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PHEMOS-1000 微光显微镜
PHEMOS-1000 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致发射的微弱光和热来定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可与通用探测仪结合使用，因此您可以使用您已经熟悉的样品设置来执行各种分析任务。安装可选的激光扫描系统可以采集高分辨率图案图像。不同类型的探测器可用于各种分析技术，例如发射分析、热分析和 IR-OBIRCH 分析。PHEMOS-1000 支持从探针插座板到大型 300 mm 晶圆探针的各种任务和用途。
特点
● 可安装两个超高灵敏度相机
● 可安装多达 3 种波长的激光器和 EOP 探针光源
● 配备适用于不同样品的光学载物台
选项
● 包括激光扫描系统
● 使用高灵敏度近红外相机进行微光发射分析
● 使用高灵敏度中红外相机进行热分析
● IR-OBIRCH 分析
● 通过激光辐照进行动态分析
● EO 探测分析
● 使用 NanoLens 进行高分辨率和高灵敏度分析
● 连接到 CAD 导航
● 连接到 LSI 测试仪
显示功能
叠加显示/对比度增强功能
 | PHEMOS-1000 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。 显示功能 ● 注释：评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。 ● 刻度显示：刻度宽度可以使用分段显示在图像上。 ● 网格显示：垂直和水平网格线可以显示在图像上。 ● 缩略图显示：图像可以存储和调用为缩略图，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。 ● 分屏显示：图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像可以一次显示在 4 窗口屏幕中。 |
详细参数
| 尺寸/重量 | 主机：1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H)，约 1500 kg |
|---|---|
| 线路电压 | 交流 200 V (50 Hz/60 Hz) |
| 功耗 | 约 1400 VA（最大 3300 VA） |
| 真空度 | 约 80 kPa 或以上 |
| 压缩空气 | 0.5 MPa ～ 0.7 MPa |
*PHEMOS-1000 主机的重量包括探针或同等物品。
PHEMOS-X 微光显微镜
PHEMOS，能够适应未来
PHEMOS-X 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致发射的微弱光和热来定位失效位置。
特点
可安装两个超高灵敏度相机
通过涵盖不同的发射分析和热分析检测波长范围，从而可以轻松选择与样品和故障模式相匹配的分析技术。
可安装多达 5 个 OBIRCH、DALS 和 EOP 光源
专为先进设备设计的高精度载物台
光学载物台的工作范围
| X | ±20 mm |
|---|---|
| Y | ±20 mm |
| Z | +80 mm |
* 由于使用了探针台，加上样品台或 NanoLens 安装的干涉，工作范围可能窄于这些值。
基本显示功能
叠加显示/对比度增强功能
* 实际显示功能可能因软件版本、环境等因素而异。 | PHEMOS-X 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。 对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。
显示功能 ● 注释：评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。 ● 刻度显示：可以在图像上分段显示刻度宽度。 ● 网格显示：可以在图像上显示垂直和水平网格线。 ● 缩略图显示：图像可以存储为缩略图并进行调用，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。 ● 拆分屏幕显示：可以在 6 窗口屏幕中一次显示图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像。 |
LSI 测试仪连接示例
 | 随着设备变得日益复杂，在设备运行时日益需要连接 LSI 测试仪进行分析，以便找到特定部位发生的故障。 可以通过短电缆以及专为使用 PHEMOS-X 光学器件进行分析而设计的探头卡适配器，将 LSI 测试仪连接到 PHEMOS-X。 |
详细参数
| 尺寸/重量 | 主机：1656 mm (W) ×2000 mm (H) ×1247 mm (D)，约 1640 kg |
|---|---|
| 线路电压 | 单相 200 V ～ 240 V |
| 功耗 | 约 3300 VA |
| 真空度 | 至少 80 kPa |
| 压缩空气*2 | 0.6 MPa ～ 0.7 MPa |
*1：选项
*2：包括调节器
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企业名称
似空科学仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115MA1H9W0N9G
成立日期
2018-04-16
注册资本
500
经营范围
从事仪器仪表科技、计算机软硬件科技、工业自动化科技、智能科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,仪器仪表、实验室设备、电子产品 、一般劳防用品、机电设备及配件、塑料制品、五金交电、日用百货、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
似空科学仪器（上海）有限公司
公司地址
张江微电子港7号楼7楼
客服电话
公司名称： 似空科学仪器（上海）有限公司
公司地址： 张江微电子港7号楼7楼 联系人： 张经理 邮编： 201203 联系电话： 400-860-5168转4452
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