光源频率: 双频
产地类别: 国产
测量范围(m): 40米
线性测量精度(ppm): ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)
线性分辨力(um): 0.001um
稳频方式: 双频激光热稳频
稳频精度(ppm): ±0.02ppm
预热时间: ≤6分钟
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镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;
以光刻机用激光干涉测量系统为基础,
在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时,
将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,
一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;
典型频差7±0.5 MHz,测速高达2m/s。
系统组成:
LH2000激光测头及附件
环境补偿单元
LaserLC测量软件
线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数
激光头尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
激光头重量 | 3.3kg |
激光光束直径 | 6mm |
激光功率 | >0.5mw |
真空波长 | 632.99nm |
频差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
工作温度范围 | +10℃~+30℃ |
储存温度范围 | +15℃~+45℃ |
激光稳频精度 | ±0.02ppm |
线性测量范围 | 40m |
线性测量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器) |
分辨率 | 1nm |
测量速度 | 2m/s |
工作电源 | 220V/50Hz |
产品货期: 60天
整机质保期: 2年
培训服务: 安装调试现场免费培训
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 30天
核心零部支持时间: 2年
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
无理由退换货: 不支持
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