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日本lasertec株式会社

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明星产品

日本Lasertec 共聚焦显微镜HYBRID L7

型号:HYBRID L7

・广泛应用于半导体、电子电气等工业领域的3D量测仪器 ・白光共聚焦、激光共聚焦、白光干涉、相差干涉、微分干涉、反射分光膜厚等6大功能一体的多功能机型 ・亚微米级测量精度,测量再现性(σ)<=10nm ・搭载各种自动化功能,更高效

共聚焦显微镜 表面缺陷检测机

型号:OPLETICS AI2

专用于表面缺陷检测的共聚焦显微镜 采用共聚焦明场及微分干涉光学系的独家检测技术,适用于透明化合物晶圆、玻璃基板、薄膜、金属表面等各种材质样品 缺陷自动扫描检测+3D形状分析,多步骤一台设备实现,更准确,更快速

公司简介

日本lasertec株式会社

Lasertec成立于1960年,成立之初只是一家生产X-射线电视系统的小作坊,后经过60多年的发展,目前其已经成长为从事检测和量测设备领域的领先开发商,主要提供半导体(晶圆/光罩)与LCD检测机台产品,太阳能电池相关设备与印刷电路板安装检测设备等,六十多年只专注于检测这一块。 虽然Lasertec目前在半导体行业还只是一家名不见经传的小公司,但它已经成为包括台积电、三星、英特尔等行业巨头不可或缺...

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里程碑

作为松下的合作企业,创立东京ITV研究所,开发医疗用X射线拍照设备

有限会社东京ITV研究所 成立

1960

将孔光源技术引入半导体检测行业,实现高清晰的光掩模缺陷检测

第一代LSI光掩模检测设备诞生

1975

正式更名为Lasertec株式会社

正式更名为Lasertec株式会社

1986

基于共聚焦光学系的又一重要应用

推出碳化硅晶圆专用检测设备 SICA系列

2009

东京一部上市,提升市场竞争力

东京一部上市

2013

推出EUV光掩模缺陷检查装置

推出EUV光掩模缺陷检查装置

2017

1962

日本自动控制株式会社 成立

扩大业务范围,致力于光应用领域的先端研发

1985

推出世界首台工业用共聚焦显微镜

Lasertec共聚焦显微镜的第一代产品,搭载红色、紫色双激光光源

1993

推出液晶CF缺陷检查设备 推出光掩模相差测量系统

推出液晶CF缺陷检查设备 推出光掩模相差测量系统

2012

推出锂电池电化学反应可视化系统ECCS

原位观察锂电池内部的颜色变化、膨胀收缩、析锂等过程

2017

上海子公司Lasertec China成立

Lasertec China成立

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