可见光波前传感器
PHASICS介绍其近红外高分辨率波前传感器(从1.5 μm到1.6 μm)。
在激光光束测量方面,SID4 NIR提供一个详尽的光束检测法(像差,M²,强度分布,光束参数等)。
在光学测量方面,SID4 NIR是检测红外物镜或红外透镜出MTF，PSF，焦距和分析表面质量的最好工具。
主要特点
● 高分辨率(160 x 120)
● 相位图解释模块
● 强度截面检测
● 绝对测量
● 测量速度快
● 对振动不敏感
● 成本效益
参数
孔径 | 3.6 x 4.8 mm² |
空间分辨率 | 29.6 μm |
采样点 | 160 x 120 |
波长范围 | 1.5 μm – 1.6 μm |
精度 | 15 nm RMS |
敏感度 | 11 nm RMS |
动态范围 | > 100 μm |
分割频率 | > 10 fps |
采样频率 | 60 fps |
尺寸(l x H x L) | 44 x 33 x 57.5 mm |
重量 | 250 g |
