2020-02-05 16:25
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【速普仪器】Mini Coater磁控离子溅射仪
型号: SuPro Mini Coater
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品牌: 速普仪器
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【SuPro】电镜样品等离子清洗仪spc150
型号: SPC 150
产地:
品牌: 速普仪器
¥ 50万
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【SuPro】离子溅射仪/喷金仪 ISC150
型号: ISC150
产地:
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速普仪器【SuPro】TEM样品杆真空存储站
型号: THS05
产地:
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型号: ISC150 T
产地:
品牌: 速普仪器
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型号: THS05T
产地:
品牌: 速普仪器
¥ 18万
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针对硬质涂层,半导体薄膜等薄膜残余应力测试表征。基于基片弯曲法Stoney公式测量原理,利用光杠杆技术获得基本曲率半径,进而换算获得应力数据。根据不同应用场景,具有两种测试模式:测试范围内各个数据点应力mapping数据或样品表面整体平均残余应力。
1.离化空气产生活性氧原子及臭氧清洗表面有机污染物; 2.离化空气产生等离子体活化表面,提高表面亲水性; 3.无热损伤,无离子轰击损伤; 4.一体式设备,即插即用,空气气源(无需额外气源)。
1.便携手持式大气冷等离子发生器; 2.无需额外气源,利用空气作为气源; 3.通过离化空气产生臭氧清洗表面有机污染物; 4.灭菌或抑菌作用; 5.高效,即插即用。
ISC150离子溅射仪升级版本,采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境,保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率FE-SEM样品的喷金喷铂,光电薄膜制备,电极材料制备及其他金属镀膜用途。 150T版本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。