折射式干涉仪

干涉仪ZMI™ 系列–位移测量干涉仪ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。线性干涉仪该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜平面镜干涉仪该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统波长补偿器该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO的紧凑型波长补偿器提供了高精度的折射率变化反馈，可在环境条件下实现最佳的位移测量性能。配件通过将光束从激光器传输到干涉仪，并最终传输到测量电子装置，完善测量系统。ZYGO提供各种标准的转折镜、分光镜、光纤耦合器和光纤电缆，方便您灵活配置测量系统。定制干涉仪设计ZYGO专业生产用于OEM应用的定制多轴干涉仪。定制设计允许在空间有限的应用中进行合并光束传输。它还减少了对准系统所需的时间，可在生产过程中实现更快的集成。

海思科技 吴先生 美国Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K1/白光干涉仪Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K1/白光干涉仪布鲁克 (Bruker) 是表面测量和检测技术的全球领导者，服务于科研和生产领域。新一代白光干涉仪ContourGT系列结合了先进的64位多核操作和分析处理软件，专利技术白光干涉仪（WLI）硬件和前所未有的操作简易性，是历年来来进的3D光学表面轮廓仪系统。该系统拥有超大视野内亚埃级至毫米级的垂直计量范围，样品安装灵活，且具有业界的测量重复性。ContourGT系列是当今生产研究和质量控制应用中，最广泛使用和最直观的3D表面计量平台。应用： 对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，提供全方位非接触式测量方案，样品从小至微米级别的微机电器件（MEMS），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据原理：利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。特征：◆业界的垂直分辨率，大的测量性能；0.5~200倍的放大倍率；任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程；高分辨率摄像头；◆ 测量硬件的独特设计，增强生产环境中的可靠性和重复性；较高的震动的容忍度和GR&R测量的能力专利的自动校准能力；◆ 多核处理器下运行的Vision64? 软件，大大提高三维表面测量和分析速度数据处理速度提高几十倍；分析速度提高十倍；无以伦比的大量数据无缝拼接能力；◆ 高度直观的用户界面，拥有业界的实用性，操作简便和分析功能强大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；独特的可视化操作工具；可自行设置数据输出的界面

皮米精度位移激光干涉仪（可试用）姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其独特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。独特的法珀腔+饱和吸收气室构造 波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能！干涉传感头 激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头。 用于测量高温漂移物体的传感器头的设计 镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头产品特点： 多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用 相对距离和绝对距离测量 完善的全套系统配置 实时输出数字化图像 针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案 长期使用保证稳定性 兼容真空与各种恶劣环境独特优势： 绝对距离高精度测量！ 不存在非线性及周期性误差！ 相对距离信号稳定性0.05nm！ 工作距离最大20m（与传感头相关） 目标最大速度1m/s 三个传感接口，可实现多设备同步 探测器分辨率达到1pm应用领域： 极限环境下振动分析 缓慢漂移及热膨胀检测 精密设备位置控制 纳米级位移测量 层状结构中间隙和边缘的测量 位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性 0.05nm波长1535nm绝对距离精度0.2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离0.1—20m光纤输入端口FC Narrow-Key-Slot目标速度1m/sMating Sleeves传感头真空同步多台设备同步低温

拓普迈克尔逊干涉仪WMG-1型仪器介绍：WMG-1型迈克尔逊干涉仪是我公司新近研制开发的用于高等院校和科研所验证相关物理光学实验的仪器。该仪器采用平台式铸铁底座，有效地提高了仪器的稳定性。拓普迈克尔逊干涉仪WMG-1型可开设实验：观察点光源非定域干涉观察等倾干涉条纹观察等厚干涉条纹观察白光干涉现象测定光源或滤光片的波长（例：He-Ne激光、钠光）测定钠黄双线波长差测量透明介质薄片折射率测量透明气体折射率拓普迈克尔逊干涉仪WMG-1型规格参数：动镜移动精度（微调）：0.0004mm动镜移动精度（粗调）：0.01mm动镜移动距离（微调）：1mm动镜移动距离（粗调）：12mm分束板和补偿板平面度：&le 1/20&lambda 激光输出功率：0.8-1mW系统成套性：迈克尔逊干涉仪主机 He-Ne激光器 一维可调升降底座等可选附件：低压钠灯 白光源 气室部件（气室、压力表、压气球） 法布里珀罗标准具

Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

应用领域 工业计量检测，光学加工车间检测，各种工业生产及加工现场检测包括：通讯、航空航天、汽车制造和消费电子等。 动态环境下，测量各种光滑表面面形，包括光学平面玻璃、窗口玻璃、金属平面、陶瓷平面，凸凹球面等。帮助光学车间和其它工业加工现场，控制和提高各种元件的光滑表面精度和表面质量。 产品综述 通用组合水平式检测干涉仪（数字化动态分析系列）是一种使用动态分析方法的斐索型激光干涉仪。该干涉仪具备良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。这使得该干涉仪在传统相移技术无法进行测试的环境中，仍能提供精密可靠的计量检测，这种具有可模块化组合和低成本等特点的无损检检测干涉仪是工业加工现场检测需求的新方向。 性能参数◆材质均匀性◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制我们的客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内领先的先进水平。仪器技术指标：1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）；2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径；3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长；4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm；5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns；6、光学系统具有高激光损伤阈值；7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024× 1024以上或用户定；8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好,可放于任何工作台现场使用；9、光束波前诊断软件包：给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等；给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF；软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。应用范围：本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域：1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。图2是系统软件输出界面。图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。

武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！GEMINI是一款新颖的紧凑型干涉仪，入射光所产生的两束复制光之间具有极高的稳定性。其卓越的性能可以被应用于许多科研领域，比如时间/频率分辨荧光探测，相干拉曼光谱，泵浦探针，二维光谱以及单分子的研究。主要特点高光通量，高灵敏度(1cm通光孔径，没有任何光栅或输入/输出孔径狭缝)宽光谱范围：标准版400-2300nm、超宽带版250-3500nm≈1阿秒稳定性（对两束复制光）自定义扫描范围对振动不敏感尺寸紧凑（176 x 44 x 54.5mm）轻便（≈400g）应用领域：干涉测量 激光对产生GEMINI在探测端时间/频率分辨荧光泵浦探针光谱相干拉曼光谱GEMINI在激发端单分子表现特征 和TCSPC探测器组成的时间/频率分辨荧光系统实验配置：GEMINI干涉仪放置于和TCSPC连接的单光子探测器之前，可以在保证时间分辨的同时获得荧光的波长信息。 相干拉曼（受激拉曼散射）和泵浦探针光谱实验配置：GEMINI干涉仪置于探针/斯托克斯光束入射样品后方，可以测量受激拉曼散射和MHz调制频率的泵浦探针光谱。单分子激发-发射图GEMINI干涉仪可以在短时间内以异常高的精确度和灵敏度获得单分子的特征描述 技术规格UV-SWIRVIS-MIDIR光谱范围200-3500nm500-5000nm延时稳定性小于1阿秒运行模式阶跃扫描或连续扫描尺寸10×8×8cm重量750g 武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！

剪切干涉仪 特性定性的光束准直测试，适用于直径为Ø 1-Ø 50毫米的光束磁性耦合可调设计，允许快速更换剪切板英制和公制螺纹安装孔SI系列剪切干涉仪可用于确定相干光束是否准直。该设计包括一个45度安装的楔形光学平板，和一块位于中间的带刻度参考线的散射屏。散射屏用于观察由光学平板的前后表面的菲涅尔反射产生的干涉条纹。如果光束已经准直，干涉条纹会平行于带刻度的参考线。除了准直度以外，干涉条纹还对球差、慧差和像散敏感。楔形光学平板是由未镀膜的紫外熔融硅。每个板尺寸的楔角优化到可接受光束尺寸的范围；详情请看规格标签。由于光在板上的入射角为45度，条纹图案的强度取决于极化光。当偏振垂直于入射面时会产生最大强度。为了观察到的干涉条纹，入射的光的相干长度必须长于由剪切板引起的光程长度的变化。规格标签的更多信息，请参阅下表脚注。构造剪切干涉仪由三部分组成一套：一个底座，一个带有楔形光学平板的板，和一个带有扩散屏幕的板。建立该干涉仪用4-40螺丝和六角键连接观察屏幕板与底座。楔形光学平板通过磁力夹持就位，使它能够很容易地换成带有不同楔形光学平板的板。该底座是由经阳极氧化处理的铝和带有安装Ø 1/2英寸接杆的螺纹孔组成。在楔形光学平板后面的底座上有一个孔，这样光可以毫无阻碍地穿过光学平板。右边的横截面图的说明剪切干涉仪的构造和光束传播。附件对与小直径光束，相应的干涉条纹图样也小，这样就不利于观测。对于这种情形，可以购买SIVS放大观察屏配件，它可以代替标准的散射观察屏，从而增大散射屏上条纹的尺寸。SIVS包括一个已安装的发散透镜和散射屏，这种屏适合观察直径为1至10毫米的光束。该板含有可以单独提供的楔形光学平板，使各种光束的尺寸可以用一个单一的底座单元测试。点击放大上图是UVFS在光正入射时的透过率曲线。其中UVFS样品未镀膜，厚度为1毫米，数据也包含表面反射。剪切干涉仪Zoom Click to Enlarge楔形光学平板通过三个磁块夹持就位。提供5种型号，用于光束直径从1到50毫米范围定性的确定光的准直性磁铁球将平板固定在底座上可用的光束直径刻在板上根据剪切板的不同，剪切干涉仪可用于直径小到1毫米，大到50毫米的入射光。剪切干涉仪产生的干涉图样对光束发散很敏感，因此可以用来定性的确定光是否准直。如右图所示，剪切板有三个钢球，以磁性吸附的方式固定在板的底面上。当采用不同直径的光束时，这种磁性保留机制易于更换不同的平板。兼容的平板和底座型号请查看规格标签。此外，底板的背面钻有通孔，因此可以使得透射光通过楔形光学平板继续毫无阻碍地传播。底板，散射屏和剪切板包装在一个铝制手提箱内。替换剪切板Zoom 提供5种型号，光束直径从1毫米到50毫米 剪切板兼容多种剪切干涉仪主体 磁性钢球将板固定在底座上 可用的光束直径刻在板上Thorlabs提供五种可交换的剪切板，这些剪切板设计用于1毫米到50毫米的入射光束直径。这些板的磁性耦合可调设计，使得剪切板能够准确的固定在剪切干涉仪上。同一底座兼容多种剪切板（关于兼容性的详情请看规格标签），因此如果用于特殊实验的光束直径变化时，剪切板很容易进行替换。带有不同楔形角的不同板可以提供不同大小的光束。配件Zoom 用于光束直径从1毫米到10毫米 增大散射板上的条纹尺寸用于光束直径从1毫米到10毫米增大散射板上的条纹尺寸SIVS配件有助于观察由小光束直径产生的条纹图样。通过用该配件替换SI035，SI050，SI100或SI254*上的标准散射板观察屏，干涉条纹的尺寸会增大，从而使得确定光是否准直变得更容易。SIVS带有两个1/16英寸的螺丝，因此可以固定在剪切干涉仪上。如果需要，SIVS的安装板可以单独购买（SITST）。SITST具有标准的Thorlabs的SM1 (1.035英寸-40)螺纹，与任意SM1螺纹组件兼容。

红外干涉仪 完美融合创新设计及尖端技术，M-Wave 339干涉仪是艺术级LUPI(不等光程激光干涉仪)，操作于3.39um/10.6um波长(或其他指定波长)，是用于测试中波红外成像组件/系统和光材料均匀性的理想仪器。 规格参数精确度 (未标定) 精确度 (已标定) 重复性基础设备孔径 扩束器孔径相机分辨率变焦镜头 采集模式 激光类型 波长*输出功率≥束偏振 0.01 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.004 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.001λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 25.4mm 直径101.6mm 直径640 x 512 像素1X to 6X相移HeNe3.39 μm、10.6um2 mW线性 包装尺寸系统光轴高度激光安全等级 重量 分析软件 744mm x 407mm x 275mm115mmCDRH IIIb激光产品3B类60 lbs (主机) ESDI Intelliwave LE-2 or Apre Reveal控制装置手动参考光倾斜电动激光功率衰减器电动6x连续变焦电动聚焦WFOV调整模式 / NFOV测量模式单一出厂设置参考臂反射器 (98%)配件/可选扩束镜 (75mm, 100mm, 150mm, 200mm)90度伸缩肘管电动控制项目的遥控器5轴镜片/窗口夹具高度调节器自动聚焦测量设备

Difrotec点衍射激光干涉仪-大口径（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS） 姓名：陈工(Jack)电话：（微信同号）邮箱： Difrotec点衍射激光干涉仪--大口径（≥700mm）、高精度（≤0.6nm RMS），不需要出口许可。Difrotec公司专注于高精度光学表面测绘领域产品的研发。拥有超过30年的激光干涉仪系统研发经验。上海昊量光电设备有限公司为Difrotec公司在国内的总代理商，为客户提供专业的技术咨询及商业服务！ Difrotec公司开发、设计和制造了市场上首台商用点衍射激光干涉仪。该系统具备结构紧凑，用户界面友好，自动测量光学表面面形和光学系统透射波前质量等功能。Difrotec公司开发的点衍射干涉仪具有大口径（≥700mm）,高精度（≤0.6nm RMS）等特点。我们是一家以客户需求为导向的公司，根据客户的需求集思广益，提供合适的解决方案。 Difrotec公司的点衍射激光干涉仪广泛应用于平面，球面，非球面等面型的检测。点衍射激光干涉仪产品特点：绝对测量精度(Peak-to-valley): ± 0.6 nm (λ/1000)分辨率(Peak-to-valley): 0.05 nm (λ/12000)波前重复精度(RMS): 0.23 nm (λ/2800)Simple RMS repeatability: 0.06 nm (λ/10500)数值口径 NA: 0.55 (f# 0.91)数据采集: phase-shifting interferometry (PSI)大口径：Up tp 700mm不需要出口许可点衍射激光干涉仪测试案例：

1.产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。2.产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。二.工作原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。三.产品功能特点◆精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。◆功能广●可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；●可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；●可实现龙门机床双轴同步测量；●可实现对机床回转轴的测量与校准；●可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；●具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；●支持手动或自动进行环境补偿。◆软件强●友好的人机界面；●丰富的应用功能模块；●向导式的操作流程；●简洁化的记录管理；●支持中文、英文和俄文界面；●支持企业专属模板定制。

扫描法布里－珀罗干涉仪 特性分析连续光激光器光谱自由光谱范围1.5和10GHz精细常数高于150控制器可选Thorlabs的扫描法布里-珀罗(FP)干涉仪 经常用于检查连续激光器的光谱特性的精细结构。这些干涉仪的精细常数高于150，自由光谱范围(FSRs) 为1.5或10 GHz。共焦FP腔起到非常窄的带通滤光片的作用。通过用压电换能器调节FP腔的长度，可以调谐腔的透射波长，其中压电换能器由SA201控制器或具有相同功能的发生器驱动。透射光的强度用光电二极管测量，信号由SA201中的跨阻抗放大器（或等价的放大器）进行放大，然后通过示波器或数据采集卡进行显示或记录。准直FP干涉仪腔体的共焦设计使其对入射光的对准相对不太敏感。因此，通过将干涉仪安装在标准的可调镜座上（详细信息请参阅对准指南标签），FP干涉仪的光轴与入射光束的对准具有足够的精度。1) 控制器（BNC）至压电元件（粘贴上）电缆，FP干涉仪的不可移部分2) 光电二极管（SMA）至控制器（BNC）电缆，包含于FP干涉仪中3) 放大光电二极管输出（BNC）至示波器电缆，不包含4) 控制器触发输出（BNC）至示波器电缆，不包含5) 可选连接线，允许用户监测用于驱动压电换能器的信号SA201控制器产生重复扫描腔长所需的锯齿波或三角波电压，扫描长度为&lambda /4（或更多）以扫过干涉仪的一个自由频谱区（FSR）。SA201控制器也具有跨阻抗放大器，可用来放大FP干涉仪中光电二极管探测器的输出。强度信息用来测量共焦FP腔的透射光的强度。控制器也为示波器提供了触发信号，触发信号可以方便地在扫描开始或中途简便触发示波器。通过分开一个FSR来测量两个相同光谱特征的间隔时间，可以对示波器的时间轴进行精确校准（详细信息见法布里&mdash 珀罗教程标签中的图4及图5）。理论反射镜反射率及反射镜精细度表格文件包含了绘制上图所用的数据。扫描法布里－珀罗干涉仪：1.5GHz自由频谱区Zoom Item #SA200Free-Spectral Range (FSR)1.5 GHzFinesse200 (250 typ)Resolution7.5 MHzMax. Beam Diameter*600 µ mCavity Length50 mmMirror SubstrateUV Fused Silica***FP腔体的入射孔径比最大光束直径大。但如果光束直径超过此规格，仪器的分辨率将会降低。**SA200-18B的反射镜基底为红外级熔融石英（Infrasil)新型Ｂ系列具有扩展的工作波长范围共焦法布里－珀罗设计超稳定无热化因钢腔体扫描电压（5伏/FSR＠633纳米）Ø 2英寸安装法兰推荐安装座： KS2 或KC2扫描法布里－珀罗干涉仪：10GHz自由频谱区Zoom Item #SA210Free-Spectral Range (FSR)10 GHzFinesse150 (180 typ)Resolution67 MHzMax. Beam Diameter150 µ mCavity Length7.5 mmMirror SubstrateUV Fused Silica***FP腔体的入射孔径比最大光束直径大。但如果光束直径超过此规格，仪器的分辨率将会降低。**SA210-18B的反射镜基底为红外级熔融石英（Infrasil）。扫描法布里－珀罗干涉仪控制箱Zoom Photo Amplifier SpecificationsGain Steps0, 10, 20 dBTransimpedance Gain (Hi-Z)10, 100, or 1000 kV/ATransimpedance Gain (50 O)5, 50, or 500 kV/AOutput Voltage (Hi-Z)0 - 10 V (Min Range)Output Voltage (50 O)0 - 5 V (Min Range)Bandwidth250 kHzNoise (RMS)0.1 mV @ 10 kV/A0.2 mV @ 100 KV/A1.5 mV @ 1 MV/ATTL触发输出上升沿触发开始扫描下降沿触发中间点扫描扫描电压可调节直流偏置（扫描中点处的中央信号）扫描时间可调节（0.01－10秒）三角或锯齿形扫描电压互阻式增益放大器光电二极管输出可选择输入：交流100,115或230伏SA201专门设计通过产生高稳定性，低噪声的电压斜坡信号来控制Thorlabs公司的法布里－珀罗干涉仪。该斜坡信号用来扫描干涉仪腔体的两块反射镜的空间间隔。控制器有100,115或230V可选择的交流输入，提供了斜坡电压及扫描时间的调整，使用户可以选择扫描范围及速度，并提供偏压控制使示波器上的光谱向右或向左移动。Ramp SpecificationsWaveformSawtooth or TriangleOutput Voltage Range1 - 45 V (offset + amplitude)Offset Adj. Range0 - 15 VDCAmplitude Adj. Range1 - 30 VRisetime Adj. Range1X Sweep Exp. 0.01 - 0.1 s100X Sweep Exp. 1 - 10 sSweep Expansion1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100XSweep Scale Error± 0.5%Output Noise1 mVRMS (~6.6 mVPP)TriggerRamp Start or Midpoint输出触发器允许用户在斜坡波形的起始阶段或中间对示波器进行外触发。从中间点触发示波器的功能使得对线型进行放大更加方便；只需将感兴趣的光谱成分移至显示屏的中央并且增加范围的时基。不需要应用偏置将信号重新移至中间；增加的范围对感兴趣的点进行了扩充。控制器的另一个方便的特性是增加斜坡信号长度的校准过的放大能力，可放大1倍，2倍，5倍，10倍，20倍，50倍与100倍，这样就可以实现极宽范围的扫描时间。输出的TTL电平触发允许用户在斜坡信号的起始点或中间点对示波器进行外触发。SA201也含有用来监测腔体透射率的高精度光电探测器放大电路。放大器提供了可调节的互阻抗增益：10千，100千与1兆伏／安，用来驱动高阻抗负载，例如示波器。应用控制器的输出同步信号，可以用示波器来显示输入激光的光谱。探测器电路包括了消隐电路，用来消除光电二极管对锯齿波下降沿的响应。

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

光纤法布里-珀罗干涉仪光纤法布里-珀罗干涉仪系列产品基于具有平滑、均匀间隔传输峰的固定干涉仪设计。FFP 的设计简洁优雅的关键在于其无透镜全光纤结构。没有准直光学器件或透镜，消除了其他法布里-珀罗元件技术的缺陷，包括未对准、环境敏感性和外来模式。FFP 波器遵循 Airy 函数。工程师可以将其设计到 OEM 系统中，因为他们知道它将提供非常接近理论数学模型的结果。FFP-I由一个无透镜的平面FabryPerot干涉仪和一个位于两个高反射多层反射镜之间的单模光纤波导组成。FFP-I是直接用光纤制造的，所以不需要对齐或模式匹配。自由光谱范围(FSR)可以完全按照客户的规格制造，TEC包可用于热稳定性和中心带通频率的小调整。FFP-TF 和 FFP-TF2 是多功能可调谐滤波器，由全光纤 Fabry-Perot 超腔组成，采用坚固、快速调谐的 Tecordia 合格封装。Luna Innovations 的光纤法布里-珀罗 (FFP) 可调谐滤波器在坚固的封装中实现了高精细度并保持低损耗。FFP-TF2 设计提供改进的标准具校准，以实现稳定的长期、高可靠性和符合 Telcordia 标准的性能。几种标准的低成本配置可随时用于快速交付。定制的高性能多频段配置也可用于特殊应用。 光纤法布里-珀罗干涉仪的主要特征：频谱切片源国际电联过滤器校准波长参考激光稳定波分复用仿真全光纤平台高分辨率和低损耗设计超腔精巧抗振动和抗冲击光纤法布里-珀罗干涉仪FFP-I参数： 光纤法布里-珀罗干涉仪FFP-TF2参数： picoWave是Micron Optics的多波长基准，可实现picometer精度的实时波长校准。结合均匀的频率间距FFP-I，光纤布拉格的波长标记光栅，内置热稳定性TEC, picoWave是理想的校准波长参考。FFP-I和FBG可以配置在串联或并联。 光纤法布里-珀罗干涉仪的应用：光学性能监控光谱分析可调谐光噪声滤波超DWDM的可调信道下降可调的来源光学传感关于昊量光电：昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务，助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询，我们将竭诚为您服务。

白光干涉仪概述Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）l标准转塔，电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY平台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 仅限白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

仪器简介：ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。技术参数：1.线性测量分辨率: 0.001&mu m2.线性测量范围： 40m（或任选80m）3.线性测量精度: ± 0.7ppm4.最高测量速度： 60m/min5.长期稳频精度： ± 0.05ppm主要特点：ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

产品概述BINNA2是维度科技研发的一款自动检测干涉仪，该设备继承了维度科技多年的干涉仪丰富经验，在SANA2的基础上增加了自动对焦和自动校对等功能，是单芯干涉仪功能集大成者。 BINNA2采用全新的软件设计、全新的夹具平台结构和夹具结构设计,进一步提升了设备的抗震能力； 夹具的使用寿命以及测量稳定性也空前提升。主要特性光纤高度达 -1000~1000nm角度自动调节自动对焦、自动校对、一键测量0.5s 完成单个连接器测试抗震性能力强-1000~1000nm 光纤新高度BINNA2 自动检测干涉仪采用全新光路设计， 光纤高度测量范围高达 -1000~1000nm，适合各种复杂工况的使用。 夹具自动居中功能BINNA2 干涉仪夹具采用全新设计，安装在干涉仪上后无需做任何硬件调整，只需在软件界面上点击”图像居中”按钮，软件将自动导引完成定位光标的定位工作。 一键测量BINNA2 夹具平台正面配备了一键测量快捷键，夹具锁紧感应结构能够自动获取当前夹具的锁紧状况，在每次夹具锁紧时软件进行自动测量。 全自动对焦、全自动校准BINNA2 采用维度最新的软硬件平台，在 SANA2 的基础上增加了自动对焦和自动校对等功能，让整个测量过程 100% 自动完成。极快的检测速度BINNA2 优秀的软硬件设计极大的提高了测试的速度，能够在 1.5s 内完成 包含端面分析与表面形貌测量的工作，最快可在 0.5s 内完成单个连接器的测试。角度自动调节BINNA2 实现 0~12°超广角度的全自动调节，0.003°的调节精度让 APC 角度测量更加精准。 自适应锁紧力度的夹具设计BINNA2 夹具采用自适应锁紧力度的结构设计，依靠弹簧自动调节锁紧陶瓷插芯的力度，保证每次锁紧力度一致，减少夹具的磨损并延长使用寿命。稳定的数据连接及无与伦比的抗震性能BINNA2 沿用干涉仪系列的锁紧式 USB 3.0 数据线，保证任何情况下都有稳定高速的 数据连接 独特的硬件结构设计，能搞保证 在震动极大的工厂环境中依然能够获得稳定的测试结果和测量精度。 裸光纤切割角度测量维度科技根据客户需求在 BINNA2 集成了多 种产品测量功能。BINNA2 可以测试光纤的切割角度。性能参数 * 再现性：重复插拔 50 次计算后获取的 sigma 数值重复性：不插拔重复测量 50 次计算后获取 sigma 数值主要应用用于抛光和组装过程中检查光纤插芯，跳线，尾纤和裸光纤。

SJ6000国产机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000国产机床激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）SJ6000国产机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。激光干涉仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。增量值补偿时有几个重要参数：参考点：参考点也就是基准点。zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

THz太赫兹扫描干涉仪产品负责人：姓名：王工(Karl）电话：（微信同号）邮箱：THz太赫兹扫描干涉仪，精度高，成本低，适合初步搭建实验系统。THz太赫兹扫描法布里-珀罗干涉仪（TSFPI）主要用于测量窄带太赫兹辐射的波长和强度分布，同时也可用于脉冲和连续窄带太赫兹辐射源。TSFPI由两个半透明平行硅镜组成，其中一个安装在电机驱动的线性致动器上。通过反射镜的平移（扫描）来测量太赫兹辐射参数，如图1所示。THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI可与如下太赫兹源结合使用：■ 回旋管；■ 光泵亚毫米波激光器；■ 回波振荡器；■ 自由电子激光器；■ 差频太赫兹发生器；■ 混频太赫兹发生器；■ 量子级联激光器；■ p-Ge激光器；■ 其他新颖的太赫兹源。THz太赫兹扫描法布里-珀罗干涉仪还能够测量宽带太赫兹源的波长和强度分布，以及根据法布里-珀罗干涉仪的透射光谱对太赫兹辐射进行滤波（图2）。THz太赫兹扫描干涉仪支持多种镜像平移模式，例如将镜像移动到给定位置、将镜像移动给定距离、连续平移和循环平移。反射镜平移速度、换档间隔、起始和结束位置也可以调整。图3 显示了由THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI进行光泵亚毫米波激光器的激光波长测量结果。从图中可以看出，相邻TSFPI传输Tmax之间的距离约为216μm（433μm–216μm=217μm；647μm–433μm=214μm；865μm–647μm=218μm），相当于激光波长的一半。该结果与理论THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI透射率Tmax一致：λ=2*d/m，其中d是TSFPI反射镜之间的间距，单位为μm，m是干涉阶数，λ是测量波长，单位为μm。THz太赫兹扫描干涉仪指标参数：THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI包括如下组件： TSFPI interferometer unit Power supply and control unit Mirror translation control software Cables User guide.其他详细情况可咨询上海昊量光电设备有限公司。

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

OCT共路干涉仪特性低插入损耗平坦的波长响应带有源抗混叠滤波器的集成平衡信号探测用于660纳米对准光束输入紧凑型设计；带电源INT-COM-1300干涉仪可用于扫频源系统内部，用于共路OCT应用。它集成了光纤耦合网络，与外部共路干涉仪探头一起使用。这种耦合器为实现平坦波长响应，以及非常低的偏振相关耦合损耗进行了优化。集成的高增益平衡探测器包括了有源抗混叠滤波器，将数字条纹信号中的混频产生降至最小，从而提高成像质量。Item #INT-COM-1300Optical Wavelength Range1250 - 1350 nmFiber TypeCorning SMF28eFiber PortFC/APCInsertion Loss: 1300 nm IN to Probe* Insertion Loss: 1300n m IN to VOA IN* Insertion Loss: 660 nm IN to Probe Port* ElectricalDetector Material/TypeInGaAsDetector Wavelength Range800 - 1700 nmMaximum Responsivity (Typical)1.0 A/WOutput Bandwidth (3 dB)DC - 15 MHzTransimpedance Gain51 kV/ADC-Offset ± 5 mVSaturation Power**70 uW @ 1300 nmMaximum Input Power (Damage Threshold)**20 mWOutput Impedance50 Ω Optical ConnectorsFC/APCElectric Outport PortSMAPower Supply± 12 V, 200 mAGeneralSize 120 mm x 80 mm x 21 mm(4.42" x 3.15" x 0.827")*) 在中心波长测量，包含接头损耗**) 耦合进探头或者VOA输出端口 下面的图1给出了INT-COM-1300内部光学网络和一个基本的OCT应用装置的原理图。图1：INT-COM-1300原理图 INT-COM-1300的内部光纤网络是为扫频傅里叶域OCT系统设计的，该系统中干涉仪的参考臂和样品臂信号都沿着共路配置传播。这两个臂的反射光合束产生干涉条纹，被集成的平衡探测器中的一个通道探测到。探测器的第二个通道可能被用来补偿干涉信号中的直流成分，并用一个外部可变光学衰减器（VOA）来控制到达探测器第二个通道的光通量。95/5光纤耦合器用于把输入光分为两部分，其中95%的光束被传输到一个环行器内，然后通过WDM耦合器。WDM耦合器把入射的1300纳米光和瞄准激光合在一起，方便对准。光从WDM耦合器的探测端口出射，用于样品观察。从样品反射回来的光再次经过WDM耦合器，然后通过环行器，被平衡探测器的一个通道探测到。来自入射光分光的5%光通过一个斜率补偿耦合器传输到VOA IN端口。这个额外的耦合器用于补偿波长相关耦合比。这两个耦合器的设计使VOA IN信号几乎不依赖OCT激光器的波长，能实现宽带直流偏置补偿。这在下面的波长响应曲线中给出。图2是从1300纳米输入到探测端口测量的INT-COM-1300耦合率，而图3是从输入端口到VAO端口输入端测量的耦合率。图2：从输入耦合到探测端口的波长响应图3：从输入耦合进VAO输入端口的波长响应

（1）应用领域●光学平面计量●半导体晶圆●半导体掩膜版基板●同步辐射●光刻机光学元件●航空航天折返成像系统●空间光学器件●强激光平板玻璃测量等实现大口径光学表面面形、透射波前、光学均匀性等参数的检测。 （2）产品综述 300mm通用组合水平式检测干涉仪是慧利仪器“大口径相移式激光干涉仪系列产品之一。它采用经典的斐索型共光路设计，结构简单、在适用于多种被测样品的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测。 慧利仪器300mm通用组合水平式检测干涉仪不仅实现了干涉测量技术从小口径到大口径的更新拓展，而且填补了国内制造业和国家质检部]对高精度平面检测设备需求的空白。 （3）参数性能测量原理：斐索干涉原理光源波长：632.8nm（稳频氦氖激光器）/633nm(波长调谐激光器）样品准直：双光点对准，对准角±3度电源:AC 220V 50HZ 操作系统：Windows系统，银河麒麟操作系统CCD分辨率：1024*1024像素 2048*2048像素软件：HL 数字化相移分析软件精密度：≤入/600 PV测量重复性：≤入/600 RMS测量重复性：≤入/8000RMS波前重复性：≤入/1800透射平面镜精度：A/20 PV◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制 部分客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm分辨率:0.001 um最大测量速度:4.0m/sec最高采样频率:50KHz测量范围:0 - 80 metres预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

Thorlabs 扫描式法布里-珀罗gan涉仪特性分析连续激光器的细微光谱特征光学镀膜适用于290 nm - 4400 nm自由光谱范围：1.5或10 GHzzui低精细度：150、200或1500在厂校准精细度超稳定无热Invar腔SMA或BNC耦合，用于连接示波器SA201控制器(单独出售)提供三角形或锯齿形扫描电压，用于压电传感器可以定制适用于紫外到中红外的反射镜镀膜(详情请联系我们)Thorlabs的扫描式法布里-珀罗(FP)干涉仪是一种光谱分析仪，非常适用于检查连续激光器的细微光谱特性。我们提供自由光谱范围(FSR)为1.5 GHz或10 GHz的干涉仪。干涉仪的分辨率会随着FSR和精细度的变化而变化，范围从小于1 MHz到67 MHz。FP腔只能透过特定频率的光。利用压电传感器调节腔的长度，可以调谐透过频率，如右图所示。透射光强度通过光电二极管测量，经SA201控制器中的跨阻放大器(或等效放大器)放大，然后由示波器显示或数据采集卡记录。每个法布里-珀罗gan涉仪都有一根带BNC接头的电缆，用于控制压电部件。SA30-144、SA200-18C和SA210-18C中的反射镜由红外级熔融石英(Infrasil)制成，SA200-30C中的反射镜由钇铝石榴石(YAG)制成，其他型号的反射镜由紫外熔融石英制成。内部壳体由热稳定的殷刚制成，以消除由温度变化产生的偏移。SA200和SA30型号的背面有SM1(1.035"-40)螺纹，用于安装探测器，而SA201型号有SM05(0.535"-40)螺纹。除SA200-30C之外，每个扫描式法布里-珀罗gan涉仪附带一个光电二极管探测器和一根SMA-BNC电线，用于连接探测器和放大器。光电二极管可以拆下，以便对准或换成其他探测器。Thorlabs 扫描式法布里-珀罗gan涉仪近似共聚焦FP设计，亚MHz分辨率高精细度: ≥150010%到20%共振透过率(典型值)超稳定无热化殷钢腔体低扫描电压(每FSR为2.5 V，对于633 nm)Ø 2英寸法兰，用于安装在Thorlabs的KS2或KC2(KC2/M)安装座中附带SMA转BNC电缆SA30系列FP干涉仪具有1.5 GHz自由频谱区。这些干涉仪的最小精细度是1500，分辨率小于1 MHz。提供6种波长范围，详见下表和右侧曲线所示。更多信息请看曲线标签。

λ/1000超高精度激光干涉仪!姓名：陈工(Jack) 电话： 邮箱：爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品，测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）检测及透射波前检测。产品参数：产品特点：测量光路示例：