一六仪器XAD-200多功能光谱仪半导体行业适用

XAD是一款上照式全元素光谱分析仪，可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区RoHS检测及多元素成分分析，先进的算法及解谱技术解决了诸多业界难题。

被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。 

微小样品检测：测量面积小至0.008mm2

• 变焦装置算法：可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-90mm

• 自主研发的EFP算法：AI(3)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂镀层检测，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可准确测量

• 先进的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限

• 高性能探测器：SDD硅漂移窗口面积20/50mm2探测器

• X射线装置：微焦加强型射线管搭配聚焦装置

• 上照式设计：实现对大型样品或者密集点位进行快、准、稳高效率测量

• 可编程自动位移：选配自动平台，X210*Y230*Z145mm行程内无人值守自动测量

• 多准直器自动切换

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• 1. 成分分析范围：铝（Al）- 铀（U）

• 2. 成分检出限：1ppm

• 3. 涂镀层分析范围：锂（Li）- 铀（U）

• 4. 涂镀层检出限：0.005μm

• 5. 测量直径小至□0.1*0.3mm（测量面积小至0.03mm2）

•     标配：测量直径小至0.3mm（测量面积小至0.07mm2）

• 6. 对焦距离：0-30mm

• 7. 样品腔尺寸：530mm*570mm*150mm

• 8. 仪器尺寸：550mm*760mm*635mm

• 9. 仪器重量：100KG

• 10. XY轴工作台移动范围：100mm*150mm

• 11. XY轴工作台承重：15KG

广泛应用于电镀行业、通讯行业、汽车行业、五金建材、航空航天、环保检测、地质地矿、水暖卫浴、精密电子、珠宝首饰和古董、锂电行业等多种领域。

选择一六仪器的四大理由：

1.一机多用，无损检测（涂镀层检测-环保RoHS-成分分析）

2.测量面积小至0.002mm2

3.可检测凹槽0-90mm的异形件

4.轻元素，重复镀层，同种元素不同层亦可检测