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HP9000EPD型高纯气体分析仪，配备了增强型等离子体检测器（Enhanced Plasma Detector，EPD），主要用于高纯气体中痕量杂质的检测分析。
EPD的原理是在检测器的石英小池周围加以高频、高强度的电磁场，在高频、高强电磁场的作用下载气和杂质气体被电离为等离子体，等离子体具有较高的能量，当样品进入检测器的石英小池之后，被等离子体电离并发出不同波长的光，经相应的滤光片及光电二极管后转换为电信号，相比于痕量分析中常用的PDHID检测器，EPD选择性更好，灵敏度更高，另外，EPD可以选择氩气或氮气等相对低成本的载气种类，运行成本低于PDHID。
产品货期: 20天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
