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Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量,以及翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力,可以对工艺进行量化,确定添加或去除的材料量,以及结构的任何变化。
主要功能
· 台阶高度:几纳米至1200μm
· 低触力:0.03至15mg
· 视频:500万像素高分辨率彩色摄像头
· 梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真
· 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 紧凑尺寸:最小占地面积的台式探针式轮廓仪
· 软件:用户友好的软件界面
主要应用
· 台阶高度:2D台阶高度和3D台阶高度
· 纹理:2D粗糙度和波纹度
· 形式:2D翘曲和形状
· 应力:2D薄膜应力
工业应用
· 大学,研究实验室和研究所
· 半导体和复合半导体
· SIMS:二次离子质谱
· LED:发光二极管
· 太阳能
· MEMS:微电子机械系统
· 汽车
· 医疗设备
· 还有更多:请与我们联系并探讨您的要求
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 3人次现场培训
免费仪器保养: 用户使用半年后,将安排一次应用培训以使用户达到熟练使用设备程度
保内维修承诺: 设备保修期内不收取零部件及其它费用,实行保修服务。并提供设备终身售后服务
报修承诺: 接到用户通知后,2小时内做出响应,24小时内给出明确解决方案
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