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清华大学等单位共同承担的“十二五”863计划新材料领域“紫外激光器产业化关键技术及应用”课题取得重要进展,于近日通过技术验收。
课题组解决了厘米级BBSAG晶体生长、非线性晶体超光滑表面加工、工业级应用的全固态激光器整机装配等工艺难点,突破了高光束质量紫外频率变换、非线性光学晶体的寿命及抗损伤、光束指向稳定性等多项关键技术,开发出10-30W不同功率级别的全固态紫外激光器和新型的BBSAG四倍频器件,产品性能达到国外同类产品水平,形成了一套拥有自主知识产权的全固态紫外激光核心技术,并实现了紫外激光器在微加工成套设备上的试用。
课题实施期间,BBSAG晶体生长技术已经转移到福建福晶科技股份有限公司,该公司及下属公司已经实现BBSAG晶体的生产并出口到欧美等发达国家。经过本课题支持,课题组成功研制出最大输出功率达30W的紫外激光器,各项指标均达到甚至超过国际光电子公司紫外高功率激光器指标水平。该课题成果的产业化,将打破国外在紫外激光器市场中的垄断,极大地提升我国激光微加工制造产业的核心竞争力。
[来源:科技部]
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