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1.测试原理
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜
应力测量。
2.为什么检测薄膜应力？
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：
1.膜裂
2.膜剥离
3.膜层皱褶
4.空隙
检测薄膜应力是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜品检及改进工艺的有效手段！
用户单位
采购时间
采购数量
贵州大学
2022/10/17
1
长光集智光学科技有限公司
2022/09/26
1
香港科技大学（广州）
2022/07/29
1
江西师范大学
2022/07/26
1
华为机器有限公司
2022/07/22
1
宁波新材料测试评价中心有限公司
2022/07/20
1
江苏多维科技有限公司
2022/06/16
1
西安龙翔半导体有限公司
2022/07/08
1
芜湖长信科技股份有限公司
2022/05/10
1
江西杰创半导体有限公司
2022/04/30
1
深圳技术大学
2022/04/15
1
松山湖材料实验室
2022/03/08
1
华为技术有限公司
2022/01/20
2
浙江光特科技有限公司
2021/10/18
1
中国科学院物理研究所
2021/09/15
2
华中科技大学
2021/08/13
1
华为技术有限公司
2021/08/11
1
中国工程物理研究院
2021/06/22
1
深圳北理莫斯科大学
2021/04/30
1
电子科技大学
2021/02/26
1
深圳力策科技有限公司
2020/09/30
1
安徽熙泰智能科技有限公司
2020/05/29
1
西安交通大学
2020/05/20
1
宁波大学
2020/01/03
1
速普仪器其他半导体检测仪FST5000的工作原理介绍
其他半导体检测仪FST5000的使用方法?
速普仪器FST5000多少钱一台?
其他半导体检测仪FST5000可以检测什么？
其他半导体检测仪FST5000使用的注意事项？
速普仪器FST5000的说明书有吗？
速普仪器其他半导体检测仪FST5000的操作规程有吗？
速普仪器其他半导体检测仪FST5000报价含票含运吗？
速普仪器FST5000有现货吗？
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光电/MEMS/半导体薄膜应力表征解决方案
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量。
半导体
2021/06/02
企业名称
深圳市速普仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营企业
信用代码
440301106661469
成立日期
2012-11-05
注册资本
350
经营范围
一般经营项目是:等离子体应用技术及相关仪器设备、光机电仪器设备的研发、销售及技术服务,经营进出口业务(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营),许可经营项目是:
深圳市速普仪器有限公司
公司地址
深圳市南山区桂庙路瑞峰创业中心二楼B区2009
客服电话
公司名称： 深圳市速普仪器有限公司
公司地址： 深圳市南山区桂庙路瑞峰创业中心二楼B区2009 联系人： 张生 邮编： 518000 联系电话： 400-860-5168转4135
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