规格：
- 2",4",6",8"...(或更大尺寸）
-panel尺寸：370*470mm(其他尺寸根据客户需要可订制）
-Bowl材质：不锈钢
-程序编辑：Microprocessor programmable
-......
-加/减速控制
多选：
-同时可提供显影设备（spin developer)
-Auto dispenser,multiple dispenser units
-centering unit
主要特点：
-高精确涂敷系统
-涂敷均匀性高
- microprocessor 控制系统
-速度可调控制
-可进行加速/减速控制
-高精确，安全系统
-操作简单，方便
主要应用：
-光阻（PR）、减反射膜、PI膜、metallo-organics
-Dopants,silica films,有机膜
-适用于TFT-LCD，C/F，OLED。。
-LED,MEMS
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