这类仪器中企业采购占比43%，美国设备为主——2020年度CVD中标盘点

薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节，传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等气相沉积工艺。而化学气相沉积主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

化学气相沉积技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。由于CVD技术具有成膜范围广、重现性好等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜。CVD技术可广泛应用到集成电路、半导体、金属精制、光伏电池、高技术陶瓷等制造领域，其中，集成电路、半导体是其主要应用领域。

仪器信息网近期特对2020年化学气相沉积（CVD）设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）

各月中标量占比

2020年1月至2020年12月，根据统计数据，CVD设备的总中标为160台，涉及金额上亿元。2020年1月至12月，平均中标量约13台每月。2020上半年，由于疫情影响，1月至3月中标市场持续低迷，平均中标量约6台每月。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进，CVD设备中标市场活力回升，其中6月产品中标量高达20台。但7、8月份在此持续走低，可能受到中美贸易战或海外疫情爆发影响。9月之后，设备中标量持续走高，这可能是全球芯片荒危机导致的FAB晶圆代工企业扩产所影响。

采购单位性质分布

从CVD的招标采购单位来看，企业是CVD采购的主力军，采购量占比高达43%，科研院所和高校采购占比分别为35%和22%。值得注意的是，企业和科研院所采购设备的单价较高，集中于高端设备。其中，在企业采购中，主要以上海华虹等晶圆代工FAB和京东方、华星光电等新型显示厂商为主。这些企业厂商更青睐于AMAT的设备。

招标单位地区分布

本次盘点，招标单位地区分布共涉及24个省份、自治区及直辖市。广东、江苏、上海、安徽、湖北为CVD设备采购排名前5的地区，其中广东的中标量最多，达37台。这些地区的CVD设备采购企业呈现出不同的分布规律，其中广东省以科研院所采购为主，采购的主力单位为中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院 。江苏以FAB晶圆代工厂采购为主，位于无锡的华虹半导体（无锡）有限公司是采购的主力，其可能在建设或扩产生产线。上海采购单位也以FAB为主。而安徽和湖北的CVD设备采购主力为新型显示面板制造商为主，如京东方、华星光电等。这也突显出了我国半导体产业布局，各地的发展方向略有不同。

CVD设备产地分布

从CVD设备的制造商分布来看，目前国内主要的CVD采购来源为美国，用户对美国制造商依赖较大。虽然国产设备数量占比接近美国设备数量占比，但从采购用户的单位分布情况来看，企业用户以美国AMAT产CVD设备为主，此类高端设备价格较高。而国产设备用户主要为高校和科研院所，其对价格更敏感。不过目前在MOCVD领域，中微半导体已逐渐打入高端设备市场。

目前CVD设备厂商众多，以下为本次CVD设备的涉及的部分厂商名单。

Applied Materials

Plasma Therm

创世微纳

中微半导体

Oxford    

Vecco    

SAMCO    

天津中环

顶立

SENTECH

沈阳拓荆    

沈阳科仪

百腾

NANO-MASTER

Tokyo Electron

IHI Group

Lam Research Corporation

Semitek    

Vecco Instruments

无锡松煜 

北方华创

沈阳拓荆

合肥科晶

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