典型用户

感应耦合等离子刻蚀机

等离子体表面处理仪品牌：北方型号：北方华创 GSE200S

仪器名称：

感应耦合等离子刻蚀机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学

主要技术指标：

侧壁角度:GaN/InGaN/AlGaN=88°,Sapphire=84°,SiO2=89.9°；刻蚀速率(nm/min):GaN/InGaN/AlGaN=368,Sapphire=73,SiO2=166；均一性(5mm去边):GaN/InGaN/AlGaN=1.5%,Sapphire=2.94%,SiO2=1.56%；重复性(3 Wafer重复测试):GaN/InGaN/AlGaN=1.48%,Sapphire=2.44%,SiO2=1.48%。

主要功能：

III-V族半导体的制备和加工

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