和LCD大样品分析。 样品固定在样品卡盘上，连接在机架上的探针扫描头移动到样品表面的测量位置。 Park NX-TSH的探针扫描头系统因此克服了样品固定在样品卡盘上时候样品大小和重量的限制。闭环的100μmx 100μm柔性导向XY扫描器XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。————————————————————————————————————————————————————————————————————具有低噪声位置传感器的15μm高速Z扫描器NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。————————————————————————————————————————————————————————————————————专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200mmPark NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。————————————————————————————————————————————————————————————————————自动测量控制，简易操作测量更精准！NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。—————————————————————————————————————————————————————————

特点：◆独立的Z扫描仪和低噪音Z探测器可提供更准确的读数◆XY平台曲型底座可消除传统原子力显微镜中的弯曲效应◆非接触式原子力显微镜，更长时间保持针尖的尖锐◆精确成像，友好的用户界面，自动针尖靠近，和10次快速扫描设置规格参数：型号ParkNX10扫描仪XY扫描仪50um*50um(可选10um*10um或100um*100um)Z扫描仪15um(可选30um)形貌噪音光学物镜10X（20X可选）电子ADC18个频道4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器DAC12个频道2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器样品台XY平台行程20mmX20mmZ平台行程22mm聚焦平台行程15mm样品尺寸高达50mmX50mm最多厚20mm物理信息外形尺寸700mm（长）X800mm（宽）X1300mm（高）