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Dektak XT
出众的测量精度、准确的测试功能、zui高的
接触式测量模式—业内一品牌
销量》10000台，销量》250台
大学、研究所》100台
太阳能客户销量》30台
LED客户销量》30台
技术参数：
拱形设计—系统更稳定
扫描长度：55mm
垂直测量范围：1mm(标准）
台阶高度重现性5Å, 1s 在1um台阶上
垂直分辨率：zui大1Å（6.55um范围)
探针压力：1－15mg
探针曲率半径：0.2-25um
超细探针50nm
样品台尺寸：150mm-200mm
可360°旋转,手动、自动可选
zui大样品厚度：50mm
主要特点：
1. 台阶高度测量的高重复性
2. 基于加工光学参考平面的样品台，
确保在长距离扫描中基线的稳定性
3. 出色的易用性、易维护性
4. 的样品适用性
5. 高分辨率的粗糙度测量
6. 功能强大的软件分析系统
7. 三维表面形貌测量的功能可升级性
8. 广泛的应用领域，客户涵盖大学、研究所、工业领域（太阳能、LED、触摸屏、半导体、镀膜等多领域）
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 由工厂按需要安排人员培训
免费仪器保养: 3个月一次
保内维修承诺: 一年内免费维修设备和零配件
报修承诺: 24小时到场或者电话指导
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LuphoScan非接触3D非球面光学面形测量系统
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