连续式四探针片电阻及光学膜厚测量设备

设计, 片电阻不受针尖距离影响

产品特点：

多种型号以供选择: 

自动上下片(Cassette to cassette, C2C) 

室温至100°C 的测量(更高可选)

可添加并整合于多腔式的集束型架构设备(cluster tool) 

行业应用：

亦可在连续式设备内加入四探针片电阻及光学膜厚测量, 适合薄膜太阳能(铜铟镓硒, CIGS)及平板显示行业

技术参数：

基材尺寸: 

450mm晶圆 (样品台旋转)

370 x 470mm 长方形基底 (XY样品台)

连续式设备可以度身订做, 没有尺寸限制 

片电阻测量适合金属薄膜、铜铟镓硒、非晶硅(硅)、碲化镉、钼、透明导电薄膜(AlZnO2)、掺杂之后的硅(硅)、硅锗及锗 

0.1 – 100,000 单位面积奥姆值 (更高可选) 

短时间重复性: 0.1 (21次连续测量同一点, 一个公差值) 

长时间重复性.0.2 (每天21次连续测量同一点, 连续5 天, 一个公差值)

可*地整合于连续式(INLINE)的生产线内, 而收集的测量数据可自动送到SCADA系统

光学膜厚测量功能可选 

测量光斑<1mm

波长: 380-1050nm

可测量膜厚: 15-50nm, *多可达250nm

短时间重复性: ~0.1nm 

长时间重复性:: ~0.1nm 

准确度: 0.4 or 0.1nm