URE-2000/17 型紫外单面光刻机（台式）

技术参数

。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力：1.5μm（胶厚 2 ?m 的正胶）

。对准精度：±1μm

。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸：直径 Ф 15mm-- Ф 100mm，厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式：定时和定剂量

。照明不均匀性： 5%（Ф 100mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

                        物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

                        目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

。掩模相对于样片运动行程：

      X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞灯功率：200W（直流）

。曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（长）x600mm(宽) x900mm（高）36

3．配置

（1）曝光头

。200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。光学系统

。冷却风扇

（2）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,手动

。样片调焦机构，手动

。承片台 3 个（Ф 50mm 、?75mm 、 ?100mm ）

。掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

。光源（配备品 2 只）、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD（台湾）

。21 寸液晶显示器

（4）电控系统

。汞灯触发电源(200W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制机箱

（5）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（6）其他附件

。真空泵一台

。管道