KLA 白光干涉轮廓仪 Profilm 3D_参数

Profilm3D®和 Profilm3D-200光学轮廓仪经济实惠，是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。最新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式，性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面，可进行单次扫描或在多个点位自动测量，来支持研发和生产环境。

Filmetrics Profilm3D和Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm3D采用TotalFocus™技术，可以产生令人惊叹的3D自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。最新一代的 Profilm3D引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在Profilm3D测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm3D还具有简单、创新的用户界面和自动化功能，支持从研发到生产的各种工作环境。

我们的Profilm®软件包采用先进的基于云的ProfilmOnline®网络服务、Android和iOS的移动应用程序以及高级Profilm桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。

● 垂直扫描和相移干涉测量，可用于测量从纳米级到毫米级的表面特征

● TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

● 真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征

● 粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

● 自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面

● 具有长行程范围的自动化 X-Y 样品台，非常适合分布测绘和拼接扫描

● 使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析

● TotalFocus成像，即使在高度变化大于物镜焦深的表面上，也能产生令人惊叹的真彩图像，并且每个像素都在焦点上

● 纹理和形状：3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状的纹理表征

3D和闪存打印

Profilm3D 可以轻松测量加工过的不锈钢的丝印。测量印刷层的厚度及均匀性，并对分层、覆盖均匀性和表面粗糙度进行表征。Profilm3D 设计提供了简单的样品安装和软件界面，从而简化制造和质量控制工艺监控。

金属精加工 / 微加工 / 模具加工

Profilm3D 可用于金属精加工和模具加工，例如切割锯对压电材料的切割深度进行量化时切割锯的关键校准。该系统还可以同时测量加工部件的表面粗糙度和关键尺寸。

半导体

后端封装凸点的共面性对于确保优质键合至关重要，Profilm3D 可快速生成共面性、间距一致性、尺寸等测量结果。其他应用包括掩模制造，激光打标，光刻胶图案，以及其他研发和工艺认证。

光学

该扫描可显示通过电子束曝光技术创造出的一个微型菲涅耳透镜。对于透镜等陡峭表面，粗糙度增强模式下的 Profilm3D 现在可以测量高达 60° 的坡度。

生物学

Profilm3D 非常适合测量生物样品，例如玻璃上的四苯基卟啉（TPP）薄膜。用 50 倍的 Mirau 物镜在 2 倍放大下对 TPP 成像，会显示出薄膜生长的情况。该图像是使用 TotalFocus™ 色彩技术生成的，能显示样品的实际颜色。

Filmetrics Profilm3D 白光干涉仪具有电动 X-Y 向和 Z 向样品台，行程为 100 毫米，同时具有手动倾斜样品台。该系统支持相移和垂直扫描干涉测量法，能对 3D 表面形貌进行高分辨率测量。

Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪不仅具有与 Profilm3D 相同的功能，还提供了一个更大的电动 X-Y 样品台，支持 200 毫米 × 200 毫米的行程。

Filmetrics Profilm 软件包全面、易懂、快速且便于使用。3D 数据操作和分析功能（如调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术）均包含于基本配置中。Profilm 支持 ISO 粗糙度的计算方法，以及 ASME 等本地标准。只需单击一下，即可将 Profilm 中的数据上传至 ProfilmOnline 平台，从而轻松、安全地存储数据并进行共享。

Filmetrics ProfilmOnline 作为 Profilm 软件包的一部分，它是一种基于云的 3D 数据可视化和分析平台。在ProfilmOnline中您可共享、存储、查看和分析 3D 数据，无论您使用的是计算机还是移动设备。安卓和 iOS 的操作系统均可使用此应用，并支持多种文件格式。为了安全起见，可以对数据进行加密。

四位转台可安装放大倍率从 5 倍到 100 倍不等的物镜，支持纳米级、微米级和宏观形貌应用。5 倍物镜是迈克尔逊干涉物镜。10 倍、20 倍、50 倍和 100 倍物镜使用的是 Mirau 干涉物镜。

X-Y 和 Z 轴的电动样品台是 Profilm3D 系统的标准配置。Profilm3D X-Y 样品台的行程为 100 毫米 x 100 毫米，Profilm3D-200 的行程为 200 毫米 x 200 毫米。Z 向样品台的范围为 100 毫米。可程序化控制所有运动轴的行程。手动倾斜样品台是标准配置，运动角度为±5°。

Profilm3D 系列光学轮廓仪还有一个手动的 R-theta 晶圆样品台，适配直径为 50 毫米至 200 毫米的晶圆。此外，Profilm3D-200 支持用于容纳 200 毫米晶圆的适配器。

Filmetrics Profilm3D 系列提供 Accurion Nano30 系列桌面主动防震系统，该系统在所有六个自由度中均使用电动驱动主动隔震。

Filmetrics Profilm3D 系列包含有定制的铬-硅 10μm 台阶高度标准片，标准片上是有铬涂层的蚀刻台阶。0.1 µm，2 µm 和 4 µm 等多种台阶高度标准片也可以选购。