镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪
镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪

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镭测科技

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LH2000双频激光干涉仪

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中国大陆

核心参数

光源频率: 双频

产地类别: 国产

测量范围(m): 40米

线性测量精度(ppm): ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)

线性分辨力(um): 0.001um

稳频方式: 双频激光热稳频

稳频精度(ppm): ±0.02ppm

预热时间: ≤6分钟

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    镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪

    满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;

    以光刻机用激光干涉测量系统为基础,

    在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时,

    将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,

    一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;

    典型频差7±0.5 MHz,测速高达2m/s。

    系统组成:
    LH2000激光测头及附件
    环境补偿单元
    LaserLC测量软件
    线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
    光学调整附件
    三脚架及其他测量附件

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数

激光头尺寸330mm×110mm×95mm
激光头重量3.3kg
激光光束直径6mm
激光功率 >0.5mw
真空波长632.99nm
频差可定制 典型值7±0.5 MHz
工作温度范围+10℃~+30℃
储存温度范围+15℃~+45℃
激光稳频精度±0.02ppm
线性测量范围40m
线性测量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)
分辨率1nm
测量速度2m/s
工作电源220V/50Hz
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售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 2年

培训服务: 安装调试现场免费培训

电话支持响应时间: 24小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 1天内

节假日是否提供上门服务:

核心零部件货期: 30天

核心零部支持时间: 2年

是否支持上门巡检:

是否提供预防性维护计划:

是否提供期间核查方案:

是否提供免费应用支持:

是否提供付费应用支持:

是否提供线上售后平台:

维修付款方式: 先维修后付款

无理由退换货: 不支持

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