近场近场显微镜

2015年Anasys发布了最新一代产品nanoIR2-s，在广受欢迎的第二代纳米红外光谱系统的基础上增加了散射近场光学成像和光谱功能（s-SNOM）。实现了同一平台兼具AFM-IR和s-SNOM两种技术。仪器的空间分辨率达到10nm，广泛用于各种聚合物、有机无机复合材料、生物样本、半导体、等离子体、纳米天线等。纳米红外&散射近场光学成像和光谱系统(nanoIR2-s)AFM-IR &s-SNOM l AFM-IR 消除分析化学研究人员的担忧--与FTIR光谱完全吻合，没有吸收峰的任何偏移l s-SNOM使用金属镀层AFM探针代替传统光纤探针来增强和散射样品纳米区域内的光辐射，空间分辨率由AFM针尖的曲率半径决定l 专利技术实现智能的光路优化调整，无需担心光路偏差拖延你的实验进度l 最准确的定性微区化学表征，得到美国国家标准局NIST, 橡树岭国家实验室等美国权威机构的认可l 简单易用的操作，被三十多位企业用户和近百位学术界所选择l 基于DI传承的多功能AFM实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）10纳米空间分辨率化学成像和光谱石墨烯等离子体 高分辨率成像 石墨烯表面等离子体的近场相位和振幅成像；优于10nm的光学成像PTFE的nano FTIR光谱显示相干分子振动时域图（上图）,和相应的近场光谱（下左图）。pNTP分子层的近场光谱（图下右）。

美国Anasys公司的AFM+可以提供全面的原子力显微功能，具有强大的分析能力，使得AFM不仅仅是一个普通的成像工具，还可以进行材料纳米级尺度的成分分析，热性能和机械性能的分析。AFM+的主要特点：简洁的安装与操作 □ AFM+为最便利的使用而设计制造。探针预装在金属圆片上，确保探针位置的准确性和装针的便捷□ 仪器集几十年AFM设计大师的经验之大成，即使初次使用也能快速获取结果完整的AFM工作模式 □ 包含所有常规成像模式：接触、轻敲、相位、侧向力、力调制、力曲线□ 独有高分辨率低噪音的闭环成像□ 基于DI传承的多功能AFM，实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）独有的可升级功能□ 热学性能：独有的热探针技术，提供纳米级红外分析□ 机械性能：洛伦兹接触共振模式能够提供宽频纳米机械分析□ 化学性能：可升级具有纳米红外光谱技术，实现局部化学组分分析□ 近场成像：可升级具有散射式近场光学成像和光谱采集功能

SIG 系列分布式光度计，可以直接得到LED 等光源的近场光线数据Ray DATA，从而通过权重法超高精度模拟不同距离下的远场数据，测试数据可以直接导入Zemax、LightTool、TracePro 等光学设计软件；可以了解你芯片的发光特点，改进封装设计工艺，提高出光效率；对于LED 应用，无需再为LED 光学模型重建而苦恼；让你轻松实现业界领先的光学设计； SIG400光源近场分布测试系统

仪器简介：以Zeiss显微镜为基础，近场激发光路为正置共焦显微镜加特殊设计的近场物镜头，采用悬臂梁近场光学针尖，近场光激发强度高于光纤针尖2-3个数量级，很大程度改善了近场光学显微镜信号过弱的问题，坚固的近场针尖加柔韧的悬臂梁，经典的原子力显微镜反馈模式，带来逼近和测量时的优异的安全性和稳定性； AlphaSNOM集中而且不相互干扰地提供了共焦光学、近场光学、原子力三种显微测试模式，各取三种显微模式之所长，相互比较，相互验证.

太赫兹近场显微镜TeraCube利用高性能太赫兹探针，结合时域泵浦探测系统成为THz近场系统可以进行高分辨率的成像研究。TeraCube Scientific和新的TeraCube Scientific M2是全自动太赫兹近场扫描系统，可以在光学实验室中运行。这两种系统都可以在距离样品表面受控的距离内对太赫兹场分布进行时域测量。TeraSpike近场微探针通过对平面样品传输宽带太赫兹脉冲进行成像。THz近场显微镜主要特点：▅ 通过同步运动控制和实时位置检测实现连续运动扫描的高速数据采集▅ 结构或弯曲样品在恒定微探针/表面距离下自适应太赫兹表面扫描的光学样品形貌检测▅ 用于偏振相关测量的线偏振和圆偏振太赫兹发射器▅ 高性能太赫兹发射器/探测器组件，加上高动态范围锁定检测，可获得卓越的信号质量▅ 用于监测微探针尖duan和样品位置的集成ccd摄像头模块▅ 集成CCD摄像头模块，用于监测微探针尖duan和样品位置系统控制和测量自动化软件，带有易于操作的图形用户界面，安装于配套PC▅ 软件实现对准监控功能和系统检测▅ 软件辅助微探针针尖到样品表面控制▅ 用于快速光学对准的时域信号预览模式▅ 数据导出为纯文本或Matlab兼容格式▅ 激光防护和防尘系统外壳▅ 开放式可扩展实验室型系统平台THz近场显微镜技术参数：THz近场显微镜安装要求：振动阻尼光学台，1.5米x 1米x 1米的系统放置空间；3B级或以上激光实验室规范THz近场显微镜应用：▅ 太赫兹超材料研究及传感应用 ▅ 半导体晶圆检验 ▅ 薄层电阻成像▅ 石墨烯分析 ▅ 太赫兹器件特性 ▅ 微观结构分析▅ 无损检测另外，我们可以根据客户要求，结合AFM原子力显微镜技术，配置相应的散射式THz近场成像系统。关于昊量光电：昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务，助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询，我们将竭诚为您服务。

alpha300 RS – 原位关联的拉曼和扫描近场光学图像 对于拥有挑战性实验要求的用户来说，alpha300 RS将共聚焦拉曼图像及突破光学衍射极限的扫描近场光学显微镜结合在一起。Alpha 300RS在一台设备上继承了所有的Alpha 300R显微拉曼功能，Alpha 300S扫描近场光学显微镜功能和许多AFM操作模式。 Alpha 300S扫描近场光学显微镜主要特点l 所有alpha300 R (拉曼) 和alpha300 S (近场) 的性能集成到一个显微镜系统内l 优异的原位化学组分分析（拉曼）和超高分辨率表面成像（近场）的结合l 只需要转动物镜转盘即可在两种技术间轻松切换l 两种测量间无需移动样品 Alpha 300S扫描近场光学显微镜应用实例 剥离石墨烯的表面拓扑结构VS拉曼图像左图：表面拓扑结构及沿蓝线的轮廓曲线右图：石墨烯G峰沿红线的强度变化曲线 Alpha 300S扫描近场光学显微镜性能通用拉曼操作模式l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 快速和慢速时间序列l 单点及Z方向深度扫描l 光纤耦合的UHTS 系列光谱仪，专为弱光应用的拉曼光谱设计l 共聚焦荧光显微镜功能l 明场显微镜功能 近场显微镜操作模式l 扫描近场光学显微镜模式：底部激发顶部收集（远场激发近场收集）模式，顶部激发底部收集（近场激发远场收集）模式，探针收集（近场激发近场收集）模式l 共聚焦(CM)模式：透射，反射，荧光（可选）l 近场-原子力联用：Alpha 300A的所有模式均可选l 固定底部透射照明l 全内反射照明模式（可选） 原子力显微镜操作模式l 接触模式l 横向力模式l 其他可选 各类拉曼升级选项（如true surface等）l 多种激光可选择l 多种光谱仪可选择l 自动共聚焦拉曼成像l 自动多区域多点测量l 可升级超快拉曼图像模式(需配置EMCCD和Piezo样品台，可获得每秒1300张光谱的速度)l 可升级落射荧光照明l 自动聚焦功能l 显微镜观察法可选，如暗场，像差，偏光，微分干涉等 超高通光量UHTS光谱仪l 各类透射式波长优化谱仪可选 (UV, VIS or NIR)，均为弱光拉曼光谱设计l 光纤耦合，70%超高光通量l 优异的成像质量，光谱峰形对称无像差 控制电脑WITec控制和数据采集，处理软件

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Molecular Vista 散射式扫描近场光学显微镜 ——10nm以下空间分辨可见-红外成像与光谱采集随着近些年对于纳米光子学、表面等离极化激元、二维材料以及范德华异质结构等领域的深入研究，扫描近场光学显微镜 (Scanning Near-field Optical Microscope, SNOM) 已成为研究这些领域的不可或缺的表征手段。虽然扫描近场光学显微镜在散射式模式(s-SNOM)下的空间分辨率有了很大的提升，但是在实际使用上仍然得十分繁杂。在这一背景下，美国Molecular Vista应运而生，推出了全新一代散射式扫描近场光学显微镜Vista-SNOM！有别于传统的扫描近场光学显微镜，Vista-SNOM基于专利的光诱导力显微镜（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术，通过检测探针与样品之间的偶极交互直接获得样品表面的场强分布，无需远场光学探测器。这不仅杜绝了远场信号的干扰，也无需像SNOM那样配置多个不同波段光学探测器。光诱导力显微镜的检测端可无缝适应紫外～射频，用户仅需考虑如何将激发光激发至样品。Vista-SNOM在光诱导力显微镜模式下实测的场强结果与模拟结果高度吻合，同时也具备了s-SNOM模式。这使得科研人员可以将PiFM场强结果与s-SNOM场强结果进行对比分析。s-SNOM 散射式扫描近场光学显微镜案例下图为金铝二聚体分别在480nm和633nm不同偏振方向激发后的场强分布，图a,b的实测场强与图c,d的理论模拟是否吻合，金铝二聚体间隔仅为5nm!摘自“Wavelength-dependent Optical Force Imaging of Bimetallic Al-Au Heterodimers, Nano Lett. 2018”上面提到拉曼信号的增强主要源于局域表面等离子体共振(LSPR)的电磁场增强，下图为基于银颗粒阵列的表面增强拉曼衬底(SERS)的场强分布，图f的FWHM结果显示光诱导力显微镜实现了3.1nm的空间分辨。摘自“Fabrication and near-field visualization of a waferscale dense plasmonic nanostructured array, RSC Adv. 2018”

WITec alpha 300S独特的悬臂式扫描近场光学显微镜alpha 300S一款操作简易的扫描近场光学显微镜（SNOM），采用独特设备的中空悬臂式近场探针实现超越衍射极限的光学分辨率。alpha 300S系统也具备优越的兼容性和扩展性，可与共聚焦光学/拉面显微镜及原子力显微镜集成在同一台仪器上，仅需旋转物镜转轮即可实现不同模式切换。WITec alpha 300S是一种纯近场光学显微镜，在很多样品上都可获得一致的超高分辨率，并且拥有透射与反射式两种模式。该近场光学显微镜不同于其他的超分辨显微镜，如 STED 和 STORM，后二者往往受限于荧光染料分子的可选种类及特殊的激发光源。 alpha300S 系统采用软件可控的快速自动进针及调节等自动测试流程，操作非常简便、直观。 由于近场光学信号极其微弱，alpha300 S 近场光学显微镜配备高灵敏单光子计数的光电倍增管或雪崩二极管，并同时提供检测器快速超载保护。更重要的是，UHTS 光谱仪可与 alpha300S系统兼容，实现近场光谱与成像测量。 关键特性：突破衍射极限的空间光学分辨率（横向约 60 nm)独家专利的 SNOM 探针技术在空气与液体中均可使用包含多种原子力与光学显微镜模式非破坏性、无需标记的超高分辨成像技术，基本不需要样品制备可升级到关联的共聚焦拉曼成像和近场拉曼成像集成三种技术到一台仪器上：共聚焦显微镜, AFM 和 SNOM技术参数：1）工作模式：近场显微镜，共聚焦显微镜，原子力显微镜三种工作模式； 2）近场光学显微镜分辨率：为50nm 3) 共聚焦拉曼显微镜分辨率：200nm 4) 扫描台扫描范围：100 x 100 x 20 μm 5）探测器：光电倍增管（PMT）或雪崩二极管（APD）

WITec alpha 300S是一种纯近场光学显微镜，在很多样品上都可获得一致的超高分辨率，并且拥有透射与反射式两种模式。该近场光学显微镜不同于其他的超分辨显微镜，如 STED 和 STORM，后二者往往受限于荧光染料分子的可选种类及特殊的激发光源。 alpha300S 系统采用软件可控的快速自动进针及调节等自动测试流程，操作非常简便、直观。由于近场光学信号极其微弱，alpha300 S 近场光学显微镜配备高灵敏单光子计数的光电倍增管或雪崩二极管，并同时提供检测器快速超载保护。更重要的是，UHTS 光谱仪可与 alpha300S系统兼容，实现近场光谱与成像测量。关键特性：突破衍射极限的空间光学分辨率（横向约 60 nm)独家专利的 SNOM 探针技术在空气与液体中均可使用包含多种原子力与光学显微镜模式非破坏性、无需标记的超高分辨成像技术，基本不需要样品制备可升级到关联的共聚焦拉曼成像和近场拉曼成像集成三种技术到一台仪器上：共聚焦显微镜, AFM 和 SNOM

**********************近场扫描光学显微镜的基本构造******************** 进行NSOM实验，必须将点光源靠到样品表面纳米距离，然后点光源扫描样品表面，再收集探测经过样品表面的光学信号。我们使用经金属涂层处理的带孔洞椎形光纤作为NSOM探针。光经耦合进入探针，从亚光波长孔径的探针尖端发出，NSOM的分辨率就是由孔径的大小决定(最优可以达到50纳米)。点光源和样品表面的距离通常通过正常的力反馈机制(与AFM相同)控制，因此可以进行接触、敲击和非接触模式的NSOM实验。针对不同的材料和实验，通常有四种NSOM操作模式： * 透射模式成像&mdash &mdash 样品经过探针照明，光通过样品并与样品相互作用后被收集探测；* 反射模式成像&mdash &mdash 样品经过探针照明，光从样品表面反射并被收集探测；* 收集模式成像&mdash &mdash 样品经远场光源照明(从上或下面均可)，探针将光信号从样品表面收集；* 照明收集模式成像&mdash &mdash 用同一根探针同时进行照明和收集探测反射光； 在近场光学领域，部分扫描模式只有通过Nanonics提供的独特玻璃光纤探针才能完成，因为我们独特的光纤探针具有很好的波导性能。 收集的光可通过多种探测器探测，如APD(Avalanche Photo Diode)、PMT(Photomultiplier Tube)、InGaAs探测器、CCD或通过光谱仪探测，通过探测器得到的信号经过数据处理得到样品材料的NSOM图像。技术参数：原子力扫描表征-接触模式（可选）-探针或者样品扫描都具有所有原子力显微镜的操作模式。近场光学成像和激发表征 -透射，反射，收集，激发模式界面差别对比表征 -反射和透射模式折射系数分析表征 -反射和透射模式热导和阻值扩散分析表征-接触AC模式-无反馈激光通过外部媒介导入半导体，使用音叉反馈在线远场共聚焦拉曼和荧光光谱成像-反射和透射模式-针尖增强拉曼散射和在超薄层面上做选择性拉曼散射，例如应变硅纳米刻蚀-纳米&ldquo 笔&rdquo 探针输送多种化学物质和气体-近场光学刻蚀和常规方式的纳米刻蚀技术比如电子氧化等，并且可-以同时使用另外一根探针做在线同步分析纳米压痕-使用兆级帕斯卡压强，通过另外一个附加探针的在线同步分析将力学探针精确定位和控制。++++++SPM 扫描头参数样品扫描器-压电扫描平台 （3D 扫描台&trade ）-高度7毫米探针扫描器-四个独立控制的压电扫描平台（3D 扫描台&trade ）模块-高度7毫米扫描范围 -每根单探针扫描范围30 微米 (XYZ方向)-仅样品扫描器扫描范围100微米(XYZ方向)-样品扫描器和单探针扫描器扫描范围130微米 (XYZ方向)-样品扫描器和双探针扫描器扫描范围160微米(XY方向)扫描分辨率- 0.05 纳米 (Z方向)- 0.15纳米(XY方向)- 0.02纳米(XY方向) 低电压模式粗定位-样品粗调定位： XY 马达驱动范围5mm-分辨率0.25微米-针尖粗调定位：-XY方向马达驱动-驱动范围5mm-分辨率0.25微米-Z方向马达驱动-驱动范围10mm-分辨率0.065微米反馈机制-音叉反馈（标准）-激光反射反馈（可选）常规样品尺寸-标准尺寸可达到16毫米-使用上置光学显微镜操可达到34毫米-不使用样品扫描方式可以达到55毫米-有些客户样品尺寸达到200mm也能扫描-非常规尺寸样品：例如横截面高低起伏较大的样品等一些特殊形状样品探针-独特的玻璃探针，针尖可以提供不同的形貌和参杂金属颗粒或者涂层各种形式的常规硅悬臂探针也可以使用 ++++++成像分辨率远场成像分辨率 -到达衍射限制光学成像分辨率 -非共聚焦下光学分辨率500纳米左右共聚焦成像分辨率-200纳米近场光学成像分辨率-安装时保证100纳米分辨率；50纳米分辨率也可以提供形貌成像分辨率-Z 方向噪音有效值0.05 纳米（RMS）-XY 横向分辨率：根据样品和针尖直径情况热学成像分辨率-至少100纳米阻值成像分辨率-至少25纳米++++++热学&阻值成像温度参数-300度或者更高，要考虑样品情况热学参数-独特的双根纳米铂丝嵌在绝缘玻璃探针中-热敏感度0.01 º C-测量阻值改变速率为0.38 &Omega /º C阻值特点-独特的双根纳米铂丝嵌在绝缘玻璃探针中并且可以做出不同的形状结构和涂层-超高电势分辨率-接触电阻极微小-电学稳定& 抗氧化 ++++++在线光学和电子/离子光学扫描同步完成可以完成的表征类别-远场光学，共聚焦光学，近场，微区拉曼，扫描电子显微镜（SEM）或者聚焦离子束（FIB）整合优势 -样品扫描台上下光路开阔，可以做光学或电子/离子光学特征同步扫描联用-将多形式的光学显微镜整合在一起，包括上置光学显微镜和下置光学显微镜同时整合在探针扫描平台上-整合了多种标准微区拉曼180度背反射几何形貌配置。下置光学显微镜和Nanonics独特的上下置光学显微镜可以做不同的透明和非透明样品-具有多种常规的远场光学操作模式包括相位成像和界面差别对比-可以使用上置，下置和双置光学显微镜做任何模式近场光学扫描，无需更换扫描头保证了实验结果稳定性和可重复性。探测器类别-PMT， APD 或者InGaAs 红外探测器激光光源-可提供深紫外到近红外激光电视频系统 -在线CCD 视频成像主要特点： 独特的多探针系统Nanonics原子力显微镜最多可以同时进行四探针测试，光纤探针各自独立控制，可以同时分别、独立进行如滴液、加压，电学，热学方面的测试等不同的工作。专利技术的独特扁平3D 扫描台具有专利技术的扫描台上下光路开阔，可以将上，下置光学共聚焦显微镜整合到AFM扫描平台上，在无需更换任何探头的情况下同步完成的一系列的探针扫描，光学测量，力学测量，热学电学测量等测试手段，节约了用户大量的时间和精力并保证了样品测试的连贯性。通常很多厂家仪器做不同测试的时候探头都需要更换，不能同步联用并且费时费力。Nanonics这项专利是优势技术，并且探针扫描台和样品扫描台可以独自运作，即可以探针不动，样品移动；或者样品不动，探针移动。扫描的步进位移通过压电陶瓷驱动精度极高，Nanonics原子力显微镜分别提供一个85um样品扫描台和30um探针扫描台，XY方向的扫描范围是110*110um。尤其是Z方向的大扫描范围是所有AFM厂家无法提供的。另外一个3D扫描台提供探针扫描和样品扫描两种模式，在所有AFM 电镜中是独特的设计。独特的音叉反馈机制常规的AFM反馈通过激光反射反馈，具有噪音大，调试困难，受干涉情况；尤其在液体中或者做光学测试的时候，例如近场光学，AFM-Raman测试中，容易被干涉或者干涉有效信号。音叉反馈采用常规力学反馈避免了以上所有弊病，安装简单，结构稳定。专利技术的悬臂光纤弯针 。Nanonics 原子力显微镜的玻璃探针可提供畅通的光学通道，光线能以与传统直线式近场光学元件相同的效率和偏振性传输到探针尖端。玻璃探针可以做成中空型，用于加载光纤或实现Nano-Pen功能。多种探针通用平台Nanonics 原子力显微镜系统不仅可以使用玻璃光纤探针，也可以使用传统的商业化AFM/NSOM硅探针，提供了一个通用多探针使用平台。客户也可以要求使用常规硅悬臂探针。另外Nanonics还可以根据客户不同的需要定制探针。无与伦比的Z 方向探测深度MV4000在Z方向最大可探测深度为140um，非常适合深沟状样品。独特的悬臂设计不仅能探测深沟底部的形貌，而且可以对侧面进行检测。常规的硅悬臂探针无法做深沟探测。独特的光学友好性Nanonics原子力显微镜的玻璃光纤探针可提供畅通的光学通道，可同时和正置与倒置显微镜配合使用，实现透射式、反射、照明模式、收集模式（Nanonics独有的）等多个功能。光纤探针具有良好的光学性能和光导性能，这是硅悬臂探针无法做到的。拉曼连用平台MV4000的玻璃光纤探针具有光学友好特性，可与拉曼光谱仪整合，例如常用的Reinshaw 和JY Raman系统。可实现在线AFM形貌扫描，拉曼Mapping，自动共聚焦，提高拉曼的精度。配合NSOM可以完成微区Raman，并且还可以做荧光和微区荧光扫描。由于独特的扫描平台，AFM-Raman 联用不仅可以扫描透明样品还可以扫描不透明的块状和薄膜样品，这也是在AFM-Raman 联用案例中独特的设计。独有的TERS玻璃探针Nanonics在玻璃光纤探针的尖端采用专利的独立金球技术，与其他涂层探针相比，不会因在长时间使用后，受到激光影响而脱落，更为稳定，效率更高。配合独特的扫描台设计，可以在光源位置找到最佳激光偏振位置获得最好的TERS信号源。这也是其独特功能。

仪器简介：我们的创新NANONICS IMAGING LTD.一直是扫描探针显微镜（SPM）领域中将近场光学显微镜(NSOM)技术和原子力显微镜(AFM)技术完美结合的领头羊之一。公司成立于1997年，在过去的十年里我们将新的概念应用到SPM系统中从而开拓了SPM市场领域一个新的视角。 Nanonics使用悬臂近场光学探针为业内提供了近场光学成像；同时也引入了双探针技术、样品扫描AFM系统；提供近场光学（NSOM）/原子力显微镜（AFM）低温系统，Raman-AFM系统，多探针AFM系统和扫描电镜（SEM）/AFM系统。NANONICS是业界成立最久并且对此类系列产品经验最丰富的公司之一，其产品荣获过许多国际大奖。在强大的NSOM/AFM的整合操作系统推动下，今天NANONICS继续以强大的优势和全面的系统领导着市场。NANONICS凭借实力和品质，其产品涉足的领域从科研到工业，从生物学到半导体，从化学制品到无线电通讯，应用范围极其广泛。 我们的理念 提供SPM，近场光学和显微镜整合方案 Nanonics 致力于制造世界级领先的SPM仪器，我们将SPM技术和其它显微镜表征技术整合在一起。在纳米科技表征技术领域中，为用户提供一个开放并极具潜力的SPM表征技术平台。 我们的技术作为一家商业公司，我们有着自己独特的技术优势。我们能提供大量种类齐全的纳米探针。包括专利的悬臂近场光学（NSOM）探针到热学，电学探针。这些外露光学探针的运用结合具有专利保护的3D平面扫描技术为我们的系统提供了一个广阔开放的光学平台 这是我们能够将AFM技术和其它显微镜表征技术完美结合的重要原因。 我们的团队 我们拥有一支世界级的专家团队为我们提供创新技术和高性能的产品。在过去的十年里我们拥有40多名员工并且组建了SPM专家和科学家团队。 团队直接由近场光学奠基人之一的Aaron Lewis 教授带领十五名科学家为全球客户提供以SPM为平台的产品和技术支持。 我的技术服务我们致力于提供客户高性能的业内领先级产品和高附加值的技术支持。从系统安装开始，我们就区别于其它竞争对手，为你提供高素质的技术专家安装设备，提供SPM技术领域的专家指导。通过一对一的与客户沟通帮助客户使用仪器。Nanonics在业内已经有一大批客户并且客户通过使用我们的仪器发表了不少好的文章。这些客户和客户的成绩也同样见证了我们为客户提供了的完整的SPM和其他表征整合方案和技术支持。**********************近场扫描光学显微镜的基本构造******************** 进行NSOM实验，必须将点光源靠到样品表面纳米距离，然后点光源扫描样品表面，再收集探测经过样品表面的光学信号。我们使用经金属涂层处理的带孔洞椎形光纤作为NSOM探针。光经耦合进入探针，从亚光波长孔径的探针尖端发出，NSOM的分辨率就是由孔径的大小决定(最优可以达到50纳米)。点光源和样品表面的距离通常通过正常的力反馈机制(与AFM相同)控制，因此可以进行接触、敲击和非接触模式的NSOM实验。针对不同的材料和实验，通常有四种NSOM操作模式： * 透射模式成像 样品经过探针照明，光通过样品并与样品相互作用后被收集探测；* 反射模式成像 样品经过探针照明，光从样品表面反射并被收集探测；* 收集模式成像 样品经远场光源照明(从上或下面均可)，探针将光信号从样品表面收集；* 照明收集模式成像 用同一根探针同时进行照明和收集探测反射光； 在近场光学领域，部分扫描模式只有通过Nanonics提供的独特玻璃光纤探针才能完成，因为我们独特的光纤探针具有很好的波导性能。 收集的光可通过多种探测器探测，如APD(Avalanche Photo Diode)、PMT(Photomultiplier Tube)、InGaAs探测器、CCD或通过光谱仪探测，通过探测器得到的信号经过数据处理得到样品材料的NSOM图像。技术参数：原子力扫描表征-接触模式（可选）-探针或者样品扫描都具有所有原子力显微镜的操作模式。近场光学成像和激发表征 -透射，反射，收集，激发模式界面差别对比表征 -反射和透射模式折射系数分析表征 -反射和透射模式热导和阻值扩散分析表征-接触AC模式-无反馈激光通过外部媒介导入半导体，使用音叉反馈在线远场共聚焦拉曼和荧光光谱成像-反射和透射模式-针尖增强拉曼散射和在超薄层面上做选择性拉曼散射，例如应变硅纳米刻蚀-纳米笔 探针输送多种化学物质和气体-近场光学刻蚀和常规方式的纳米刻蚀技术比如电子氧化等，并且可-以同时使用另外一根探针做在线同步分析纳米压痕-使用兆级帕斯卡压强，通过另外一个附加探针的在线同步分析将力学探针精确定位和控制。++++++SPM 扫描头参数样品扫描器-压电扫描平台 （3D 扫描台&trade ）-高度7毫米探针扫描器-四个独立控制的压电扫描平台（3D 扫描台&trade ）模块-高度7毫米扫描范围 -每根单探针扫描范围30 微米 (XYZ方向)-仅样品扫描器扫描范围100微米(XYZ方向)-样品扫描器和单探针扫描器扫描范围130微米 (XYZ方向)-样品扫描器和双探针扫描器扫描范围160微米(XY方向)扫描分辨率- 0.05 纳米 (Z方向)- 0.15纳米(XY方向)- 0.02纳米(XY方向) 低电压模式粗定位-样品粗调定位： XY 马达驱动范围5mm-分辨率0.25微米-针尖粗调定位：-XY方向马达驱动-驱动范围5mm-分辨率0.25微米-Z方向马达驱动-驱动范围10mm-分辨率0.065微米反馈机制-音叉反馈（标准）-激光反射反馈（可选）常规样品尺寸-标准尺寸可达到16毫米-使用上置光学显微镜操可达到34毫米-不使用样品扫描方式可以达到55毫米-有些客户样品尺寸达到200mm也能扫描-非常规尺寸样品：例如横截面高低起伏较大的样品等一些特殊形状样品探针-独特的玻璃探针，针尖可以提供不同的形貌和参杂金属颗粒或者涂层各种形式的常规硅悬臂探针也可以使用 ++++++成像分辨率远场成像分辨率 -到达衍射限制光学成像分辨率 -非共聚焦下光学分辨率500纳米左右共聚焦成像分辨率-200纳米近场光学成像分辨率-安装时保证100纳米分辨率；50纳米分辨率也可以提供形貌成像分辨率-Z 方向噪音有效值0.05 纳米（RMS）-XY 横向分辨率：根据样品和针尖直径情况热学成像分辨率-至少100纳米阻值成像分辨率-至少25纳米++++++热学&阻值成像温度参数-300度或者更高，要考虑样品情况热学参数-独特的双根纳米铂丝嵌在绝缘玻璃探针中-热敏感度0.01 C-测量阻值改变速率为0.38 C阻值特点-独特的双根纳米铂丝嵌在绝缘玻璃探针中并且可以做出不同的形状结构和涂层-超高电势分辨率-接触电阻极微小-电学稳定& 抗氧化 ++++++在线光学和电子/离子光学扫描同步完成可以完成的表征类别-远场光学，共聚焦光学，近场，微区拉曼，扫描电子显微镜（SEM）或者聚焦离子束（FIB）整合优势 -样品扫描台上下光路开阔，可以做光学或电子/离子光学特征同步扫描联用-将所有形式的光学显微镜整合在一起，包括上置光学显微镜和下置光学显微镜同时整合在探针扫描平台上-整合了所有标准微区拉曼180度背反射几何形貌配置。下置光学显微镜和Nanonics独特的上下置光学显微镜可以做不同的透明和非透明样品-具有所有常规的远场光学操作模式包括相位成像和界面差别对比-可以使用上置，下置和双置光学显微镜做任何模式近场光学扫描，无需更换扫描头保证了实验结果稳定性和可重复性。探测器类别-PMT， APD 或者InGaAs 红外探测器激光光源-可提供深紫外到近红外激光电视频系统 -在线CCD 视频成像主要特点： 独有的多探针系统Nanonics原子力显微镜最多可以同时进行四探针测试，光纤探针各自独立控制，可以同时分别、独立进行如滴液、加压，电学，热学方面的测试等不同的工作。专利技术的独特扁平3D 扫描台具有专利技术的扫描台上下光路开阔，可以将上，下置光学共聚焦显微镜整合到AFM扫描平台上，在无需更换任何探头的情况下同步完成的一系列的探针扫描，光学测量，力学测量，热学电学测量等测试手段，节约了用户大量的时间和精力并保证了样品测试的连贯性。通常很多厂家仪器做不同测试的时候探头都需要更换，不能同步联用并且费时费力。Nanonics这项专利是目前市场上的优势技术，并且探针扫描台和样品扫描台可以独自运作，即可以探针不动，样品移动；或者样品不动，探针移动，其它厂家无法提供这种独特的扫描方式。扫描的步进位移通过压电陶瓷驱动精度极高，Nanonics原子力显微镜分别提供一个85um样品扫描台和30um探针扫描台，XY方向的扫描范围是110*110um。尤其是Z方向的大扫描范围是所有AFM厂家无法提供的。另外一个3D扫描台提供探针扫描和样品扫描两种模式，在所有AFM 电镜中是独一无二的设计。独特的音叉反馈机制常规的AFM反馈通过激光反射反馈，具有噪音大，调试困难，受干涉情况；尤其在液体中或者做光学测试的时候，例如近场光学，AFM-Raman测试中，容易被干涉或者干涉有效信号。音叉反馈采用常规力学反馈避免了以上所有弊病，安装简单，结构稳定。专利技术的悬臂光纤弯针 。Nanonics 原子力显微镜的玻璃探针可提供畅通的光学通道，光线能以与传统直线式近场光学元件相同的效率和偏振性传输到探针尖端。玻璃探针可以做成中空型，用于加载光纤或实现Nano-Pen功能。多种探针通用平台Nanonics 原子力显微镜系统不仅可以使用玻璃光纤探针，也可以使用传统的商业化AFM/NSOM硅探针，提供了一个通用多探针使用平台。客户也可以要求使用常规硅悬臂探针。另外Nanonics还可以根据客户不同的需要定制探针。无与伦比的Z 方向探测深度MV4000在Z方向最大可探测深度为140um，非常适合深沟状样品。独特的悬臂设计不仅能探测深沟底部的形貌，而且可以对侧面进行检测。常规的硅悬臂探针无法做深沟探测。独特的光学友好性Nanonics原子力显微镜的玻璃光纤探针可提供畅通的光学通道，可同时和正置与倒置显微镜配合使用，实现透射式、反射、照明模式、收集模式（Nanonics独有的）等多个功能。光纤探针具有良好的光学性能和光导性能，这是硅悬臂探针无法做到的。拉曼连用平台MV4000的玻璃光纤探针具有光学友好特性，可与任何拉曼光谱仪整合，例如常用的Reinshaw 和JY Raman系统。可实现在线AFM形貌扫描，拉曼Mapping，自动共聚焦，提高拉曼的精度。配合NSOM可以完成微区Raman，并且还可以做荧光和微区荧光扫描。由于独特的扫描平台，AFM-Raman 联用不仅可以扫描透明样品还可以扫描不透明的块状和薄膜样品，这也是在AFM-Raman 联用案例中独特的设计。独有的TERS玻璃探针Nanonics在玻璃光纤探针的尖端采用专利的独立金球技术，与其他涂层探针相比，不会因在长时间使用后，受到激光影响而脱落，更为稳定，效率更高。配合独特的扫描台设计，可以在光源位置找到最佳激光偏振位置获得最好的TERS信号源。这也是其它厂家不具备的特点。

超高分辨散射式近场光学显微镜-neaSNOMneaSNOM是德国neaspec公司推出的第三代散射式近场光学显微镜（简称s-SNOM），其采用了专利化的散射式核心设计技术，极大的提高了光学分辨率，并且不依赖于入射激光的波长，能够在可见、红外和太赫兹光谱范围内，提供优于10nm空间分辨率的光谱和近场光学图像。由于其高度的可靠性和可重复性。neaSNOM业已成为纳米光学领域热点研究方向的首选科研设备，在等离基元、纳米FTIR和太赫兹等众多研究方向得到了许多重要科研成果。最近，neaspec公司成功开发了可见至太赫兹高分辨光谱和成像综合系统，将上述sSNOM功能与纳米红外（FTIR）、针尖增强拉曼（TERS）、超快光谱（ultrafast）和太赫兹光谱（THz）进行联用，可以为广大科学工作者在等离子激元、二维材料声子极化、半导体载流子子浓度分布、生物材料红外表征、电子激发及衰减过程等的研究上提供相关支持。neaSNOM技术特点和优势：neaSNOM是目前世界上唯一成熟的s-SNOM产品专利保护的散射式近场光学测量技术—独有的极高10 nm空间分辨率专利的高阶解调背景压缩技术—在获得10nm空间分辨率的同时保持极高的信噪比专利保护的干涉式近场信号探测单元专利的赝外差干涉式探测技术—能够获得对近场信号强度和相位的同步成像专利保护的反射式光学系统—用于宽波长范围的光源：可见、红外以至太赫兹高稳定性的AFM系统，—同时优化了纳米尺度下光学测量双光束设计—极高的光学接入角：水平方向180°，垂直方向60°操作和样品准备简单—仅需要常规的AFM样品准备过程neaSNOM重要应用领域：表面等离激元石墨烯六方氮化硼光电流/太赫兹化学过程高分子/生物材料应用案例Science：石墨烯莫尔(moiré）超晶格纳米光子晶体近场光学研究光子晶体又称光子禁带材料。从结构上看，光子晶体是一类在光学尺度上具有周期性介电结构的人工设计和制造的晶体，其物理思想可类比半导体晶体。通过设计，这类晶体中光场的分布和传播可以被调控，从而达到控制光子运动的目的，并使得某一频率范围的光子不能在其中传播，形成光子带隙。光子晶体中介质折射率的周期性结构不仅能在光子色散能带中诱发形成完整的光子带隙，而且在特定条件下还可以产生一维（1D）手性边界态或具有Dirac（或Weyl）准粒子行为的奇异光子色散能带。原则上，光子晶体的概念也适用于控制“纳米光”的传播。该“纳米光”指的是限域在导电介质表面的光子和电子的一种耦合电磁振荡行为，即表面等离子体激元（SPPs）。该SPP的波长，λp，相比入射光λ0来说最多可减少三个数量级。如果要想构筑纳米光子晶体，我们需要在λp尺度上实现周期性介电结构，传统方法中采用top-down技术来构建纳米光子晶体，该方法在加工和制造方面具有较大的限制和挑战。2018年12月，美国哥伦比亚大学D.N. Basov教授在Science上发表了题为Photonic crystals for nano-light in moiré graphene superlattices的全文文章。研究者利用存在于转角双层石墨烯结构（twisted bilayer grapheme, TBG）中的莫尔（moiré）超晶格结构，成功构筑了纳米光子晶体，并利用德国neaspec公司的neaSNOM纳米高分辨红外近场成像显微镜研究了其近场光导和SPP特性，证明了其作为纳米光子晶体对SPP传播的调控。纳米近场成像对钙钛矿太阳能电池的研究苏州大学Q.L. Bao教授等人在钙钛矿结构微纳米线的光电转换离子迁移行为和载流子浓度分布等领域作出了突出贡献。2016年，发表在ACS Nano上的钙钛矿结构微纳米线的光电转换离子迁移行为的研究中，作者利用Neaspec公司的近场光学显微镜neaSNOM发现：1. 未施加外场电压时， 该微纳米线区域中载流子密度（图1 g. s-SNOM振幅信号）和光折射率（图1 g. s-SNOM相位信号）较均匀；2. 施加外场正电压时，该区域中载流子密度随I-离子（Br?）的迁移而向右移动（图1 h. s-SNOM振幅信号），其光折射率随随MA+离子（CH3NH3+）的迁移而向左移动（图1 g. s-SNOM相位信号）较均匀；3. 施加外场负压时，情况正好与施加正电压时相反（图1 i）。该研究显示弄清无机-有机钙钛矿结构中的离子迁移行为对于了解钙钛矿基的特殊光电行为具有重要意义，进而为无机-有机钙钛矿材料的光电器件应用打下了坚实的基础。图1.SNOM测量钙钛矿结构微纳米线的光电转换的离子迁移行为。d-f. 离子迁移测量示意图；g-i,相应的s-SNOM光学信号振幅和相位图2017年， Q.L. Bao教授等人发表在AdvanceMaterials的文章中再次利用Neaspec公司的近场光学显微镜neaSNOM，首次在实验中研究了太阳能电池表面钙钛矿纳米粒子涂层的载流子密度。结果显示：钙钛矿纳米粒子覆盖区域近场信号强度高于Si/SiO2区域中信号强度（参见下图2 b 图2 a为对应区域的形貌）。另外作者也研究了增加光照的时间的影响（参见下图2 c, d）。其结果显示：近场信号强度随光照时间增加，从12.5 μV (黄色，0 min) 增加到 14.4 μV (红色, 60 min)，该近场信号反映了可移动自由载流子密度的变化。最终，红外光neaSNOM研究结果证明：随光照时间增加，太阳能电池表面的钙钛矿纳米粒子涂层富集和捕获了大量的电子。参考文献：1、Wang Y.H. et. al. The Light-InducedField-Effect Solar Cell Concept - Perovskite Nanoparticle Coating IntroducesPolarization Enhancing Silicon Cell Efficiency. Advanced Material 2017, First published: 3 March 2017 DOI: 10.1002/adma.201606370.2、Zhang Y.P. et. al. Reversible StructuralSwell?Shrink and Recoverable Optical Properties in Hybrid Inorganic?OrganicPerovskite. ACS Nano 2016,10, 7031?7038.丝纤蛋白电调控构象转变及其光刻应用的纳米红外研究中科院微系统所陶虎教授带领的研究团队利用neaspec公司的近场光学显微镜（neaSNOM）高化学敏感和10 nm空间分辨的优势，在纳米尺度近分子水平研究了电调控下丝蛋白中的多形态转变。 该研究在纳米尺度实现了蛋白质结构转换的探测，结合纳米精度的电子束光刻技术能为我们在二维及三维尺度实现丝蛋白的结构控制提供有力的方法；同时该工作为开启纳米尺度的蛋白质结构研究和探究蛋白质电诱导构象变化的临界条件铺平了道路；为未来设计基于蛋白质的纳米结构提了供新的规则。参考文献：1. Nanoscale probing of electron regulated structural transitions in silk proteins by near field IR imaging and nano-spectroscopy， Nature Comm. 7:130792. Precise Protein Photolithography (P3): High Performance Biopatterning Using Silk Fibroin Light Chain as the Resist, Adv. Sci. 2017, 1700191可调谐低损耗一维InAs纳米线的表面等离激元研究亚波长下光的调控与操纵对缩小光电器件的体积、能耗、集成度以及响应灵敏度有着重要意义。其中，外场驱动下由电子集体振荡形成的表面等离激元能将光局域在纳米尺度空间中，是实现亚波长光学传播与调控的有效途径之一。然而，表面等离激元技术应用的最关键目标是同时实现：①高的空间局域性，②低的传播损耗，③具有可调控性。但是，由于金属表面等离激元空间局域性较小，在长波段损耗较大且无法电学调控限制了其实用化。由中科院物理所和北京大学组成的研究团队报道了砷化铟（InAs）纳米线作为一种等离激元材料可同时满足以上三个要求。作者利用neaspec公司的近场光学显微镜（neaSNOM, s-SNOM）在纳米尺度对砷化铟纳米线表面等离激元进行近场成像并获得其色散关系。通过改变纳米线的直径以及周围介电环境，实现了对表面等离激元性质的调控，包括其波长、色散、局域因子以及传波损耗等。作者发现InAs纳米线表面等离激元展现出：①制备简易，②高局域性，③低的传波损耗，④具有可调控性，这为用于未来亚波长应用的新型等离子体电路提供了一个新的选择。该工作发表在高水平的Advanced Materials 杂志上。参考文献：Tunable Low Loss 1D Surface Plasmons in InAs Nanowires，Yixi Zhou, Runkun Chen, Jingyun Wang, Yisheng Huang, Ming Li, Yingjie Xing, Jiahua Duan, Jianjun Chen, James D. Farrell, H. Q. Xu, Jianing Chen， Adv. Mater. 2018, 1802551范德华材料异质结构的近场纳米成像研究范德华材料拥有一整套不同的激元种类，在所有已知材料中的具有最高的自由度。德国neaspec公司提供的先进近场成像方法（s-SNOM）允许极化波在范德华层或多层异质结构中传播时被激发和可视化，从而被广泛应用到范德华材料激元的研究中，为研究人员对范德华材料体系中激元的激发、传播、调控等研究提供了有力的工具。另一方面，范德华材料系统中激元的优点是它们具有的电可调性。此外，在由不同的范德华层构成的异质结构中，不同种类的激元相互作用，从而可以在原子尺度上实现激元的完美控制。德neaspec公司提供的纳米光谱（nano-FTIR）和纳米成像成功被研究人员用于激元的调控等研究中，通过实验证实，研究人员已经成功开启了操控激元相关纳米光学现象的多种途径。范德华材料中激元的先进近场光学可视化成像研究：A、石墨烯中Dirac等离激元；B、 石墨烯纳米共振器边缘的等离激元；C、碳纳米管中的一维等离激元；D、 石墨烯-六方氮化硼moiré 超晶格体系中的超晶格等离激元；E、六方氮化硼上石墨烯的杂化等离子-声子激元；F、WSe2中的激子激元；G、 双曲六方氮化硼中的声子激元及波导传播参考文献：Basov, D. N et. al Polaritons in van der Waals materials, Science, 354, aag1992(2016). DOI: 10.1126/science.aag1992发表文章部分最新发表文章：Science (2017) doi:10.1126/science.aan2735Tuning quantum nonlocal effects in graphene plasmonicsNature Nanotechnology (2017) doi:10.1038/nnano.2016.185Acoustic terahertz graphene plasmons revealed by photocurrent nanoscopyNature Photonics (2017) doi:10.1038/nphoton.2017.65Imaging exciton–polariton transport in MoSe2 waveguidesNature Materials (2016) doi:10.1038/nnano.2016.185Acoustic terahertz graphene plasmons revealed by photocurrent nanoscopyNature Materials (2016) doi:10.1038/nmat4755Thermoelectric detection and imaging of propagating graphene plasmons国内用户最新发表文章：Nat. Commun. 8, 15561(2017)Imaging metal-like monoclinic phase stabilized by surface coordination effect in vanadium dioxide nanobeamAdv. Mater. 29, 1606370 (2017)The Light-Induced Field-Effect Solar Cell Concept –Perovskite Nanoparticle Coating Introduces Polarization Enhancing Silicon Cell EfficiencyLight- Sci & Appl 6, 204 (2017)Effects of edge on graphene plasmons as revealed by infrared nanoimaging Light- Sci & Appl，中山大学accepted (2017)Tailoring of electromagnetic field localizations by two-dimensional graphene nanostructures Nanoscale 9, 208 (2017) Study of graphene plasmons in graphene–MoS2 heterostructures for optoelectronic integrated devices Nano-Micro Lett. 9,2 (2017) Molybdenum Nanoscrews: A Novel Non-coinage-Metal Substrate for Surface-Enhanced Raman Scattering J. Phys. D: Appl. Phys. 50, 094002 (2017) High performance photodetector based on 2D CH3NH3PbI3 perovskite nanosheets ACS Sens. 2, 386 (2017) Flexible, Transparent, and Free-Standing Silicon Nanowire SERS Platform for in Situ Food Inspection Semiconductor Sci. and Tech.32,074003 (2017) PbI2 platelets for inverted planar organolead Halide Perovskite solar cells via ultrasonic spray deposition

Scanning Microwave Impedance Microscopy，简称为sMIM，扫描微波阻抗显微镜，让您的AFM成为专业的电学显微镜！ 50nm超高分辨率，~100nm内部电学探测，导体、半导体、绝缘体的广泛适用度，为您提供电导率、介电常数、掺杂浓度纳米级高灵敏度电学表征成像的解决方案。 Scan Wave™ 可应用于多种领域材料的研究和发展：微电子材料，铁电材料，工业材料，以及石墨烯、碳纳米管，2D半导体、纳米材料等新星材料等。 独立扫描模块，包括微波信号发生器、探针干涉模块、自主专利同轴屏蔽探针、以及微波近场软件，可应用于各种AFM平台。特殊MEMS结构探针，有效避免散杂磁场的干扰 专业多功能自由切换电学显微镜测试功能体验 sMIM-C成像：介电常数、电容变化； sMIM-R成像：电导率、电阻率变化； dC/dV 振幅：载流子浓度； dC/dV 相位：载流子类型+/- ； dR/dV 振幅：相关损失系数； dR/dV 相位：相关损失系数 高精度电学测试，50nm分辨率； 工业级高灵敏度、低噪音，“Hard stuff”材料电学测试不再是难题； 可实现表面下成像、检测（100nm) 不同材料同步测量：导体、半导体、绝缘体、电介质都可以实现，不同的材料甚至分类都可以 在一次扫描中观测。 简易操作：不需要样品特别处理，不需要将样品放置在导电或电流中，人性化软件设计，操作简单。 接触和非接触模式多种扫描模式：即使在做力曲线，只要你想实现，就可以获得电学数据；

用超越激光衍射极限的系统来研究样品NTEGRA Spectra 在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。支持两种不同的SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。所有SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等。SNOM刻蚀：矢量式，光栅式。

太赫兹近场光学显微镜 - THz-NeaSNOM--30nm光学信号空间分辨率太赫兹（THz）光源波长较大，一般在300微米左右。由于衍射限的存在，THz远场测量系统的光学空间分辨率一般被限制在150微米左右。该THz光远场测量结果的准确度经常无法满足对材料科学研究，尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究（例如半导体芯片中各个组成：源，漏，栅）的实验。THz-NeaSNOM近场光学显微镜的出现为此难题提供了一个很好的解决方案。德国neaspec公司与Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近场光学显微镜的基础上，已经成功研发了一套易用使用且THz系统的空间分辨率达到30nm的实验设备。产品特点/基本参数+ 优于30nm的空间分辨率+ 常用THz光范围：0.1-3THz+ 设计的宽波段抛面镜+ THz研究可使用商业化的AFM探针+ THz-TDS使用飞秒激光光源+ 简单易用，稳定性高半导体结构表征—30nm空间分辨率THz-NeaSNOM近场光学显微镜（下图左）对半导体结构的测量结果图。该结果表明硅衬底（上图左，灰色）上的SiO（一氧化硅）的尺寸大约在1.5×1 平方微米。通过分析左侧的高度数据，可以知道该一氧化硅结构仅仅只有大约22纳米厚度。虽然该层状结构非常薄，但THz-NeaSNOM近场光学显微镜（下图左）在测量高度的同时仍然能够记录该结构与衬底的近场光学信号的明显不同衬度的结果。该THz-NeaSNOM近场光学显微镜不仅在测量非常薄样品的时 候灵敏度非常高，而且通过分析近场光学信号数据（下图右）也证实了它超高的空间分辨率（~25-30nm）。 表征半导体器件 Nature 456,454(2008) 超快机制研究纳米线 Nature Photonics 8,841(2014) 部分用户好评与列表（排名不分先后）neaspec公司产品以其稳定的性能、高的空间分辨率和良好的用户体验，得到了国内外众多科学家的认可和肯定......"The neaSNOM microscope with it’s imaging and nano-FTIR mode is the most useful research instrument in years, bringing genuinely new insights."Prof. Dmitri Basov美国 加州大学University of California San DiegoDepartment of PhysicsLa Jolla, USA"We were looking for a flexible research tool capable of characterizing our energy storage materials at the nanoscale. neaSNOM proofed to be the system with the highest spatial resolution in infrared imaging and spectroscopy and brings us substantial new insights for our research”Dr. Jaroslaw Syzdek美国 劳伦斯伯克利实验室Lawrence Berkeley National LaboratoryEnvironmental Energy Technologies DivisionBerkeley, USA"The neaSNOM microscope boosted my research in plasmonic properties of noble metal nanocrystals, optical resonances of dielectric nanostructures, and plasmon polaritons of graphene-like two dimensional nanomaterials."陈焕君 教授中国 中山大学Sun Yat-sen UniversityChina"As a near-field expert I was quickly convinced that neaSNOM is the only optical AFM microscope completely satisfying the needs of demanding near-field experiments. It’s the best comercially available technology and in addition really easy to use."Prof. Thomas Taubner德国 亚琛工业大学RWTH AachenMetamaterials & Nano-OpticsAachen, Germany"As a newcomer to the near-field optics I am very grateful for the prompt and competent support provided by neaspec’s experts."Dr. Edward Yoxall英国 帝国理工大学Imperial College LondonDepartment of PhysicsLondon, United Kingdom"After many years of research and development in near-field microscopy, we finally made our dream come true to perform infrared imaging & spectroscopy at the nanoscale. With neaSNOM we can additionally realize Raman, fluorescence and non-linear nano-spectroscopy."Prof. Rainer Hillenbrand西班牙 纳米科学协同研究中心CIC nanoGUNE Research CenterCo-Founder and Scientific AdvisorSan Sebastian, Spain"A unique advantage of the neaSNOM microscope is that it can be applied to many fields of scientific research such as Chemistry, Semiconductor Technology, Polymer Science and even Life-Science."Dr. Fritz Keilmann德国 慕尼黑大学Ludwig-Maximilians Universit?t MünchenCo-Founder and Scientific-AdvisorMunich, Germany南京大学中山大学都师范大学苏州大学University of San Diego，USAUniversity of Southampton, UKCIC nanoGUNE San Sebastion, SpainLBNL Berkeley, USAFraunhofer Institut ILT Aachen, GermanyMax-Planck-Institut of Quantum Optics, Garching, GermanyUniversity of Bristol, UKRWTH Aachen, GermanyCalifornia State University Long Beach, USA… …

产品详情德国Neaspec太赫兹近场光学显微镜 THz-NeaSNOM-30nm光学信号空间分辨率 太赫兹波段的纳米分辨散射式近场光学显微-谱仪系统：neaspec公司推出的第三代散射式近场光学显微镜neaSNOM，采用专利的高阶解调背景压缩技术，有效 提取散射近场信号，在获得10nm空间分辨率的同时保持极高的信噪比，是目前世界上唯一成熟的s-SNOM产 品。同时其赝外差干涉式探测技术，能够获得对近场信号强度和相位的同步成像。 由于专利的全反射式光学聚焦和独一无二的双光路设计，neaSNOM是目前世界上唯一一款可以应用于太 赫兹波段的近场光学显微成像和谱仪系统。全新推出的THz-neaSNOM必将成为广大太赫兹科研工作者手中的 神兵利器。 对有机和无机材料同样适用 。封闭式外罩设计，减少气流干扰。 。预先校准的近场光路，近一步提高稳定性 。快速成像，并以10nm空间分辨率鉴别纳米材料 。同步探测近场光学信号强度、相位并成像 。可对单层石墨烯，蛋白质有效测量的高敏感度 。简单明了的光路说明和光源选择指示，培训、操作简便 产品简介：太赫兹（THz）光源波长较大，一般在300微米左右。由于衍射极限的存在，THz远场测量系统的光学空间分辨率一般被限制在150微米左右。该THz光远场测量结果的准确度经常无法满足对材料科学研究，尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究（例如半导体芯片中各个组成：源极，漏极，栅极）的实验。THz-NeaSNOM近场光学显微镜的出现为此难题提供了一个很好的解决方案。德国Neaspec公司与Fraunhofer IPM在Neaspec公司NeaSNOM近场光学显微镜的基础上，已经成功研发了一套易用使用且THz系统的空间分辨率达到30nm的实验设备。 THz-NeaSNOM主要技术参数与特点： 。优于30nm的空间分辨率 。常用THz光范围：0.1-3THz 。专利设计的宽波段抛面镜 。THz研究可使用商业 散射型近场光学显微镜原理视频介绍：HNeaSNOM 30nm空间分辨率 专利的背景信号压制技术：s-SNOM技术相对于传统SNOM更难实现的主要瓶颈在于，探测器通过自由光路接收散射信号时，其接收到 的光学信号中99%以上是悬臂、样品等区域散射的背景信号，只有不到1%是来自于针尖与样品之间的有效近 场信号。只有成功的将有效的近场信号提取出来，才能获得可靠稳定的近场光学测量结果。neaSNOM通过其专利的高阶信号解调技术结合干涉式探测方式，实现了对背景信号的有效压制，获得了对 散射近场信号高度可重复性、高信噪比的可靠测量。 在原理上，利用AFM探针的高频振动，远场光学信息在快速傅里叶变换后仅可获得一阶信号；相对地，近场光学信息可以获得一至四阶不同的信号。通过探测器对高阶信号的采集处理，从而实现从背景信号中对有效 近场信号的剥离。 neaSNOM拥有专利的heterodyne探测模块，可以利用参考镜进一步对剥离的近场信号进行调制，从而实现了对其强度和相位的同时采集和成像。 更广的波长范围和更高的分辨率neaSNOM对晶体管的近场成像 与传统SNOM技术受到分辨率极限的限制，而只能使用可见光或近红外光源不同，neaSNOM将可用光源拓展到中红外和太赫兹波段，并始终保持纳米级分辨率，这决定于neaSNOM的分辨率只与散射源尺寸( AFM 针尖曲率半径）有关这一独特技术特点。上图为，neaSNOM采用波长为10um的中红外光源和118um的太赫 兹光源获得的近场成像结果，其太赫兹成像的分辨率达到40nm，约为激发波长的1/3000，充分证明了 neaSNOM的高分辨能力。在中红外和太赫兹波段的纳米成像能力，使得neaSNOM具有对纳米结构进行电学，分子、晶格振动等性质 的探测能力，近一步拓展了近场光学技术的应用范围，为更多学科提供了有利的表征手段。 更大的应用拓展空间得益于优秀的双光路设计，neaSNOM在成像功能基础上具有了更大的应用拓展空间。利用预留的第二套可 用光路，neaSNOM可以实现对拉曼、荧光、光诱导和超快等领域的研究，部分研究成果已经发表在国际著 名期刊。 专业的模块化设计neaSNOM散射型近场光学显微镜采用模块化设计，将可见光、近红外、中红外照明探测单元，nano-FTIR ,透射模式等功能进行封闭模块化设计，进一步提高了整体光路的稳定性，以及操作的简便性，便于使用者更 快掌握neaSNOM系统操作，获得高质量近场光学测结果。 用户友好的软件平台neaSNOM散射型近场光学显微镜的软件平台历经数发整合，已完全兼容于windows系统并有着优秀的客户体验。最新的软件系统用户友好，操作简单，为防止使用人员的误操作，模块化的设计体系保证了仪器更 高的安全性。

Nanonics多探针平台在纳米材料表征和加工应用中的独特性石墨烯的发现开启了新一代材料的进化史.这引领了低维度纳米材料和混合材料的多样发展.这些材料的发现也导致了对研究平台的反思,新的平台必须适应这些下一代基础材料的纳米表征和加工,以及相应的应用和新器件开发. 对于这种平台的一个基本的要求就是具有能将纳米成像和纳米操作以及其他探测台整合的能力.在Nanonics Imaging Ltd公司进行这一开拓之前,这种联用通常需要在线的扫描电镜（SEM）来有效的指导纳米操作探针进行纳米材料的研究。FEI Inc公司提供的SEM集成纳米操作台正是实例。但是，即使有SEM的指导的纳米操作台也会对这种纳米材料造成物理损伤或者引入有害的电荷。用户真正需要的是能够在原子级别来反映样品结构和性能的平台，这涵盖了高灵敏度的电学，热学，光学甚至化学的纳米表征。这正是Nanonics Imaging Ltd. MultiProbeMultiView 4000 (MV 4000)平台的独特之处。 这个多探针平台可以充分的集成所有扫描探针显微镜的功能，包括结构和性能的纳米成像。 同时保证纳米探针的超精细分辨率，又不会引入电子束伤害。并可以有效地使用常规的纳米探针用于纳米操作应用。因此，Nanonics多探针平台将多探针AFM探针同时用于结构和性能应用测试，并将先进的纳米操作台开放的联用起来。这项技术将扫描探针显微镜和探针塔的所有优势结合了起来。 为了提供这样的系统，Nanonics不仅在仪器设计方面取得了突破，而且还开拓了NanoToolKitTM专利探针的设计用于超精细的结构和性能成像。这些探针实现了一个探针能够真正的碰触另外一个探针。 这甚至可以允许一个AFM探针对另外一个AFM探针或者纳米操作探针进行成像。纳米操作探针和AFM探针的区别是不具有反馈和成像功能。 为了开启这一新领域，Nanonics在建立之后的20年中一直致力于研究现有单探针或多探针AFM设备中灵敏的AFM反馈机制。这种方法采用了音叉反馈。这种反馈机制非常的灵敏，甚至允许用户用于研究单个光子的作用力。 除了使用这种特有的成像模式，Nanonics平台也可以使用常规的AFM激光反馈模式和AFM硅悬臂达到出色的AFM扫描效果。这种悬臂探针需要反射的激光用于反馈调节。另外，这些探针无法相互之间接触因此无法进行多探针应用，这是他的固有限度。并且由于这种反馈机制明显很低的力灵敏度，纳米材料和元器件的研究并不想采用。 一个主要的局限是这种基于激光束的反馈会在材料上引入电荷，在基本表征测试中引入背景噪音。这些电荷会掩盖这些材料与众不同的物理现象。因此，能够在没有干扰的情况下测试电学，热学和光学特性是对于理解材料基本物理和器件功能必不可少的要求。除却多探针的优势以外，不束缚于外部激光反馈干扰的测试这些功能特性与传统的AFM技术相比具有更大的优势。 无光学干扰的优势对于多探针AFM集成的功能测试也尤其重要，如此探针才能真正物理意义上的接触彼此。这才能实现在两个探针纳米量级的距离变化情况下进行传导机制的测试。 因此，Nanonics多探针集成SPM平台实现了多种独特的测试功能。这是首个被引入国家科学基金会支持的报告的系统。Nanonics平台还在多个方面继续创新。首先，在这些研究中真空环境搭配加热/制冷的环境控制具有重要意义。Nanonics平台可将环境控制与扫描探针显微镜领域的成像功能结合。在我们的研究中需要将温度升至最高350摄氏度，这通过Nanonics平台是可以实现的。这一需求还需要搭配改进后的常规纳米操作台用于样品的精确操纵，这也可以通过Nanonics的系统来实现。而且，这些系统的设计都保证了完全开放自由的光学轴。这使标准的研究级光学显微镜可以与系统完美集成，用于从高真空系统的上方和下方观察样品。这种光学的灵活性在以往从未被实现。为了实现这一目的，SPM系统的结构和探针的设计都必须保证没有任何光学吸收，这对于器件研究尤为重要。传统AFM系统中都无法实现这样沿着光轴上下观察的设计。Nanonics系统提供的全视野不仅对于上述提到的未来升级非常必要，而且利用研究级高放大倍数的光学显微镜用户可以快速的将探针之间的距离缩短到微米量级。当然，所有的功能都同时保证AFM扫描的极限噪音在0.2nm级别伸直更低。新一代材料研究的中心还在于在线光谱表征。这些材料都具有很多重要的光谱特性，是非常必要的表征手段。除此之外，光致发光和振动光谱的研究也很必要。Nanonics是在1990年度就将振动光谱和扫描探针显微镜联用起来的公司。为了这一联用，Nanonics研发了第一台探针和样品都可以扫描的系统。样品扫描对于振动光谱是必要的，而Nanonics这种联用系统的首篇文章在1999年就发表了。这种联用功能现在可以复制到多探针系统上，实现了基于上述所有扫描探针，探针台，和真空功能的化学表征，用于研究材料在电运载过程中的化学性质改变。自从开发了第一套集成扫描探针和振动光谱联用系统，Nanonics多年来也一直努力创新于近场扫描成像领域，将独特的等离子探针引入振动光谱测试，实现纳米级别的振动光谱联用，如TERs（针尖增强拉曼测试）。 Nanonics在近场光学成像领域的专业性早已获得世界范围内的认可，使用多探针系统的成果也很广泛的用于顶级文章的发表。这些功能考虑到了纳米光学成像的多样性。针对这些新材料，还有一个重要应用就是使用纳米光源在没有背景干扰的情况下激发纳米光电效应。这对于研究这些低维度材料及其合成材料在金属接触的局部效应下的能量级非常必要。最后，多探针表征和纳米加工的特有结合也可以通过这个平台实现。在最近发表的一篇文章中，具有Nanonics NanoToolKitTM专利设计的纳米加工探针用于在纳米级别氧化一个纳米结构，并记录由于氧化引起的化学势变化。市面上其他能提供气体纳米加工的系统都结合了SEM和聚焦离子束技术，如FEI Inc和Hitachi High-Technology Corporation公司提供的双束产品。这种设备的价格都超过了一百万美金，并且不能提供实时在线测试以及其他Nanonics平台提供的很多优势。比如上面Patsha用户发表的文章中强调的扫描探针显象模式中的在线化学势成像是这种双束系统所不能提供的。总而言之，专利获奖的Nanonics探针平台可以允许科研人员有效的完成多种独特的测试表征功能。

超高分辨散射式近场光学显微镜 - neaSNOM产品简介： neaSNOM是德国neaspec公司推出的三代散射式近场光学显微镜（简称s-SNOM），其采用了散射式核心设计技术，大的提高了光学分辨率，并且不依赖于入射激光的波长，能够在可见、红外和太赫兹光谱范围内，提供优于10nm空间分辨率的光谱和近场光学图像。由于其高度的可靠性和可重复性，neaSNOM业已成为纳米光学领域热点研究方向的重要科研设备，在等离基元、纳米FTIR和太赫兹等众多研究方向得到了许多重要科研成果。近，neaspec公司成功开发了可见至太赫兹高分辨光谱和成像综合系统，将上述s-SNOM功能与纳米红外（FTIR）、针增强拉曼（TERS）、超快光谱（ultrafast）和太赫兹光谱（THz）进行联用，可以为广大科学工作者在等离子激元、二维材料声子化、半导体载流子浓度分布、生物材料红外表征、电子激发及衰减过程等的研究上提供相关支持。技术特点和优势： neaSNOM是目前上非常成熟的s-SNOM产品散射式近场光学测量技术—有的高10 nm空间分辨率高阶解调背景压缩技术—在获得10nm空间分辨率的同时保持高的信噪比干涉式近场信号探测单元的赝外差干涉式探测技术—能够获得对近场信号强度和相位的同步成像 保护的反射式光学系统 —用于宽波长范围的光源：可见、红外以至太赫兹高稳定性的AFM系统—同时优化了纳米尺度下光学测量 双光束设计 —高的光学接入角：水平方向180°，垂直方向60° 操作和样品准备简单 —仅需要常规的AFM样品准备过程 重要应用领域： 部分发表文章：Science (2017) doi:10.1126/science.aan2735Tuning quantum nonlocal effects in graphene plasmonicsNature Nanotechnology (2017) doi:10.1038/nnano.2016.185Acoustic terahertz graphene plasmons revealed by photocurrent nanoscopyNature Photonics (2017) doi:10.1038/nphoton.2017.65Imaging exciton–polariton transport in MoSe2 waveguidesNature Materials (2016) doi:10.1038/nnano.2016.185Acoustic terahertz graphene plasmons revealed by photocurrent nanoscopyNature Materials (2016) doi:10.1038/nmat4755 Thermoelectric detection and imaging of propagating graphene plasmons国内用户发表文章：Nat. Commun. 8, 15561(2017)Imaging metal-like monoclinic phase stabilized by surface coordination effect in vanadium dioxide nanobeamAdv. Mater. 29, 1606370 (2017) The Light-Induced Field-Effect Solar Cell Concept –Perovskite Nanoparticle Coating Introduces Polarization Enhancing Silicon Cell EfficiencyLight- Sci & Appl 6, 204 (2017)Effects of edge on graphene plasmons as revealed by infrared nanoimagingLight- Sci & Appl，中山大学accepted (2017)Tailoring of electromagnetic field localizations by two-dimensional graphene nanostructuresNanoscale 9, 208 (2017)Study of graphene plasmons in graphene–MoS2 heterostructures for optoelectronic integrated devicesNano-Micro Lett. 9,2 (2017)Molybdenum Nanoscrews: A Novel Non-coinage-Metal Substrate for Surface-Enhanced Raman ScatteringJ. Phys. D: Appl. Phys. 50, 094002 (2017)High performance photodetector based on 2D CH3NH3PbI3 perovskite nanosheetsACS Sens. 2, 386 (2017)Flexible, Transparent, and Free-Standing Silicon Nanowire SERS Platform for in Situ Food InspectionSemiconductor Sci. and Tech.32,074003 (2017)PbI2 platelets for inverted planar organolead Halide Perovskite solar cells via ultrasonic spray deposition部分用户好评与列表（排名不分先后）neaspec公司产品以其稳定的性能、高的空间分辨率和良好的用户体验，得到了国内外众多科学家的认可和肯定......Prof. Dmitri Basov美国 加州大学 University of California San Diego"The neaSNOM microscope with it’s imaging and nano-FTIR mode is the most useful research instrument in years, bringing genuinely new insights."Dr. Jaroslaw Syzdek美国 劳伦斯伯克利实验室 Lawrence Berkeley National Laboratory "We were looking for a flexible research tool capable of characterizing our energy storage materials at the nanoscale. neaSNOM proofed to be the system with the highest spatial resolution in infrared imaging and spectroscopy and brings us substantial new insights for our research” 陈焕君 教授 中山大学Sun Yat-sen University "The neaSNOM microscope boosted my research in plasmonic properties of noble metal nanocrystals, optical resonances of dielectric nanostructures, and plasmon polaritons of graphene-like two dimensional nanomaterials."Prof. Rainer HillenbrandResearch CenterCo-Founder and Scientific Advisor"After many years of research and development in near-field microscopy, we finally made our dream come true to perform infrared imaging & spectroscopy at the nanoscale. With neaSNOM we can additionally realize Raman, fluorescence and non-linear nano-spectroscopy." Dr. Dangyuan LeiThe Hong Kong Polytechnic UniversityDepartment of Applied PhysicsHong Kong "We propose to establish a complete set of nano-FTIR and scattering-type SNOM in order to stay competitive in nanophotonics research as well as to maintain our state-of-the-art design and fabrication of novel nanomaterials. Only because of the unique technology from neaspec we were able to win this desirable university grant."Prof. Dan MittlemanBrown UniversitySchool of EngineeringUSA "The neaSNOM near-field microscope and it’s user-friendly software offer us an incredible flexibility for the realization of our unique experiments – without compromises in robustness, handling and ease-of-use."Dr. Raul FreitasCentro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais (CNPEM)Laboratório Nacional de Luz Síncrotron (LNLS)Brazil "The great stability and robustness of the neaSNOM are key features for serving our diverse user’s demands. The neaSCAN software is user-friendly and intuitive allowing fresh users to quickly start measuring." Prof. Dr. Rupert Huber University of Regensburg Department of Phyics Germany "The unique dual beam-path design of the neaSNOM near-field microscope makes neaspec the natural choice for ultrafast spectroscopy at the nanoscale."国内部分用户（排名不分先后）：清华大学东南大学中科院物理所 中科院上海技物所香港理工大学 中山大学苏州大学 中科院大连化物所中国科学技术大学都师范大学四川大学 南开大学纳米科学中心中科院成都光电所 北京师范大学

产品详情德Neaspec真空太赫兹波段近场光学显微镜HV-THz-neaSNOM该套系统成功地继承了德国neaspec公司THz-neaSNOM的设计优势，采用专利保护的双光路设计，完全可以实现真空环境下太赫兹波段应用的样品测量。HV-THz-neaSNOM在实现30nm高空间分辨率的同时，由于采用0.1-3THz波段的时域太赫兹光源（THZ-TDS），也可以实现近场太赫兹成像和图谱的同时测量。这极大地满足真空环境中太赫兹近场光学研究的需求，可以减少大气中水对太赫兹波段的吸收影响，能更好地保持样品的洁净，为用户进一步集成真空设备提供了基础。太赫兹波有极强的穿透性，对不透明物体能完成透视成像，用来做半导体材料、生物样品等的检测是其应用趋势之一。该套真空太赫兹波段近场光学显微系统（HV-THz-neaSNOM）的集成，将在生物应用、半导体元器件和相变材料载流子等研究及领域都有着广阔的应用前景，有望为广大太赫兹科研工作者提供更多实际研究工作中的便利和支持。

原理：用超越激光衍射极限的系统来研究样品 NTEGRA Spectra 在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。 支持两种不同的SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。所有SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等。SNOM刻蚀：矢量式，光栅式。 NTEGRA Spectra 采用开放式光路设计，使其能够与多种光学仪器进行联用。应用领域包括微区化学成分分析、力学性能、介电性质和光学的反射、透射、传播性能的、碳基化合物、生物材料、半导体等，联用测量的空间研究等等。能够分析各种来源的复杂样品，包括聚合物分辨率已经接近纳米尺度。技术参数扫描方式样品扫描针尖扫描样品尺寸最大直径40mm最大高度15mm最大直径100mm最大高度15mm样品重量最大100g最大300gXY样品定位5×5mm定位精度分辨率：5μm 灵敏度：2μm扫描范围100×100×10μm3×3×2.6μm100×100×10μm50×50×5μm最大200×200×20μm (DualScanTM模式)非线性度，XY（带有闭环传感器）=0.1%=0.15%Z方向噪音水平（1000Hz带宽时的RMS）带有传感器0.04nm（典型值）=0.06nm0.06nm（典型值）=0.07nm不带传感器0.03nm0.05nmXY方向噪音水平（200Hz带宽时的RMS）带有传感器0.2nm（典型值）=0.3nm(XY 100μm)0.1nm（典型值）=0.2nm(XY 50μm)不带传感器0.02nm(XY 100μm)=0.001nm(XY 3μm)0.01nm (XY 50μm)线性度评价误差（带有传感器）±0.5%±1.2%光学观察系统光学分辨率1μm3μm视野4.5-0.4mm2.0-0.4mm连续变焦是是

sMIM是由美国PrimeNano公司联合美国顶尖高校（斯坦福大学）发展起来的一款基于AFM的电学测量设备。在测量样品表面形貌的同时得到样品的电学性质，如导电率，介电常数，载流子浓度，载流子类型等。sMIM基于微波频率的阻抗测量，具有良好空间分辨率和电学分辨率，无需样片制备等优点，适用于各类材料包括导体、半导体、绝缘体/电介质、掩埋式结构等材料，在半导体，相变材料，纳米科学，铁电材料等科研领域有着非常重要的应用（如下图所示）。利用sMIM技术取得的科研成果已经发表在著名的国际期刊，例如Science, Nature, Physics Review Letters, Nano Letters 等 sMIM 应用原理 传送微波信号到针尖，微波在针尖部位行成近场电磁场与样品表面和近表面相互作用，相互作用后，反馈微波信号，针尖移动，反馈微波的振幅、相位随着针尖的电信号变化而变化，软件进行信号校准、分析，进行电容、电阻率和形貌同步成像。 6种信号反馈通路Method半导体导体电介质绝缘体包埋结构样品分辨率动态模式CAFM×√×××××SCM√××××××SSRM√√×××××Scanwave√√√√√√√ 半导体领域-半导体器件sMIM技术可以用来测量半导体器件的电学性质，包括载流子浓度分布，载流子类型，金属结构，介质层（绝缘体）结构等。利用sMIM对材料局域进行纳米尺度下的C-V曲线测量。可以应用在器件表征，失效分析等。以下我们给出几个典型的例子。绝缘栅极晶体管 以上左图中为绝缘栅双极晶体管的SEM照片和利用其他技术测量得到的图形；右图中为利用sMIM技术得到的图像。比较结果我们可以看出，sMIM技术显示了器件的更多细节，并且图像更加清晰。sMIM中不仅显示了载流子的类型和浓度分布，并且显示了金属结构，多晶硅结构和氧化层结构以及氧化层中的缺陷。 CMOS感光器件图中为扫描全局快门CMOS感光器件表面的图像，扫描区域大小为5 µ m x 5 µ m。图中数字所对应的区域1是用于存储的n型的扩散区域； 2是光阴极n型扩散区域；3是浅沟道隔离绝缘区域；4是金属接触区域；5是阴极周围的p型衬底。sMIM-C图像清晰地显示了各种材料。 利用sMIM-C信号，我们可以进行纳米尺度下特定位置的C-V曲线测量。 特定位置的C-V曲线测量可以对半导体器件进行失效分析。如右下图是对于不同点的测量得到的 C-V曲线。C-V曲线#1和C-V曲线#2显示被测区域是n型半导体，与器件结构1用于存储的n型的扩散区域和2光阴极n型扩散区域相吻合。 C-V曲线#5显示被测区域是p型半体与器件结构5阴极周围的p型衬底相吻合。C-V曲线#3是平的，说明被测区域是非半导体材料，与器件结构3浅沟道隔离绝缘区域吻合。铁电材料和磁性材料 sMIM可以用来测量铁电材料和磁性材料畴和畴壁的电学性能。 LiTaO3 上图是对于LiTaO3铁电材料的扫描结果。sMIM技术可以在一次扫描过程中同时得到材料的表面形貌，PFM图像和导电性分布的sMIM图像。PFM图像清晰的给出了铁电材料中不同的畴分布。从sMIM图像中可以看到畴壁是导电的。 石墨烯 上图中是利用sMIM技术测量得到的石墨烯的导电性质。sMIM图像清晰的显示了石墨烯上超晶格结构的摩尔纹。其摩尔纹结构的尺寸为14nm。 透过表面测量 sMIM中的微波信号可以穿透介质层，从而测量表面一下的材料的电学性能sMIM可以穿透介质层，扫描表面以下的材料的性质。上图利用sMIM测量银在溶液中电化学生长的过程 。（Seeing through Walls at the Nanoscale: Microwave Microscopy of Enclosed Objects and Processes in Liquids. ACS Nano 10, 3562–3570 (2016).）

Nanonics公司历史：Nanonics Imaging Ltd.公司在过去的20年一直是近场光学领域的佼佼者，在近场系统领域在市场上具有最丰富的经验和最多的文献发表。经过几十年的发展Nanonics研发了市场上先进的功能性SNOM系统。孔径式SNOM系统，多探针SNOM系统和无孔径散射式SNOM系统可用于UV，可见光，红外和太赫兹波段。设计和集成：最灵活的光路集成，适用于所有操作模式MV2500适用于所有光学照明和收集模式的SNOM/AFM扫描台： 上方-侧面-下方照明/收集光路： MV2500的设计提供给用户针对每个样品不同需求选择最好模式的能力。纳米级别的红外测试需求和现有样品的多样性决定了能够使用多种照明和收集模式来探测样品是非常重要的。 MV2500就可以满足多种照明和收集模式，这完善了纳米级别的红外测试。AFM扫描台：灵活的扫描功能和简单的使用成就了优秀的红外SNOM系统 MV2500的灵活性扩展了扫描探针的工作模式，提供给用户适用于任何样品的极致的控制权限和灵活性。 关键功能包括：l 探针和样品扫描：MV2500具有两个扫描台，一个用于探针扫描功能，另一个用于样品扫描功能。关键优势：n 每个扫描台的XYZ扫描范围都是85*85*85μmn 针尖和样品可以独立扫描。软件控制非常简易。n 组合式扫描范围：两个扫描台的扫描范围可以叠加用于大范围扫描。n XY和Z方向的扫描可以独立控制，如可以用样品扫描XY方向，而探针进行Z方向的反馈，针对特殊的实验设计。n 两个扫描台都可以用于快速和精确的探针或样品位置定位-这能实现针尖和激光相互作用的绝佳优化。 l 音叉（TF）反馈：n 音叉反馈不使用激光光束作为反馈方式，避免样品或光学信号与其互相干扰。n 音叉反馈是现有的最灵敏的AFM反馈方式，在空气和液体环境下都可达到优秀的AFM成像效果。音叉反馈可以用于非常柔软的样品并可具有低至pN级别的力学灵敏度。l 可定制的LabView软件和控制器：软件基于LabView系统，允许用户设计脚本控制多种光谱仪和激光器。

近场热成像模块VertiSenseTM扫描热显微镜（SThM）技术使用了一种特殊设计的AFM探针，该探针带有嵌入式热电偶（Thermal probe），可在样本上进行扫描。使用VertiSenseTM SThM成像放大器测量热电偶的温度，作为位置的函数，并由AFM系统用于结合地形图生成热图。 这些热探头可在温度对比度和热导率对比度模下用于显示出待测样品热特性。热电偶传感器位于尖端的顶点，以便于以小于50nm的横向分辨率进行真实温度测量。 近场热成像模块特点： ▅ 位于顶端的嵌入式热电偶传感器▅ 直接显示温度分布▅ 支持多种扫描模式▅ 横向热分辨率高▅ 温度高达700°C ▅ 可基于安卓App软件通过蓝牙控制 ▅ 增益控制 ▅ 实时温度显示 ▅ 可温度标定VertiSenseTM SThM模块设计可用于与大多数商业AFM集成，包括那些外围设备要求低的正在使用的AFM。该模块利用AFM软件生成热图。近场热成像模块性能参数：参数探针型号VTP-200VTP-500弹性系数(N/m）9.90.63频率（KHz)10717长度（um)200500宽度（um)5050厚度 (um)3.53.5 探测器类型:针尖热电偶针尖ROC：50nm横向分辨率：50nm （接触模式）温度分辨率：0.1°C @ 增益100X0.01°C @增益1000X温度范围：可达700°C热测量带宽：达30kHz @ 增益100X热延迟：~100us (低热传质） VertisenseTM 热成像放大器输入： ±10mV输出： ±10V信号增益： 100X - 10，000X噪声： 1nV @ 1kHz共模抑制： 高（115dB）显示： 实时针尖温度可调性： 热电偶标定范围 ** 近场热成像模块跟原子力显微镜结合配置 更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电 关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。 您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

仪器简介：工作模式 &bull 反射式NSOM，通过样品反射光强度进行成像，扫描过程，样品经由探针孔径光照明，反射光耦合到显微镜物镜，并经过PMT探测； &bull 荧光NSOM允许局域荧光成像，样品经由探针孔径光照明，透射光经显微镜物镜及滤光片，由PMT探测； &bull 透射NSOM可以进行透明样品的成像，透射光同样被倒置光学显微镜收集并由PMT探测。 激光波长选项 Trestles 20/50/100 700-950nm Mavericks65 1240-1270nm Tamarak-Er 1540-1560nm技术参数：参数扫描方式（根据样品或探针可选） 测量头扫描范围 80× 80× 3.5um（+/-10%） 最小扫描步长 0.009nm X,Y样品台移动范围 5× 5mm 移动精度 5um 样品尺寸 可达&Phi 100× 10mm X,Y闭环控制平台 X，Y范围 100× 100um 固有非线形 优于0.2% 精度 2nm 重复性 30nm（典型），小于全程0.2% 最大承重 2Kg 照明激光器 脉冲长度 50fs 输出功率 100mW 重复频率 80MHz 波长范围 740-950nm主要特点：特 点切向力反馈 纳米精度光学成像 反射和透过工作模式 飞秒脉冲或波长可调连续激光照明 光谱测量（可选）

NTEGRA Spectra系统简介： NTEGRA Spectra - AFM / CONFOCAL RAMAN & FLUORESCENCE / SNOM / TERS 它将原子力显微镜、扫描近场光学显微镜，激光共聚焦显微镜、荧光光谱和拉曼光谱等各种分析手段完美地结合到一起。借助于针尖增强拉曼散射效应（TERS），其拉曼散射光谱和图像测量的分辨率达到了50nm！ Confocal optical microscopy/spectroscopy system NTEGRA Spectra系统将激光共聚焦显微镜、拉曼光谱、光学显微镜和扫描探针显微镜完美结合，提供了荧光光谱与Raman散射的空间3D分布测量，而扫描探针显微镜也兼备了纳米压痕、纳米操纵和纳米刻蚀加工等功能！ Scanning probe microscopy system NTEGRA Spectra在进行光学观测的同时，NTEGRA Spectra系统也可以通过多种模式对样品进行SPM表征，包括：原子力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜、扫描隧道显微镜、扫描近场光学显微镜、力曲线等等多大40种功能。这种独有的设计将光学与探针方法联合的设备，赋予了用户对样品同时进行多种性能表征的能力，使得用户可以观测样品的光学性质、化学性能、电学性质、力学性质和磁学性质等等！ System for the investigation of optical properties beyond the diffraction limit NTEGRA Spectra系统区别于其他光学设备的性能在于它能在超过衍射极限的分辨率下，对样品光学性质进行研究。扫描近场光学显微镜与局域的针尖增强拉曼散射效应使得用户可以对光转移、光散射和光极化进行成像，其Raman散射的空间分辨率达到了50nm！ NTEGRA Spectra系统的工作模式 原子力显微镜（力学、电学、磁性质等，纳米操作等多大40种功能） 扫描近场光学显微镜（透射、反射、收集、荧光） 激光共聚焦显微镜、共聚焦拉曼成像、荧光成像、光学成像 针尖增强拉曼散射-TERS（正置+倒置）扫描近场光学显微镜 ( SNOM / NSOM ) 环境控制：温度、气氛控制、液相操作、电化学环境、外加磁场不仅能将原子力显微镜-近场光学显微镜-光学显微镜-共聚焦显微-拉曼光谱完美的联用。此外每个功能还能单独使用即提供了：独立的AFM/独立的SNOM/独立的光学显微镜/独立的共聚焦显微镜/独立的拉曼光谱，所有功能都能在同一个软件下实现联用，并且能够同时得到测量结果。为了更好的体现Ntegra 的扩展性，该系统不但能和NT-MDT 的拉曼系统联用， 也同和市场上主流的拉曼进行联用，例如Renishaw，JY 等拉曼系统联用。

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um 扫描范围：90× 90× 9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：&le 0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

仪器简介 ANASYS公司长期致力于纳米热学分析领域，开发出了多种新颖的、易操作的研究和分析仪器。基于多年累积的纳米热学专利技术，ANASYS又推出了一款最新的测试技术仪器&mdash &mdash Nano-IR纳米级红外光谱仪。突破了传统的傅里叶红外光谱（FT-IR）及衰减全反射红外光谱（ATR-IR）的分辨局限，让用户可以获得纳米尺度上的红外光谱分析、热分析、扫描探针成像和热力学性能测试。技术参数主要技术参数光谱范围：1200-1600cm-1光谱分辨率：16cm-1最大图像尺寸：100&mu m× 100&mu m光谱采集时间：&le 1min主要特点①　与&ldquo 远场&rdquo 光学相比，改技术的特点在于吸收的辐射可以通过尖端近场的尖端得到测量。②　PTIR技术可以实现纳米级红外并获得样品的化学性质。③　接触共振获得样品的力学性质。④　通过原子力显微镜（AFM）获得高分辨率的样品三维相貌图。⑤　纳米热学分析获得样品的热量传输温度。⑥　Nano-IR操作软件能够自动的跟踪并且可以让用户便捷的获得样品任 意位置的红外吸收光谱。

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um 扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

仪器简介：NTEGRA平台是一个创新性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独特的双扫描结构可以将扫描范围扩展到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um 扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，不超过0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）