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核心参数
产品种类： 电动位移台
产地类别： 国产
重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。
技术特点：
超大负载
压电陶瓷精密设计
应用领域：
大口径干涉仪
物镜稳像器
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
半导体加工
规格参数：
| 型号 | NP-FAPC-5011A | |
| 运动轴 | X，Y，Z，θX，θY | |
| 传感器类型 | 电容式位移传感器 | |
| X/Y闭环行程 | 100um | |
| Z闭环行程 | 35um | |
| θX，θY闭环行程 | ±150urad | |
| X/Y分辨率 | ＜2nm | |
| Y分辨率 | ＜1nm | |
| θX，θY分辨率 | ＜20nrad | |
| X/Y/Z线性度 | 0.03% | |
| X/Y重复定位精度 | ＜10nm | |
| Z重复定位精度 | ＜10nm | |
| θX，θY重复定位精度 | 0.1urad | |
| 平台噪声 | ＜2nm | |
| 最大承载能力 | 35kg | |
| Z谐振频率@35kg | ＞100Hz | |
| θX/θY谐振频率@35kg | ＞100Hz | |
| 带载最高工作频率 | 10Hz | |
| 材质 | 铝合金 | |
| 质量 | 12kg | |
| 工作温度 | 0~50℃ | |
| 尺寸 | Φ500X117mm 中空Φ360mm | |
阿米精控位移台NP-FAPC-5011A的工作原理介绍
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企业名称
阿米精控科技（山东）有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他有限责任公司
信用代码
91371109MA94WHMK1Y
成立日期
2021-09-13
注册资本
贰仟贰佰伍拾叁万陆仟伍佰元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;机械设备销售;电子测量仪器销售;智能仪器仪表销售;实验分析仪器制造;电工仪器仪表销售;仪器仪表制造;通讯设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;电子产品销售;金属制品销售;电气设备销售;电力电子元器件销售;办公设备销售;软件开发;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);工程和技术研究和试验发展;专业设计服务.(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
阿米精控科技（山东）有限公司
公司地址
山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼1楼
客服电话
公司名称： 阿米精控科技（山东）有限公司
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