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半导体&电子测试测量，投稿：kangpc@instrument.com.cn
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企查查显示，6月4日，哈勃科技投资有限公司新增一家投资企业——北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”）。
图片来源：企查查
科益虹源于2016年7月，由亦庄国投、中国科学院微电子所、国科科仪等共同出资设立，是国内少数具备高端准分子激光技术自主研究和产品化能力的公司，也是国家02重大专项“浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设”的成果产业化载体。
2018年3月科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货，打破了国外厂商的长期垄断。
据悉，科益虹源还为上海微电子装备提供光刻机光源系统。
[来源：集微网]
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