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核心参数
光源种类： 氙灯光源
照射方式： 外照式光源
美国进口ARC疝气灯
Advanced Radiation Corporation的深紫外光(DUV)短弧灯常用于短波长高强度紫外光刻，其设计、制造和性能优越。
深紫外线辐射是由汞-氙等离子体产生的。在光源制造过程中，必须仔细控制等离子体成分的精确浓度和比例，以获得输出辐射转换的大输入功率。这里所描述的八种DUV灯代表了美国DUV曝光设备和系统的主要制造商三年多的研究和开发成果。
这些灯适用于几种DUV光刻配方。聚甲基丙烯酸甲酯在210 ~ 260nm范围内敏感;200 - 330nm;AZ2400系列，范围240 - 310nm;而ODVR系列在200到315 nm的范围内都很敏感。
产品型号：
DUV-350
DUV-500
DUV-1000
DUV-2000
DUV-350-30118
DUV-500-30036
DUV-500-30055
DUV-500-30056
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企业名称
皕赫科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310114062543297Y
成立日期
2013-02-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口;技术进出口;进出口代理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:仪器仪表、电子设备、机械设备、工业自动化设备、五金产品、电线电缆、金属材料、电子产品、办公用品、劳防用品、汽车饰品、家居用品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事科学仪器技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，仪器仪表租赁(不得从事金融租赁),机械设备、机电设备维修(除特种设备)。(除依法顺经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
皕赫科学仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市嘉定区昌吉路156弄32号楼
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