核心参数
产地类别: 进口
TMC主动消振系统Stage Base 450
TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定,以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。
TMC主动消振系统Stage Base 450的优势
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的高级低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术,使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了卓越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内最佳地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。
TMC主动消振系统Stage Base 450规格
●采用独特的STACIS®技术
●采用高力、加长行程的压电致动器
●有效载荷的位置可重复性在微米以内
●框架安装设计
●6个主动自由度
●可选的VCM前馈和/或反馈
●始于0.6 Hz的主动隔振
●响应平台运动的快速稳定时间
●无软空气悬架
●通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面(GUI)的高速数字控制器
●简单、坚固且经济高效
TMC主动消振系统Stage Base 450性能
应用照片
TMC光学平台Stage Base 450的工作原理介绍
光学平台Stage Base 450的使用方法?
TMCStage Base 450多少钱一台?
光学平台Stage Base 450可以检测什么?
光学平台Stage Base 450使用的注意事项?
TMCStage Base 450的说明书有吗?
TMC光学平台Stage Base 450的操作规程有吗?
TMC光学平台Stage Base 450报价含票含运吗?
TMCStage Base 450有现货吗?
企业名称
努美(北京)科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
911101070695525752
成立日期
2013-06-04
注册资本
1000万元
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务;销售实验室设备、仪器仪表、照明器具、光学仪器、电子产品、计算机、软件及辅助设备、机械设备、文化用品:维修计算机、仪器仪表:代理进出口、货物进出口、技术进出口。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
努美(北京)科技有限公司
公司地址
北京市石景山区鲁谷路51号院泰禾长安中心3号楼A塔12层1208
客服电话