仪器简介：
通过等离子体与固体表面的相互作用，消除固体表面的有机污染物，固体如：
金属、陶瓷、玻璃、硅片等等，同时可以用等离子处理系统对样品表面进行
处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的
吸附/粘附特性等等。
（1）医用材料的研究方面，主要是研究和生产企业
（2）电子领域，如电路板的生产
（3）生物芯片领域
（4）高分子材料研究单位，尤其是进行特殊处理的
（5）高端仪器的实验室，作为清洗除污工具，保证高端仪器的正常使用
（6）光学材料单位
（7）电化学方面，进行表面处理的单位
（8）其他，主要进行表面处理的单位
技术参数：
交流电源: 300W 13.56 MHz
交流电源匹配: 自动匹配
控制: 软件控制
尺寸: 61 X 61 X 30 cm, 重量： 75 lbs
样品室: 直径20.3cm,25.4cm深
标准耐热玻璃内衬，可选石英内衬
一种气体供应
气体供应: 包括一个MFC
可选择: 氧气供应泵
气体过滤器
压力计
截流阀
真空泵, 11 cfm, 115v, 15 amp
真空泵过滤系统
2nd MFC
计算机
主要特点：
（1）采用电容耦合电极和专利化的电极设计（专利号：US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保证了样品室内等离子体分布的均一性；
（2）采用自动调频高频发生器，保证了等离子体发生的稳定性和有效性；
（3）采用高精度的流速控制和压力控制部件，保证了气体的精确控制、高重现性混合和分布；
（4）采用软件控制，确保控制的方便有效和实时监控；
（5）一体化的高真空系统，确保了操作的方便性和稳定性；
（6）多种样品室可供选择，如耐热玻璃和石英等，更能满足广大客户的需求多；
（7）体积小，可远程操作，多种安全保护，保证操作的安全和方便；
（8）样品室和功率设计合理，可满足绝大部分科研需要；
（9）全自动操作，方便可靠。
