核心参数
产品类别: 表面电阻率探针台
操作类型: 全自动
可测圆片尺寸: 8"晶圆
Measure the Difference
MPI公司出品的TS2000-SE 型8寸半自动晶圆测试探针台是市场上有史以来第一次为200毫米自动化工程探测系统在集成创新的特点专门设计。这些特性是纳入MPI ShielDEnvironment™为超低噪音,非常准确和高度可靠的DC/CV, RF和高功率测量。
KEY FEATURES
一、Automated Single Wafer Loader(自动单片晶圆装载)
可以非常方便、直接且直观地将8寸、6寸、4寸等晶圆直接放在装载台上,盖上暗箱后,全自动装载样片。
二、ShielDEnvironment™(市场上最高屏蔽规格的微暗箱)
三、Safety Test Management STMTM Option (安全测试管理系统)
四、Hot/cold wafer swaps at set temperatures (待高低温样片互换系统)
一般的加热、降温过程是非常缓慢的,当客户对一片晶圆加热后,如果需要换片,那需要重复经历冷却、再升温的过程,非常耗时。
MPI的晶圆热/冷互换载台可以让客户省去反复升降温的等待,自动将样片装载出。
五、Vertical Control Environment™ (VCE) (侧面辅助光路系统)
当客户的样片是柔性、超薄膜、射频电极等等的时候,我们提供了侧面辅助光路系统来直接观察探针与样片表面的接触情况。
配合上Z方向自动对焦显微镜,可以使得样片自动测试过程中,探针与样片始终保持最佳接触。
六、ERS patented AC3 cooling technology incorporated (ERS冷却专利技术)
最新的ERS专利技术,可以快速降温的同时,减少50%左右的用气量,极大限度地节约后续使用成本。
七、Thermal Chuck Operation (加热、冷却功能显示和操作功能)
提供专用触摸显示屏来显示温度值,并可以进行升降温和保温时间控制。
八、Integrated Active Vibration Isolation (内置主动隔震台)
内置气浮式主动隔震台,可以有效提供晶圆级测试环境。
The type we choose is 0.25 and natural frequency vertical approximately 3.0 Hz, horizontal approximately 3.5 Hz. You also can refer to the graphics as below.
九、MPI iMAG® Optics (XYZ全自动对焦显微镜)
MPI自主研发全系列显微镜,这款AMZ12是在XYZ上进行全自动运行,自动对焦的显微镜。可以得到市场上最大的图像放大能力。
配合上MPI专利的SENTIO软件,可以对样片进行自动测量、自动测试。也可以在测试过程中自动XYZ方向补差。
十、Software Suite SENTIO® (自动测试软件)
MPI总计有40位软件工程师历时3年,不断更新完善,终于面世了这款市场上唯一可触摸屏直接操作并且可以和显微镜、样品台等均可联动。有效提高操作效率和降低使用的复杂性。
十一、RF Tips (最新设计的RF针尖结构)
(左:MPI的RF探针 / 右:Cascade的RF探针)
MPI自主设计的RF探针采用最新MEMS技术加工,针尖是向前方呈45°角。因此可以非常直观地获悉扎针位置和深度情况。这样可以极大延长探针使用寿命的前提下还能获得最佳的接触位置。反观传统的RF探针,必须凭经验和感觉才能知晓扎针落点和接触情况。
MPI探针台MPI TS2000-SE的工作原理介绍
探针台MPI TS2000-SE的使用方法?
MPIMPI TS2000-SE多少钱一台?
探针台MPI TS2000-SE可以检测什么?
探针台MPI TS2000-SE使用的注意事项?
MPIMPI TS2000-SE的说明书有吗?
MPI探针台MPI TS2000-SE的操作规程有吗?
MPI探针台MPI TS2000-SE报价含票含运吗?
MPIMPI TS2000-SE有现货吗?
更多
更多
MEMS晶圆级全自动动态4D原位测量技术-MPI+英铂探针台解决方案
微机电系统(MEMS)的使用已经在航空、汽车、生物医学、消费品、医疗和电信等行业变得越来越普遍。在晶圆级别测试阶段,早期的MEMS设备测试至关重要,为确保高产量和可靠性,并且要以低成本实现,需要先进的光学测量技术,而电气测试无法实现这一点。 本文产品:MSA-600、MPI TS2000-SE
半导体
2023/11/15
企业名称
英铂科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117MA1J1CKYXG
成立日期
2016-06-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
一般项目:仪器仪表、机电设备、机械设备、五金交电、电气设备、电子产品、计算机软硬件及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、日用百货、劳防用品、橡塑制品、办公用品、办公设备、家用电器批发零售,商务信息咨询,仪器仪表、机械设备、机电设备安装维修服务,电子商务(不得从事增值电信、金融业务),半导体科技、新材料科技、化学技术、机电技术、医疗技术、生物技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外),电子元器件及组件、机械设备、机电设备加工。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
英铂科学仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层
客服电话