RTP快速退火炉

产品型号：RTP快速退火炉NBD-HR1200-110IT-170
商品简述：RTP快速退火炉NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 

商品主要用于： 
1.可满足离子注入后的快速退火； 
2.也可用于欧姆接触快速合金； 
3.还可用于硅化物合金退火，氧化物生长； 
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
该设备是国家专利保护产品，专利号：CN201310005931.6
      快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品，拥有独立的发明专利。不但拥有极快的升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，退火炉在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温！
      腔体采用了独有进气结构，内管进气，外管出气，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的精准性。

RTP快速退火炉主要技术参数

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