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Futurrex 成立于1985年,是美国高端光刻胶及辅助化学品制造商。产品以技术著称,从2000年至今年均增长率为33%。主要客户有:Ti、半导体、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm (高通)等。Futurrex长期与Intel实验室合作,产品被广泛收录进美国各大学半导体教程,是各大研究机构产品。
Futurrex产品优势:
1、Futurrex光刻胶黏附性好,无需使用增粘剂(HMDS)
2、负性光刻胶常温下可保存3年
3、150度烘烤,缩短了烘烤时间
4、单次旋涂能够达到100um膜厚
5、显影速率快,100微米的膜厚,仅需6~8分钟
负性光刻胶
A、 粘性增强负胶(NR9-P、NR9G-P、NR5系列)
特性
在蚀刻和电镀应用时具有超强的粘附力,且很容易去除
厚度范围:<0.1-120μm
i、g以及h线曝光
优势:
具有一次旋涂即可获得100μm以上优越的分辨率的甩胶厚度
150℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间
更快的显影,100μm的光刻胶显影仅需6-8分钟
不必使用增粘剂如HMDS
B、 高级加工负胶(NR71-P、NR71G-P系列)
特性:
在RIE处理是优异的选择性以及在离子注入时优异的耐高温性能
可耐受180℃的高温
应用展示:
用NR5-800制作结构的案例
MEMS设计中25μm厚NR5-8000光刻胶图案及其下方硅片20μm高刻蚀结构线宽控制展示:NR5-8000的图案不存在大体积影响
MEMS设计中25μm厚NR5-8000光刻胶图案及其下方硅片20μm高刻蚀结构显影能力展示:
Futurrex紫外负性光刻胶-湿法工艺
Futurrex紫外负性光刻胶-干法工艺
Futurrex紫外负性光刻胶-lift-off工艺
Futurrex紫外正性光刻胶
NP9/NR71/NR9
企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
公司地址
武汉市洪山区
客服电话
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二氧化钛膏&铂膏
SU-8 3000 系列
SU-8 2000系列
进口美国Microchem SU-8光刻胶 2000系列、 3000系列
主校准液体
其它化学试剂
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Futurrex光刻胶
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公司名称: 迈可诺技术有限公司
公司地址: 武汉市洪山区 联系人: 杨洋 邮编: 210000 联系电话: 400-860-5168转3827
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