Zeta™ -20HR光学轮廓仪(专用于太阳能电池)

Zeta™ -20HR高分辨率光学轮廓仪（专用于太阳能电池）

KLA Instruments™ 推出 Zeta™-20HR 高分辨率 光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表 征和下一代生产工艺的量测需求而设计。

Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电 池结构的表征能力拓展至 1μm 以下。这款新型的 Zeta 设备，基于具有 ZDot™ 技术的 Zeta-20 设计，最高可 配备 230mm x 230mm 尺寸的样品载台，并具备所有 标准化且易用的多模测量能力。Zeta 光学轮廓仪是太  阳能电池工艺开发和控制的理想量测工具。

概览

1、横向分辨率相较于 Zeta-20 标准版提升 30%

样品台拓展至 230mm x 230mm，

支持先进的太阳能电池生产工艺

2、用于下一代太阳能电池生产工艺的结构形貌表征

3、改进的数据可视化方式

应用

1、太阳能电池金字塔结构的形貌测量

2、特征结构的形貌和粗糙度测量

     太阳能细栅、主栅测量

3、晶圆翘曲和应力测量

4、 金刚石切割线测量

5、激光开槽测量

     30nm至100μm的透明薄膜厚度测量，并生成厚度分布图

6、横向尺寸灵敏度＞1μm的自动化缺陷检测

太阳能应用

Zeta 光学轮廓仪可对太阳能电池的研发、生产过程中的关键步骤进行量测，包括：（1）金刚石切割线测量，用于监控金刚石切割线 的使用寿命；（2）晶片翘曲和线痕测量；（3）金字塔结构形貌测量，用于监测光能的吸收和转化效率；（4）太阳能电池片的细栅 和主栅的测量，用于监测载流子的传导能力；（5）背电极的测量，用于监测电子流向逆变器的传导能力。

Zeta-20HR 具有比标准版 Zeta-20 更高的横向分辨率；如右图轮廓线所示，在同一个测量点位上对比了Zeta-20HR、 AFM和SEM的测量结果；Zeta 测量时间小于30秒。

硅基太阳能电池表面形貌

可对已镀膜或未镀膜的电池表面金字塔结构进行量测。更强的金字塔结构表征 能力，可测量特征尺寸小至 1μm 的金字塔结构。

太阳能电池金属栅线

太阳能金属细栅和主栅的自动化测量。Zeta-20HR 使用 HDR 技术调整光强， 在单张图像中同时捕捉低反射率减反层和高反射率表面的形貌信息，并结合  自动化检测算法，快速报告测量值。

光刻工艺制备金属栅线

光刻工艺制备金属栅线测量。透明光刻胶对于光学轮廓仪来说是一个挑战，

ZDot点阵技术可自动采集透明光刻胶的上下表面信息和金属表面信息，从而为 先进金属连线导线工艺提供解决方案。

大型样品台

采用 230mm x 230mm 的 XY 测量台，适配新一代太阳能电池的工艺规格， 并兼容传统工艺的尺寸要求。