分子束外延（Molecular Beam Epitaxy）是一种物理沉积单晶薄膜的方法，能够精确控制外延薄膜的厚度、成分，实现亚单原子层精度的生长。分子束外延技术广泛应用于薄膜材料外延生长、纳米尺度器件制造等领域。
Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH 是专业的MBE设备制造商，具有20余年的产品制造及工艺研发经验。其多年的生产研发经验和严格的生产工艺管理，保证了每一个产品都具有优秀的性能和可靠的质量，最大程度上满足用户获得高纯度、高精度外延薄膜的要求。除完整的MBE系统外，我们还可以为用户提供与各类MBE系统配套的蒸发源及其他分子束外延组件。
■ 各种蒸发源：标准源、高温源、低温源、有机蒸发源等
■ 电子束源：标准型、多口型、竖直安装型
■ 特殊蒸发源：
■ 掺杂源：C 源、Si 源、P2 源、B 源等
■ 裂解源：GaP 裂解源、As 裂解源
■ 气体源：HABS、HCS、GRZ等
■ 可根据用户需求定制蒸发源
■ 基片操纵台
■ MBE 系统所需各种配件，如各类型坩埚、挡板、水冷罩等
