明星产品
日本Lasertec 共聚焦显微镜HYBRID L7
型号:HYBRID L7
・广泛应用于半导体、电子电气等工业领域的3D量测仪器 ・白光共聚焦、激光共聚焦、白光干涉、相差干涉、微分干涉、反射分光膜厚等6大功能一体的多功能机型 ・亚微米级测量精度,测量再现性(σ)<=10nm ・搭载各种自动化功能,更高效
共聚焦显微镜 表面缺陷检测机
型号:OPLETICS AI2
专用于表面缺陷检测的共聚焦显微镜 采用共聚焦明场及微分干涉光学系的独家检测技术,适用于透明化合物晶圆、玻璃基板、薄膜、金属表面等各种材质样品 缺陷自动扫描检测+3D形状分析,多步骤一台设备实现,更准确,更快速
里程碑
作为松下的合作企业,创立东京ITV研究所,开发医疗用X射线拍照设备
有限会社东京ITV研究所 成立
1960
将孔光源技术引入半导体检测行业,实现高清晰的光掩模缺陷检测
第一代LSI光掩模检测设备诞生
1975
正式更名为Lasertec株式会社
正式更名为Lasertec株式会社
1986
基于共聚焦光学系的又一重要应用
推出碳化硅晶圆专用检测设备 SICA系列
2009
东京一部上市,提升市场竞争力
东京一部上市
2013
推出EUV光掩模缺陷检查装置
推出EUV光掩模缺陷检查装置
2017
1962
日本自动控制株式会社 成立
扩大业务范围,致力于光应用领域的先端研发
1985
推出世界首台工业用共聚焦显微镜
Lasertec共聚焦显微镜的第一代产品,搭载红色、紫色双激光光源
1993
推出液晶CF缺陷检查设备 推出光掩模相差测量系统
推出液晶CF缺陷检查设备 推出光掩模相差测量系统
2012
推出锂电池电化学反应可视化系统ECCS
原位观察锂电池内部的颜色变化、膨胀收缩、析锂等过程
2017
上海子公司Lasertec China成立
Lasertec China成立