URE-2000S/B 型紫外双面光刻机

技术参数

。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm： 25mW/cm，405nm：20-40mW/cm2

。分辨力：1μm

。对准精度： ± 2μm（双面,片厚 0.8mm） ± 0.8μm（单面）

。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定时和定剂量

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

          物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

          目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

。照明不均匀性： 2.5%（ Ф100mm 范围）

。掩模相对于样片运动行程：

     X:  ± 5mm; Y:  ± 5mm; Thelta:  ± 6 度

。胶厚：600 μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：2°

。具有循环水冷却系统

。汞灯功率：1000W（直流，进口）

外形尺寸：1400mm（长）x1200mm(宽) x2000mm（高）

配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)；

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构

。承片台 3 个 （3 英寸、4 英寸，5 英寸）

。掩模夹 3 个 （2 英寸、3 英寸、4 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源（配备品 2 只）、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）11

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 光学系统

（4）底面 CCD 对准系统

。光源（配备品 2 只）、 电源

。成像光学系统(2 套)

。双通道数据采集卡

。CCD（两套）

（5）电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（监视器配 21 英寸宽屏液晶）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。无油静音真空泵一台

。无油静音空压机一台

。恒温循环水冷却系统

。管道