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仪器信息网讯 近日，福建省晋华集成电路有限公司通过中国电子进出口有限公司进行了一系列国际公开竞争性招标。截至目前，招标产品包括聚焦离子束显微镜、聚焦离子束显微镜、球差校正穿透式电子显微镜、扫描式电子显微镜等各种电镜15台，电感耦合等离子体串联质谱仪2台、全反射X射线荧光分析仪1台，以及其他半导体晶圆检测仪器设备如蚀刻系统等，共计80余包。
晋华公司整体鸟瞰图
据介绍，此次采购用于新建12吋内存晶圆厂生产线FAB1生产线，采购项目名称为“福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目”。
以下为不完全截取的部分检测仪器设备及相关说明清单，以供参考。
附表1 招标产品中部分常见科学仪器
附表2 招标产品中部分其他检测仪器设备
[来源：仪器信息网] 未经授权不得转载
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