高分辨紫外波前传感器
PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。
采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。
有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。
主要特点
• 高分辨率(250 x 250)
• 大孔径(8,0 mm x 8,0 mm)
• 覆盖UV光谱
• 高灵敏度(0,5 nm)
• 优化信噪比
• 适用于光学测量
参数
孔径 | 8.0 x 8.0 mm² |
空间分辨率 | 32?um |
采样点 | 250 x 250 |
波长 | 190 - 400 nm |
精度 (绝对模式) | 10 nm |
灵敏度 | 0.5 nm |
动态范围 | > 200?um |
曲率半径 | 10 mm到+∞? |
曲率半径灵敏度 | < 5.10 m |
分割频率 | 1 fps |
采样频率 | 30 fps |
尺寸(l x H x L) | 95 x 105 x 84 mm |
重量 | 900 g |
