PHI公司的PHI710扫描俄歇纳米探针是一台设计独特的高性能的俄歇电子能谱（AES）仪器。该设备能分析纳米级特征区域,超薄薄膜和多层结构表界面的元素态和化学态信息。作为高空间分辨率,高灵敏度和高能量分辨率的俄歇电子能谱仪, PHI 710可以为用户提供纳米尺度方面的各种分析需求。
PHI710主要特点：
l SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm
在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布像，需要先在SEM图像上定义样品分析区域，必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),如下图所示：
l 图2则是关于铸铁韧性断裂的界面分析，左边是SEM图像,中间是钙、镁、钛的俄歇成像,右边则是硫的俄歇成像,这充分证明了PHI 710在纳米级尺度下的化学态的分析能力。
l 同轴筒镜分析器（CMA）：
PHI 公司电子枪和分析器同轴的几何设计,具有灵敏度高和视线无遮拦的特点,满足了现实复杂样品对俄歇分析全面表征能力的需求。如上图所示,所有俄歇的数据都是从颗粒的各个方向收集而来,成像没有阴影。
若设备配备的不是同轴分析器,则仪器的灵敏度会降低,并且成像有阴影,一些分析区域会由于位置的原因,而无法分析。如果想要得到高灵敏度,只能分析正对着分析器的区域。如下图所示,若需要对颗粒的背面,颗粒与颗粒之间的区域分析,图像会有阴影。
l 俄歇能谱仪的化学态成像：
l 图谱成像
PHI710能从俄歇成像分析的每个像素点中提取出谱图的相关信息,该功能可以实现化学态成像。
l 高能量分辨率俄歇成分像
下图是半导体芯片测试分析,测试的元素是Si。通过对Si的俄歇影像进行线性最小二乘法拟合（LLS）,俄歇谱图很清楚的反映出了三个Si的不同化学态的区域,分别是：单质硅、氮氧化硅和金属硅,并且可以从中分别提取出对应的Si的俄歇谱图,如最下方三张图所示。
l 纳米级的薄膜分析
如下SEM图像中,以硅为衬底的镍的薄膜上有缺陷,这是由于退火后,在界面处形成了硅镍化合物。分别在缺陷区域和正常区域设定了一个分析点,分析条件为高能量分辨率模式下（0.1%）,电子束直径20nm,离子枪采用0.5kV设定,如下图所示:在MultiPak软件中,采取最小二乘拟合法用于区分金属镍和硅镍化合物,同样区分金属硅和硅化物。可以看出,硅镍化合物仅存在于界面处,而在镍薄膜层和硅衬底中都不存在。但是,在镍涂层的缺陷处,发现了硅镍化合物。
l PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个从用户需求出发而设计的软件。该软件通过任务导向的方式指引用户导入样品,定义分析点,并设置分析条件,可以让新手快速,方便地测试样品,并且用户可以很方便的重复之前的测量。
l PHI MultiPak 数据处理软件：MultiPak软件拥有最全面的俄歇能谱数据库。采谱分析,线扫描分析,成像和深度剖析的数据都能用MultiPak来处理。软件强大的功能包括谱峰的定位,化学态信息及检测限的提取,定量测试和图像的增强等。
l 选配件：
1. 真空室内原位样品泊放台；
2. 原位脆断；
3. 真空传送管；
4. 预抽室导航相机；
5. 电子能量色散探测器（EDS）；
6. 电子背散射衍射探测器（EBSD）；
7. 背散射电子探测器（BSE）；
8. 聚焦离子束（FIB）；
l 应用领域：
•半导体器件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、界面扩 散现象分析、封装问题分析、FIB器件分析等。
•显示器组件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、接口扩 散现象分析等。
•磁性存储器件:表面多层、表面元素、界面扩散分析、孔洞缺陷分析、表面污染物分析、磁 头缺陷分析、残余物分析等。
•金属、合金、玻璃及陶瓷材料：表面沉积物分析、清洁污染物分析、晶间晶界分析等。
环保 2024-02-27
材料 2024-02-27
环保 2024-02-27
材料 2024-02-27
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 西安交通大学材料学院 | 2021-09-14 |
| 浙江大学信息科学与电子工程学院 | 2021-09-14 |
| 天目湖先进储能技术研究院 | 2018-04-30 |
| 中国科学院苏州纳米材料与仿生研究所 | 2019-07-26 |
| 清华大学材料中心 | 2015-12-04 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 基础培训4天，初级培训4天，高阶培训4天，具体时间双方商定。
免费仪器保养: 质保期内每年1次。
保内维修承诺: 质保期内免费维修、免费更换故障零配件，故意人为原因除外。
报修承诺: 接报2小时内快速电话/电邮/微信响应，重大故障48小时到达现场。
作为通用的能量分析器，半球形能量分析器（SCA/CHA）见图1，既可以用于光电子能谱仪（XPS），也可以用于俄歇电子能谱仪（AES）。考虑到俄歇电子发射效率低，为了将俄歇电子从背景信号中分离出来，提高俄歇电子检测灵敏度，SCA/CHA用于俄歇电子能谱仪时，首要的是提高俄歇电子传输效率，而不是提高谱仪的能量分辨率。本文将着重介绍SCA/CHA在俄歇电子分析中的应用。
粒子能量分析器就是根据粒子不同的能量，将其分开的装置，常用的粒子能量分析器，主要是静电场型能量分析器。常用的静电能量分析器有以下几种，即同轴筒镜能量分析器（CMA）（如图1），扇形能量分析器（如图2），和半球形能量分析器（SCA/CHA）（如图3）。它们均可以将不同动能的带电粒子分散开，即按照粒子能量高低排列成一系列的谱线。
PHI MultiPak 是ULVAC-PHI公司开发用于电子能谱分析的数据后处理软件。它集成了大量的标准图谱数据库，支持谱峰识别、化学态信息提取、定量分析等强大功能。它同时还整合了强大高级算法工具，可以进行数据集合的批处理，方便的将数值结果导出为其它格式。
ULVAC-PHI俄歇电子能谱PHI 710的工作原理介绍
俄歇电子能谱PHI 710的使用方法?
ULVAC-PHIPHI 710多少钱一台?
俄歇电子能谱PHI 710可以检测什么？
俄歇电子能谱PHI 710使用的注意事项？
ULVAC-PHIPHI 710的说明书有吗？
ULVAC-PHI俄歇电子能谱PHI 710的操作规程有吗？
ULVAC-PHI俄歇电子能谱PHI 710报价含票含运吗？
ULVAC-PHIPHI 710有现货吗？
