高分辨率紫外波前传感器
高分辨率紫外波前传感器

¥10万 - 50万

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Phasics

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SID4 UV-HR

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欧洲

  • 银牌
  • 第12年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。
采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。
有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。

主要特点
• 高分辨率(250 x 250)
• 大孔径(8,0 mm x 8,0 mm)
• 覆盖UV光谱
• 高灵敏度(0,5 nm)
• 优化信噪比
• 适用于光学测量

参数

 孔径

 8.0 x 8.0 mm²

 空间分辨率

 32?um

 采样点

 250 x 250

 波长

 190 - 400 nm

 精度 (绝对模式)

 10 nm

 灵敏度

 0.5 nm

 动态范围

 > 200?um

 曲率半径

 10 mm到+∞?

 曲率半径灵敏度

 < 5.10 m

 分割频率

 1 fps

 采样频率

 30 fps

 尺寸(l x H x L)

 95 x 105 x 84 mm

 重量

 900 g

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